本發(fā)明涉及精餾
技術(shù)領(lǐng)域：
，尤其涉及改良西門(mén)子法生產(chǎn)太陽(yáng)能級(jí)多晶硅過(guò)程中氯硅烷精餾提純過(guò)程中熱量梯級(jí)利用系統(tǒng)及方法。
背景技術(shù)：
：氯硅烷(英文名：Chlorosilane)，是硅烷SiH4中的氫原子被氯原子取代后得到的一系列物質(zhì)，總稱(chēng)為氯硅烷；含氯量低時(shí)為氣體，較高時(shí)為液體，無(wú)色或黃色，通式為HnSiCl4-n(n＝0,1,2,3)。氯硅烷能與含活潑氫的化合物進(jìn)行激烈反應(yīng)，如與水、醇、酚、硅醇、有機(jī)酸等，放出氯化氫。氯硅烷可由硅粉與氯化氫于290～400℃反應(yīng)來(lái)制?。灰部捎晒璺?、氫和氯化氫的混合物，在氯化亞銅存在下，于500℃左右反應(yīng)來(lái)制取。氯硅烷主要用作硅外延片生產(chǎn)過(guò)程中的硅源及制備有機(jī)氯硅烷的原料。此外，三氯硅烷(HSiCl3)是制備太陽(yáng)能級(jí)和電子級(jí)多晶硅的中間產(chǎn)物，其分餾后，可以獲得99.9999999％(9個(gè)9)純度的三氯氫硅，然后在一定的反應(yīng)條件下和氫氣反應(yīng)生成多晶硅；或者由高純?nèi)葰涔杞?jīng)過(guò)兩級(jí)歧化反應(yīng)生產(chǎn)高純硅烷SiH4氣體，再將SiH4氣體通入流化反應(yīng)器中發(fā)生裂解生成顆粒狀的多晶硅(即硅烷流化床法)。由于多晶硅的生產(chǎn)對(duì)原料氯硅烷的純度要求特別高，這就使得在氯硅烷的提純過(guò)程這一步需要求采用高塔板數(shù)、大回流比的精餾工藝，需要消耗大量的熱量，造成多晶硅的生產(chǎn)成本居高不下。技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：本發(fā)明解決的技術(shù)問(wèn)題在于提供氯硅烷精餾提純過(guò)程中熱量梯級(jí)利用的系統(tǒng)及方法，本申請(qǐng)?zhí)峁┑南到y(tǒng)能夠降低氯硅烷精餾過(guò)程中熱量和冷量的消耗。有鑒于此，本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N氯硅烷精餾提純過(guò)程中熱量梯級(jí)利用的系統(tǒng)，包括：高溫精餾塔；所述高溫精餾塔塔頂?shù)某隹谂c第一再沸器的殼程入口相連，所述第一再沸器的管程入口與低溫精餾塔塔釜出口相連，所述第一再沸器的管程出口與低溫精餾塔塔釜入口相連，所述第一再沸器的殼程出口與高溫精餾塔后冷器入口相連，所述高溫精餾塔后冷器的出口與高溫精餾塔回流泵入口相連，所述高溫精餾塔回流泵出口與所述高溫精餾塔入口相連；所述高溫精餾塔為四氯化硅脫重塔，所述低溫精餾塔為三氯氫硅和二氯二氫硅分離塔、三氯氫硅脫重塔或三氯氫硅脫輕塔；所述低溫精餾塔與所述高溫精餾塔塔釜均設(shè)置有液體出口。優(yōu)選的，所述的高溫精餾塔頂與低溫精餾塔釜溫差不小于8℃，所述高溫精餾塔塔頂熱量大于低溫精餾塔塔釜所需熱量的3～8％。優(yōu)選的，所述系統(tǒng)中還包括次高溫精餾塔，所述第一再沸器的管程出口與所述次高溫精餾塔的入口相連，所述次高溫精餾塔塔頂?shù)某隹谂c第二再沸器的殼程入口相連，所述第二再沸器的管程出口與低溫精餾塔的入口相連，所述第二再沸器的殼程出口與所述次高溫精餾塔后冷器的入口相連，所述次高溫精餾塔后冷器的出口與次高溫精餾塔回流泵的入口相連，所述次高溫精餾塔回流泵的出口與所述次高溫精餾塔的入口相連，所述低溫精餾塔塔釜的出口與所述次高溫精餾塔的入口相連；所述次高溫精餾為三氯氫硅脫重塔或者三氯氫硅脫輕塔，所述低溫精餾塔塔釜設(shè)置有液體出口。優(yōu)選的，所述的次高溫精餾塔塔頂與低溫精餾塔釜溫差不小于8℃，所述次高溫精餾塔塔頂熱量大于低溫精餾塔塔釜所需熱量的3～8％。優(yōu)選的，所述系統(tǒng)中還包括次低溫精餾塔，所述第二再沸器的管程出口與所述次低溫精餾塔的入口相連，所述次低溫精餾塔塔頂?shù)某隹谂c所述第三再沸器的殼程入口相連，所述第三再沸器的管程出口與低溫精餾塔的入口相連，所述第三再沸器的殼程出口與所述次低溫精餾塔后冷器的入口相連，所述次低溫精餾塔后冷器的出口與次低溫精餾塔回流泵的入口相連，所述次低溫精餾塔回流泵的出口與所述次低溫精餾塔的入口相連，所述低溫精餾塔塔釜的出口與所述次低溫精餾塔的入口相連；所述次低溫精餾塔塔釜的出口與所述次高溫精餾塔的入口相連，所述次低溫精餾為三氯氫硅脫輕塔。