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一種九點供電式藍寶石單晶生長爐鳥籠式發(fā)熱體的制作方法

文檔序號:12521358閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種九點供電式藍寶石單晶生長爐鳥籠式發(fā)熱體,發(fā)熱體有24-54根直徑5-10mm呈倒門字形的鎢桿,其特征在于:所述鎢桿分為6組,每組4-9根合為一束,兩束鎢桿又并列成一對鎢桿束,每對鎢桿束一端分別與相鄰的兩個單匯流排相連,另一端又與同一個雙匯流排相連,所述3個雙匯流排與6個單匯流排構成一個彼此不相連且在同一個平面上的環(huán)形結構,其內徑大于電阻爐內坩堝外徑,其外徑小于爐內隔熱保溫體內徑,在上述單、雙匯流排上各設一根下端與其垂直相連的短柱即引出電極,它們與供電電源輸出端相連。

2.根據權利要求1所述的九點供電式藍寶石單晶生長爐鳥籠式發(fā)熱體,其特征在于:每對鎢桿束采用獨立的直流電源或交流電源供電。

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