優(yōu)選的，所述的次低溫精餾塔頂與低溫精餾塔塔釜溫差不小于8℃，所述次低溫精餾塔塔頂熱量大于低溫精餾塔塔釜所需熱量的3～8％。優(yōu)選的，所述次低溫精餾塔塔釜的出口與第二再沸器管程入口相連，所述第二再沸器管程出口與所述次低溫精餾塔的入口相連，所述低溫精餾塔塔釜的出口與第三再沸器管程入口相連，所述第三再沸器管程出口與所述低溫精餾塔的入口相連。優(yōu)選的，所述低溫精餾塔塔頂?shù)某隹谂c低溫精餾塔冷凝器的入口相連，所述低溫精餾塔冷凝器的出口與低溫精餾塔回流泵的入口相連，所述低溫精餾塔回流泵的出口與所述低溫精餾塔塔頂?shù)娜肟谙噙B；所述低溫精餾塔塔釜的出口還與所述第一再沸器管程入口相連。優(yōu)選的，所述高溫精餾塔塔釜的出口還與第四再沸器的管程入口相連，所述第四再沸器管程出口與所述高溫精餾塔的入口相連。優(yōu)選的，所述的高溫精餾塔、次高溫精餾、次低溫精餾塔和低溫精餾塔均是填料塔或者板式塔。優(yōu)選的，所述次高溫精餾塔塔釜的出口還與第一再沸器底部的管程入口相連，所述第一再沸器頂部的管程出口與所述次高溫精餾塔的入口相連；所述低溫精餾塔塔釜的出口還與第二再沸器底部的管程入口相連，所述第二再沸器頂部的管程出口與所述低溫精餾塔的入口相連。優(yōu)選的，所述次低溫精餾塔塔釜的出口與第二再沸器底部的管程入口相連，所述第二再沸器頂部的管程出口與所述次低溫精餾塔的入口相連，所述低溫精餾塔塔釜的出口與第三再沸器底部的管程入口相連，所述第三再沸器頂部的管程出口與所述低溫精餾塔的入口相連。本申請(qǐng)還提供了利用上述方案所述的系統(tǒng)進(jìn)行氯硅烷精餾提純的方法，包括以下步驟：將四氯化硅原料進(jìn)行脫重處理，分離后的四氯化硅氣體作為三氯氫硅和二氯二氫硅的混合物分離的熱源，四氯化硅氣體再進(jìn)行換熱后，得到氣液混合物；將所述氣液混合物進(jìn)行冷凝，將冷凝后的液體加壓后，得到回流液與采出液；將原料三氯氫硅和二氯二氫硅的混合物在上述熱源的作用下進(jìn)行精餾分離，得到分離后的三氯氫硅與二氯二氫硅。本申請(qǐng)還提供了利用上述方案所述的系統(tǒng)進(jìn)行氯硅烷精餾提純的方法，包括以下步驟：將四氯化硅原料進(jìn)行脫重處理，分離后的四氯化硅氣體作為三氯氫硅脫重的熱源，四氯化硅氣體再進(jìn)行換熱后，得到第一氣液混合物；將所述第一氣液混合物進(jìn)行冷凝，將冷凝后的液體加壓后，得到第一回流液與第一采出液；將原料三氯氫硅和二氯二氫硅的混合物進(jìn)行精餾分離，得到分離后的三氯氫硅液體與二氯二氫硅；將所述三氯氫硅液體在上述熱源的作用下精餾分離，得到的三氯氫硅氣體作為三氯氫硅和二氯二氫硅的混合物再次分離的熱源，三氯氫硅氣體再進(jìn)行換熱后，得到第二氣液混合物；將所述第二氣液混合物進(jìn)行冷凝，將冷凝后的液體加壓后，得到第二回流液與第二采出液。本申請(qǐng)還提供了利用上述方案所述的系統(tǒng)進(jìn)行氯硅烷精餾提純的方法，包括以下步驟：將四氯化硅原料進(jìn)行脫重處理，分離后的四氯化硅氣體作為三氯化硅脫重的熱源，四氯化硅氣體再進(jìn)行換熱后，得到第一氣液混合物；將所述第一氣液混合物進(jìn)行冷凝，將冷凝后的液體加壓后，得到第一回流液與第一采出液；將原料三氯氫硅和二氯二氫硅的混合物進(jìn)行精餾分離，得到分離后的三氯氫硅液體與二氯二氫硅；將所述三氯氫硅液體進(jìn)行脫輕處理，得到三氯氫硅氣體與第一三氯氫硅液體，所述三氯氫硅氣體作為三氯氫硅和二氯二氫硅的混合物分離的熱源，所述三氯氫硅氣體再進(jìn)行換熱后，得到第二氣液混合物；將所述第二氣液混合物進(jìn)行冷凝，將冷凝后的液體加壓后，得到第二回流液與第二采出液；將所述第一三氯氫硅液體在熱源的作用下進(jìn)行脫重處理，得到第一三氯氫硅氣體與第二三氯氫硅液體，所述第一三氯氫硅氣體作為三氯氫硅脫輕處理的熱源，所述第一三氯氫硅氣體再進(jìn)行換熱后，得到第三氣液混合物；所述熱源為得到第一氣液混合物的步驟中的熱源；將所述第三氣液混合物進(jìn)行冷凝，將冷凝后的液體加壓后，得到第三回流液與第三采出液。優(yōu)選的，所述原料三氯氫硅和二氯二氫硅的混合物進(jìn)行分離的步驟中，所述二氯二氫硅進(jìn)行如下處理：將所述二氯二氫硅冷凝后加壓，得到回流液與采出液。優(yōu)選的，所述四氯化硅原料進(jìn)行脫重處理，還得到了液體，所述液體進(jìn)行了如下處理：將所述液體加熱后變?yōu)闅怏w再進(jìn)入脫重處理中。本申請(qǐng)?zhí)峁┝寺裙柰榫s提純過(guò)程中熱量梯級(jí)利用的系統(tǒng)及方法，所述系統(tǒng)包括：高溫精餾塔；所述高溫精餾塔塔頂?shù)某隹谂c第一再沸器的殼程入口相連，所述第一再沸器的管程入口與低溫精餾塔塔釜出口相連，所述第一再沸器的管程出口與低溫精餾塔塔釜入口相連，所述第一再沸器的殼程出口與高溫精餾塔后冷器的入口相連，所述高溫精餾塔后冷器的出口與高溫精餾塔回流泵的入口相連，所述高溫精餾塔回流泵的出口與所述高溫精餾塔的入口相連；所述高溫精餾塔為四氯化硅脫重塔，所述低溫精餾塔為三氯氫硅和二氯二氫硅分離塔、三氯氫硅脫重塔或三氯氫硅脫輕塔；所述低溫精餾塔與所述高溫精餾塔塔釜均設(shè)置有液體出口。本申請(qǐng)所述系統(tǒng)是利用不同等級(jí)熱量的梯級(jí)利用系統(tǒng)，以?xún)伤g的熱量梯級(jí)利用為基，進(jìn)一步增加了三塔之間的熱量梯級(jí)利用與四塔之間的熱量梯級(jí)利用，上述三種熱量梯級(jí)利用均是利用高溫精餾塔塔頂蒸汽作為低溫精餾塔釜再沸器熱源，最大限度的實(shí)現(xiàn)了熱量的梯級(jí)重復(fù)使用，熱量重復(fù)使用次數(shù)可達(dá)3次，大大降低了精餾過(guò)程的蒸汽消耗，蒸汽消耗可減少40～75％，同時(shí)也可大幅度減少塔頂循環(huán)水的消耗量。附圖說(shuō)明圖1為本發(fā)明兩塔之間精餾工藝的系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明三塔之間精餾工藝的系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本發(fā)明四塔之間精餾工藝的系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。具體實(shí)施方式為了進(jìn)一步理解本發(fā)明，下面結(jié)合實(shí)施例對(duì)本發(fā)明優(yōu)選實(shí)施方案進(jìn)行描述，但是應(yīng)當(dāng)理解，這些描述只是為進(jìn)一步說(shuō)明本發(fā)明的特征和優(yōu)點(diǎn)，而不是對(duì)本發(fā)明權(quán)利要求的限制。本發(fā)明實(shí)施例公開(kāi)了一種氯硅烷精餾提純過(guò)程中熱量梯級(jí)利用的系統(tǒng)，包括：高溫精餾塔；所述高溫精餾塔塔頂?shù)某隹谂c第一再沸器的殼程入口相連，所述第一再沸器的管程入口與低溫精餾塔塔釜出口相連，所述第一再沸器的管程出口與低溫精餾塔塔釜入口相連，所述第一再沸器的殼程出口與高溫精餾塔后冷器入口相連，所述高溫精餾塔后冷器的出口與高溫精餾塔回流泵入口相連，所述高溫精餾塔回流泵出口與所述高溫精餾塔入口相連；所述高溫精餾塔為四氯化硅脫重塔，所述低溫精餾塔為三氯氫硅和二氯二氫硅分離塔、三氯氫硅脫重塔或三氯氫硅脫輕塔；所述低溫精餾塔與所述高溫精餾塔塔釜均設(shè)置有液體出口。如圖1所示，圖1為本發(fā)明氯硅烷精餾提純系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖，其中1為低溫精餾塔，2為塔頂冷凝器，3為低溫精餾塔回流泵，4為第一再沸器，5為高溫精餾塔，6為高溫精餾塔后冷器，7為高溫精餾塔回流泵，8為第四再沸器。根據(jù)本發(fā)明的系統(tǒng)，低溫精餾塔即一級(jí)塔可以是三氯氫硅/二氯氫硅分離塔、三氯氫硅脫輕塔或者三氯氫硅脫重塔，高溫精餾塔即二級(jí)塔為四氯化硅脫重塔。本申請(qǐng)以低溫精餾塔與高溫精餾塔之間的熱量梯級(jí)利用為基礎(chǔ)，其中低溫精餾塔為第一級(jí)塔，作用是分離三氯氫硅中大量的二氯二氫硅，高溫精餾塔為第二級(jí)塔，作用是四氯化硅脫重塔。作為優(yōu)選方案，為了有效節(jié)約能量，本申請(qǐng)所述低溫精餾塔塔頂?shù)某隹谂c低溫精餾塔冷凝器的入口相連，所述低溫精餾塔冷凝器出口與低溫精餾塔回流泵的入口相連，所述低溫精餾塔回流泵出口與所述低溫精餾塔塔頂入口相連。同樣，所述低溫精餾塔塔釜的出口還與所述第一再沸器管程入口相連，以使低溫精餾塔塔釜液體一部分經(jīng)第一再沸器被二級(jí)塔頂蒸汽加熱汽化后返回低溫精餾塔再次進(jìn)行分離。同樣，所述高溫精餾塔塔釜的出口還與第四再沸器管程入口相連，所述第四再沸器管程出口與所述高溫精餾塔的入口相連。本申請(qǐng)還提供了利用上述系統(tǒng)進(jìn)行氯硅烷精餾提純的方法，包括以下步驟：將四氯化硅原料進(jìn)行脫重處理，分離后的四氯化硅氣體作為三氯氫硅和二氯二氫硅的混合物分離的熱源，四氯化硅氣體再進(jìn)行換熱后，得到氣液混合物；將所述氣液混合物進(jìn)行冷凝，將冷凝后的液體加壓后，得到回流液與采出液；將原料三氯氫硅和二氯二氫硅的混合物在上述熱源的作用下進(jìn)行精餾分離，得到分離后的三氯氫硅與二氯二氫硅。如圖1所示，利用上述兩塔相連的系統(tǒng)進(jìn)行氯硅烷精餾提純的方法具體為：首先原料四氯化硅(9)進(jìn)入二級(jí)塔(5)進(jìn)行脫重處理，回流比為1～5，經(jīng)分離后塔頂四氯化硅氣體(10)作為一級(jí)塔(1)再沸器(4)的熱源，經(jīng)換熱后變?yōu)闅庖夯旌衔?11)，再進(jìn)入二級(jí)塔后冷器(6)全部冷凝成液體，之后經(jīng)過(guò)二級(jí)塔回流泵(7)加壓后一部分作為塔頂回流液(13)，另一部分作為塔頂采出液(14)；塔釜液體(15)一部分經(jīng)再沸器(8)被蒸汽或?qū)嵊图訜岷笞優(yōu)檎羝?16)返回二級(jí)塔(5)，另一部分(17)作為塔釜重組分采出；原料三氯氫硅和二氯二氫硅(含量1～10wt％)的混物(18)則進(jìn)入一級(jí)塔(1)進(jìn)行分離，回流比10～100，分離后塔頂二氯二氫硅(22)經(jīng)塔頂冷凝器(2)冷凝后由一級(jí)塔回流泵(3)加壓，一部分作為塔頂回流液(24)，另一部分作為塔頂采出液(25)；塔釜三氯氫硅液體(19)一部分經(jīng)再沸器(4)被二級(jí)塔頂蒸汽(10)加熱汽化后返回一級(jí)塔(1)，另一部分作為塔釜采出去下一級(jí)塔。按照本發(fā)明，由于在生產(chǎn)過(guò)程中為了保證一級(jí)塔(1)操作穩(wěn)定，二級(jí)塔(5)塔頂蒸汽熱量需要大于低溫精餾塔再沸器所需熱量的3～8％，因此，二級(jí)塔后冷器(6)必須開(kāi)啟。本申請(qǐng)中，一級(jí)塔(1)的操作壓力為0.3～0.9MPa，二級(jí)塔(5)的操作壓力為0.2～0.8MPa；二級(jí)塔(5)塔頂與一級(jí)塔(1)塔釜溫差需不小于8℃。作為優(yōu)選方案，本申請(qǐng)所述氯硅烷精餾提純的系統(tǒng)中還包括次高溫精餾塔，所述次高溫精餾為三氯氫硅脫重塔或者三氯氫硅脫輕塔。所述次高溫精餾塔設(shè)置于所述低溫精餾塔與所述高溫精餾塔之間，含有次高溫精餾塔形成的系統(tǒng)屬于三塔之間的熱量梯級(jí)利用，所述系統(tǒng)優(yōu)選包括低溫精餾塔即一級(jí)塔，作用是分離三氯氫硅中大量的二氯二氫硅，次高溫精餾塔即三級(jí)塔，作用是三氯氫硅脫重塔，高溫精餾塔即二級(jí)塔，作用是四氯化硅脫重塔。具體的，所述系統(tǒng)在還包括次高溫精餾塔的情況下，除上述已說(shuō)明的連接關(guān)系，還具有如下位置連接關(guān)系：所述第一再沸器管程出口與所述次高溫精餾塔的入口相連，所述次高溫精餾塔塔頂?shù)某隹谂c第二再沸器殼程入口相連，所述第二再沸器管程出口與低溫精餾塔的入口相連，所述第二再沸器殼程出口與所述次高溫精餾塔后冷器的入口相連，所述次高溫精餾塔后冷器的出口與次高溫精餾塔回流泵的入口相連，所述次高溫精餾塔回流泵的出口與所述次高溫精餾塔的入口相連，所述低溫精餾塔塔釜的出口與所述次高溫精餾塔的入口相連，所述次低溫精餾塔塔釜設(shè)置有液體出口。如圖2所示，圖2為本發(fā)明三塔之間的精餾工藝的系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖，其中1為低溫精餾塔，2為塔頂冷凝器，3為低溫精餾塔回流泵，4為第一再沸器，5為高溫精餾塔，6為高溫精餾塔后冷器，7為高溫精餾塔回流泵，8為第四再沸器，9為次高溫精餾塔再沸器，10為低溫精餾塔塔釜采出泵，11為次高溫精餾塔，12為次高溫精餾塔后冷器，13為次高溫精餾塔回流泵。同樣，在此系統(tǒng)中，所述低溫精餾塔塔頂?shù)某隹谂c低溫精餾塔冷凝器的入口相連，所述低溫精餾塔冷凝器出口與低溫精餾塔回流泵的入口相連，所述低溫精餾塔回流泵的出口與所述低溫精餾塔塔頂入口相連；所述低溫精餾塔塔釜的出口還與所述第一再沸器管程入口相連。所述次高溫精餾塔塔釜的出口還與第一再沸器管程入口相連，所述第一再沸器管程出口與所述次高溫精餾塔的入口相連；所述低溫精餾塔塔釜的出口還與第二再沸器管程入口相連，所述第二再沸器管程出口與所述低溫精餾塔的入口相連。本申請(qǐng)還提供了利用上述系統(tǒng)進(jìn)行氯硅烷精餾提純的方法，包括以下步驟：將四氯化硅原料進(jìn)行脫重處理，分離后的四氯化硅氣體作為三氯氫硅脫重的熱源，四氯化硅氣體再進(jìn)行換熱后，得到第一氣液混合物；將所述第一氣液混合物進(jìn)行冷凝，將冷凝后的液體加壓后，得到第一回流液與第一采出液；將原料三氯氫硅和二氯二氫硅的混合物進(jìn)行分離，得到分離后的三氯氫硅液體與二氯二氫硅；將所述三氯氫硅液體在上述熱源的作用下分離，得到的三氯氫硅氣體作為三氯氫硅和二氯二氫硅的混合物再次分離的熱源，三氯氫硅氣體再進(jìn)行換熱后，得到第二氣液混合物；將所述第二氣液混合物進(jìn)行冷凝，將冷凝后的液體加壓后，得到第二回流液與第二采出液。如圖2所示，利用上述三塔相連的系統(tǒng)進(jìn)行氯硅烷精餾提純的方法具體為：首先原料三氯氫硅和二氯二氫硅(含量1～10％wt)的混物(14)進(jìn)入一級(jí)塔(1)進(jìn)行分離，回流比10～100，分離后塔頂二氯二氫硅(15)經(jīng)塔頂冷凝器(2)冷凝后由一級(jí)塔回流泵(3)加壓，一部分作為塔頂回流液(16)，另一部分作為塔頂采出液(17)；塔釜三氯氫硅液體(18)一部分經(jīng)再沸器(9)被三級(jí)塔頂蒸汽(22)加熱汽化后返回一級(jí)塔(1)，另一部分經(jīng)塔釜泵(10)采出作為三級(jí)塔(11)的進(jìn)料(21)；三級(jí)塔(11)的作用為三氯氫硅脫重，回流比為4～12，來(lái)自一級(jí)塔(1)塔釜的三氯氫硅(21)經(jīng)三級(jí)塔分離后，塔頂三氯氫硅氣體(22)進(jìn)入一級(jí)塔(1)再沸器(9)作為熱源，經(jīng)換熱后變?yōu)闅庖夯旌衔?23)，再進(jìn)入三級(jí)塔后冷器(12)全部冷凝成液體，之后經(jīng)過(guò)三級(jí)塔回流泵(13)加壓后一部分作為塔頂回流液(25)，另一部分作為塔頂采出液(26)；塔釜三氯氫硅液體(27)一部分經(jīng)再沸器(4)被二級(jí)塔頂蒸汽(32)加熱汽化后返回三級(jí)塔(11)，另一部分作為塔釜重組分(30)采出；二級(jí)塔(5)為四氯化硅脫重塔，回流比為1～5，原料四氯化硅(31)進(jìn)入二級(jí)塔(5)，經(jīng)分離后塔頂四氯化硅氣體(32)作為三級(jí)塔(11)再沸器(4)的熱源，經(jīng)換熱后變?yōu)闅庖夯旌衔?33)，再進(jìn)入二級(jí)塔后冷器(6)全部冷凝成液體(34)，之后經(jīng)過(guò)二級(jí)塔回流泵(7)加壓后一部分作為塔頂回流液(35)，另一部分作為塔頂采出液(36)；塔釜液體(37)一部分經(jīng)再沸器(8)被蒸汽或?qū)嵊图訜岷笞優(yōu)檎羝?39)返回二級(jí)塔(5)，另一部分(40)作為塔釜重組分采出。根據(jù)本發(fā)明的要求，由于在生產(chǎn)過(guò)程中為了保證一級(jí)塔(1)和三級(jí)塔(11)操作穩(wěn)定，二級(jí)塔(10)塔頂蒸汽熱量需要大于低溫精餾塔再沸器所需熱量的3～8％，因此，二、三級(jí)塔后冷器(6)和(12)必須開(kāi)啟。根據(jù)本發(fā)明的規(guī)定，一級(jí)塔(1)的操作壓力為0.3～0.9MPa，三級(jí)塔(11)的操作壓力為0.4～1MPa，二級(jí)塔(6)操作壓力為0.3～0.8MPa；二級(jí)塔(5)塔頂與三級(jí)塔(11)塔釜溫差需不小于8℃，三級(jí)塔(11)塔頂與一級(jí)塔(1)塔釜溫差不小于8℃。作為優(yōu)選方案，本申請(qǐng)所述氯硅烷精餾提純的系統(tǒng)中出包括次高溫精餾塔外，還包括次低溫精餾塔，所述次低溫精餾為三氯氫硅脫輕塔，所述次低溫精餾塔與次高溫精餾塔依次設(shè)置于所述低溫精餾塔與所述高溫精餾塔之間，含有次低溫精餾塔與次高溫精餾塔形成的系統(tǒng)屬于四塔之間的熱量梯級(jí)利用，所述系統(tǒng)包括：低溫精餾塔即一級(jí)塔，作用是分離三氯氫硅中大量的二氯二氫硅，次低溫精餾塔即四級(jí)塔，作用是三氯氫硅脫輕塔，次高溫精餾塔即三級(jí)塔，作用是三氯化硅脫重塔，高溫精餾塔即二級(jí)塔，作用是四氯化硅脫重塔。具體的，所述系統(tǒng)在還包括次低溫精餾塔與次高溫精餾塔的情況下，除上述已說(shuō)明的連接關(guān)系外，還具有如下位置連接關(guān)系：所述第二再沸器管程出口與所述次低溫精餾塔的入口相連，所述次低溫精餾塔塔頂?shù)某隹谂c所述第三再沸器殼程入口相連，所述第三再沸器管程出口與低溫精餾塔的入口相連，所述第三再沸器殼程出口與所述次低溫精餾塔后冷器的入口相連，所述次低溫精餾塔后冷器的出口與次低溫精餾塔回流泵的入口相連，所述次低溫精餾塔回流泵的出口與所述次低溫精餾塔的入口相連，所述低溫精餾塔塔釜的出口與所述次低溫精餾塔的入口相連，所述次低溫精餾塔塔釜的出口與所述次高溫精餾塔的入口相連。如圖3所示，圖3為本發(fā)明四塔之間的精餾工藝的系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖，其中1為低溫精餾塔，2為塔頂冷凝器，3為低溫精餾塔回流泵，4為第一再沸器，5為高溫精餾塔，6為高溫精餾塔后冷器，7為高溫精餾塔回流泵，8為第四再沸器，9為次高溫精餾塔再沸器，10為低溫精餾塔塔釜采出泵，11為次高溫精餾塔，12為次高溫精餾塔后冷器，13為次高溫精餾塔回流泵，14為次低溫精餾塔，15為次低溫精餾塔后冷器，16為次低溫精餾塔回流泵，17為次低溫精餾塔再沸器，18為次低溫精餾塔塔釜采出泵。同樣，在此系統(tǒng)中，所述低溫精餾塔塔頂?shù)某隹谂c低溫精餾塔冷凝器的入口相連，所述低溫精餾塔冷凝器出口與低溫精餾塔回流泵的入口相連，所述低溫精餾塔回流泵的出口與所述低溫精餾塔塔頂入口相連；所述低溫精餾塔塔釜的出口還與所述第一再沸器管程入口相連。所述高溫精餾塔塔釜的出口還與第四再沸器刮成入口相連，所述第四再沸器管程出口與所述高溫精餾塔的入口相連。所述次低溫精餾塔塔釜的出口與第二再沸器管程入口相連，所述第二再沸器管程出口與所述次低溫精餾塔的入口相連，所述低溫精餾塔塔釜的出口與第三再沸器管程入口相連，所述第三再沸器管程出口與所述低溫精餾塔的入口相連。本申請(qǐng)還提供了利用上述四塔相連的系統(tǒng)進(jìn)行氯硅烷精餾提純的方法，包括以下步驟：將四氯化硅原料進(jìn)行脫重處理，分離后的四氯化硅氣體作為三氯化硅脫重的熱源，四氯化硅氣體再進(jìn)行換熱后，得到第一氣液混合物；將所述第一氣液混合物進(jìn)行冷凝，將冷凝后的液體加壓后，得到第一回流液與第一采出液；將原料三氯氫硅和二氯二氫硅的混合物進(jìn)行分離，得到分離后的三氯氫硅液體與二氯二氫硅；將所述三氯氫硅液體進(jìn)行脫輕處理，得到三氯氫硅氣體與第一三氯氫硅液體，所述三氯氫硅氣體作為三氯氫硅和二氯二氫硅的混合物再次分離的熱源，所述三氯氫硅氣體再進(jìn)行換熱后，得到第二氣液混合物；將所述第二氣液混合物進(jìn)行冷凝，將冷凝后的液體加壓后，得到第二回流液與第二采出液；將所述第一三氯氫硅液體在熱源的作用下進(jìn)行脫重處理，得到第一三氯氫硅氣體與第二三氯氫硅液體，所述第一三氯氫硅氣體作為三氯氫硅脫輕處理的熱源，所述第一三氯氫硅氣體再進(jìn)行換熱后，得到第三氣液混合物；所述熱源為得到第一氣液混合物的步驟中的熱源；將所述第三氣液混合物進(jìn)行冷凝，將冷凝后的液體加壓后，得到第三回流液與第三采出液。如圖3所示，利用上述四塔相連的系統(tǒng)進(jìn)行氯硅烷精餾提純的方法具體為：首先原料三氯氫硅和二氯二氫硅(含量1～10％wt)的混物(19)則進(jìn)入一級(jí)塔(1)進(jìn)行分離，回流比10～100，分離后塔頂二氯二氫硅(20)經(jīng)塔頂冷凝器(2)冷凝后由一級(jí)塔回流泵(3)加壓，一部分作為塔頂回流液(22)，另一部分作為塔頂采出液(23)；塔釜三氯氫硅液體(24)一部分經(jīng)再沸器(17)被四級(jí)塔頂蒸汽(29)加熱汽化后返回一級(jí)塔(1)，另一部分經(jīng)塔釜泵(5)采出作為四級(jí)塔(14)的進(jìn)料(28)；四級(jí)塔(14)的作用為三氯氫硅脫輕，回流比為80～250，來(lái)自一級(jí)塔(1)塔釜的三氯氫硅(28)經(jīng)四級(jí)塔分離后，塔頂三氯氫硅氣體(29)進(jìn)入一級(jí)塔(1)再沸器(17)作為熱源，經(jīng)換熱后變?yōu)闅庖夯旌衔?30)，再進(jìn)入四級(jí)塔后冷器(15)全部冷凝成液體，之后經(jīng)過(guò)四級(jí)塔回流泵(16)加壓后一部分作為塔頂回流液(32)，另一部分作為塔頂輕組分(33)采出；塔釜三氯氫硅液體(34)一部分經(jīng)再沸器(9)被三級(jí)塔頂蒸汽(38)加熱汽化后返回四級(jí)塔(14)，另一部分經(jīng)塔釜泵(18)采出作為三級(jí)塔(11)的進(jìn)料(37)；三級(jí)塔(11)的作用為三氯氫硅脫重，回流比為4～12，來(lái)自四級(jí)塔(14)塔釜的三氯氫硅(37)經(jīng)三級(jí)塔分離后，塔頂三氯氫硅氣體(38)進(jìn)入四級(jí)塔(14)再沸器(9)作為熱源，經(jīng)換熱后變?yōu)闅庖夯旌衔?39)，再進(jìn)入三級(jí)塔后冷器(12)全部冷凝成液體(40)，之后經(jīng)過(guò)三級(jí)塔回流泵(13)加壓后一部分作為塔頂回流液(41)，另一部分作為塔頂采出液(42)；塔釜三氯氫硅液體(43)一部分經(jīng)再沸器(4)被二級(jí)塔頂蒸汽(47)加熱汽化后返回三級(jí)塔(11)，另一部分作為塔釜重組(46)分采出；二級(jí)塔(5)為四氯化硅脫重塔，回流比為1～5，原料四氯化硅(56)進(jìn)入二級(jí)塔(5)，經(jīng)分離后塔頂四氯化硅氣體(47)作為三級(jí)塔(11)再沸器(4)的熱源，經(jīng)換熱后變?yōu)闅庖夯旌衔?48)，再進(jìn)入二級(jí)塔后冷器(6)全部冷凝成液體(49)，之后經(jīng)過(guò)二級(jí)塔回流泵(7)加壓后一部分作為塔頂回流液(50)，另一部分作為塔頂采出液(51)；塔釜液體(52)一部分經(jīng)再沸器(8)被蒸汽或?qū)嵊图訜岷笞優(yōu)檎羝?54)返回二級(jí)塔(15)，另一部分(55)作為塔釜重組分采出。根據(jù)本發(fā)明的要求，由于在生產(chǎn)過(guò)程中為了保證操作的穩(wěn)定性，從四級(jí)塔(14)開(kāi)始，每一級(jí)塔頂蒸汽熱量需要大于前一級(jí)低溫精餾塔再沸器所需熱量的3～8％，因此，四、三、二級(jí)塔后冷器(15)、(12)和(6)必須開(kāi)啟。根據(jù)本發(fā)明的規(guī)定，一級(jí)塔(1)的操作壓力為0.3～0.9MPa，四級(jí)塔(14)的操作壓力為0.4～0.8MPa，三級(jí)塔(11)操作壓力為0.4～1MPa，二級(jí)塔(5)操作壓力為0.3～0.8MPa；高溫精餾塔(4、3、2)塔頂溫度與低溫精餾塔(3、2、1)塔釜溫度之間應(yīng)至少有8℃以上的溫差。如上所述，本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N熱量梯級(jí)利用的系統(tǒng)，上述記載了兩塔之間的熱量梯級(jí)利用、三塔之間的熱量梯級(jí)利用與四塔之間的熱量梯級(jí)利用，同樣為了生產(chǎn)的需要，也可以按照熱量梯級(jí)利用的原理再增加精餾塔的數(shù)目，對(duì)此本申請(qǐng)沒(méi)有特別的限制。同時(shí)，上述精餾塔，包括高溫精餾塔、次高溫精餾、次低溫精餾塔和低溫精餾塔均可以是填料塔或者板式塔。本發(fā)明充分利用了高溫精餾塔頂?shù)恼羝麃?lái)加熱低溫精餾塔釜的液體，最大限度的實(shí)現(xiàn)了熱量的梯級(jí)重復(fù)使用，熱量重復(fù)使用次數(shù)可達(dá)3次，大大降低了精餾過(guò)程的蒸汽消耗，蒸汽消耗可減少40％～75％；同時(shí)也大幅度減少了塔頂循環(huán)水的消耗量。由于本申請(qǐng)?zhí)峁┑南到y(tǒng)可最大限度的實(shí)現(xiàn)熱量的重復(fù)利用，精餾操作中，在塔板數(shù)一定的情況，可以通過(guò)加大回流比來(lái)獲得純度更高的精餾產(chǎn)品，從而可以生產(chǎn)接近電子級(jí)的多晶硅。為了進(jìn)一步理解本發(fā)明，下面結(jié)合實(shí)施例對(duì)本發(fā)明提供的氯硅烷精餾提純的系統(tǒng)與方法進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明，本發(fā)明的保護(hù)范圍不受以下實(shí)施例的限制。實(shí)施例1兩塔之間的熱量梯級(jí)利用工藝流程a，工藝操作方法如下：如圖1所示，首先原料四氯化硅(9)進(jìn)入二級(jí)塔(5)進(jìn)行脫重處理，回流比為1～5，經(jīng)分離后塔頂四氯化硅氣體(10)作為一級(jí)塔(1)再沸器(4)的熱源，經(jīng)換熱后變?yōu)闅庖夯旌衔?11)，再進(jìn)入二級(jí)塔后冷器(6)全部冷凝成液體，之后經(jīng)過(guò)二級(jí)塔回流泵(7)加壓后一部分作為塔頂回流液(13)，另一部分作為塔頂采出液(14)；塔釜液體(15)一部分經(jīng)再沸器(8)被蒸汽或?qū)嵊图訜岷笞優(yōu)檎羝?16)返回二級(jí)塔(5)，另一部分(17)作為塔釜重組分采出；原料三氯氫硅和二氯二氫硅(含量1～10wt％)的混物(18)則進(jìn)入一級(jí)塔(1)進(jìn)行分離，回流比10～100，分離后塔頂二氯二氫硅(22)經(jīng)塔頂冷凝器(2)冷凝后由一級(jí)塔回流泵(3)加壓，一部分作為塔頂回流液(24)，另一部分作為塔頂采出液(25)；塔釜三氯氫硅液體(19)一部分經(jīng)再沸器(4)被二級(jí)塔頂蒸汽(10)加熱汽化后返回一級(jí)塔(1)，另一部分作為塔釜采出去下一級(jí)塔。根據(jù)本發(fā)明的要求，由于在生產(chǎn)過(guò)程中為了保證一級(jí)塔(1)操作穩(wěn)定，二級(jí)塔(5)塔頂蒸汽熱量需要大于低溫精餾塔再沸器所需熱量的3～8％，因此，二級(jí)塔后冷器(6)必須開(kāi)啟。應(yīng)用實(shí)例1：年產(chǎn)10000噸多晶硅生產(chǎn)過(guò)程中氯硅烷的精餾提純，具體工藝參數(shù)如下：一級(jí)塔(1)進(jìn)料量24m3/h，進(jìn)料組成：三氯氫硅含量96.4％，二氯二氫硅含量3.5％，四氯化硅含量0.1％，B、P、Fe、Al、Ca等雜質(zhì)微量；二級(jí)塔(5)進(jìn)料量59m3/h，進(jìn)料組成：三氯氫硅0.1％，四氯化硅99.9％，B、P、Fe、Al、Ca等雜質(zhì)微量；一級(jí)塔(1)操作壓力0.4MPa，塔頂溫度52.3℃，回流比100，理論板數(shù)100；二級(jí)塔(5)操作壓力0.3MPa，塔頂溫度95.2℃，回流比1.4，理論板數(shù)60。通過(guò)模擬計(jì)算，兩塔熱量梯級(jí)利用的各塔熱負(fù)荷如表1所示，括號(hào)中的數(shù)據(jù)為常規(guī)精餾方法的熱負(fù)荷。表1本實(shí)施例各塔熱負(fù)荷數(shù)據(jù)表再沸器負(fù)荷(Gcal/h)冷凝器負(fù)荷(Gcal/h)總計(jì)(Gcal/h)一級(jí)塔0(6.41)6.1176.117(12.527)二級(jí)塔6.6920.211(6.621)6.903(13.313)總計(jì)6.692(13.102)6.328(12.739)13.02(25.841)從上表可以看出，采用兩塔熱量梯級(jí)利用后總的再沸器熱負(fù)荷為6.692Gcal/h，相比于常規(guī)方法(總的熱負(fù)荷為13.106Gcal/h)節(jié)能49.3％；冷凝器熱負(fù)荷節(jié)能50.32％；總體節(jié)能49.81％。實(shí)施例2三塔之間的熱量梯級(jí)利用工藝流程b，工藝操作方法如下：如圖2所示，首先原料三氯氫硅和二氯二氫硅(含量1～10％wt)的混物(14)進(jìn)入一級(jí)塔(1)進(jìn)行分離，回流比10～100，分離后塔頂二氯二氫硅(15)經(jīng)塔頂冷凝器(2)冷凝后由一級(jí)塔回流泵(3)加壓，一部分作為塔頂回流液(16)，另一部分作為塔頂采出液(17)；塔釜三氯氫硅液體(18)一部分經(jīng)再沸器(9)被三級(jí)塔頂蒸汽(22)加熱汽化后返回一級(jí)塔(1)，另一部分經(jīng)塔釜泵(10)采出作為三級(jí)塔(11)的進(jìn)料(21)；三級(jí)塔(11)的作用為三氯氫硅脫重，回流比為4～12，來(lái)自一級(jí)塔(1)塔釜的三氯氫硅(21)經(jīng)三級(jí)塔分離后，塔頂三氯氫硅氣體(22)進(jìn)入一級(jí)塔(1)再沸器(9)作為熱源，經(jīng)換熱后變?yōu)闅庖夯旌衔?23)，再進(jìn)入三級(jí)塔后冷器(12)全部冷凝成液體，之后經(jīng)過(guò)三級(jí)塔回流泵(13)加壓后一部分作為塔頂回流液(25)，另一部分作為塔頂采出液(26)；塔釜三氯氫硅液體(27)一部分經(jīng)再沸器(4)被二級(jí)塔頂蒸汽(32)加熱汽化后返回三級(jí)塔(11)，另一部分作為塔釜重組分(30)采出；二級(jí)塔(5)為四氯化硅脫重塔，回流比為1～5，原料四氯化硅(31)進(jìn)入二級(jí)塔(5)，經(jīng)分離后塔頂四氯化硅氣體(32)作為三級(jí)塔(11)再沸器(4)的熱源，經(jīng)換熱后變?yōu)闅庖夯旌衔?33)，再進(jìn)入二級(jí)塔后冷器(6)全部冷凝成液體(34)，之后經(jīng)過(guò)二級(jí)塔回流泵(7)加壓后一部分作為塔頂回流液(35)，另一部分作為塔頂采出液(36)；塔釜液體(37)一部分經(jīng)再沸器(8)被蒸汽或?qū)嵊图訜岷笞優(yōu)檎羝?39)返回二級(jí)塔(5)，另一部分(40)作為塔釜重組分采出。根據(jù)本發(fā)明的要求，由于在生產(chǎn)過(guò)程中為了保證一級(jí)塔(1)和三級(jí)塔(11)操作穩(wěn)定，二級(jí)塔(5)塔頂蒸汽熱量需要大于低溫精餾塔再沸器所需熱量的3～8％，因此，二、三級(jí)塔后冷器(6)和(12)必須開(kāi)啟。應(yīng)用實(shí)例2：年產(chǎn)12000噸多晶硅生產(chǎn)過(guò)程中氯硅烷的精餾提純，具體工藝參數(shù)如下：一級(jí)塔(1)進(jìn)料量29m3/h，進(jìn)料組成：三氯氫硅含量96.2％，二氯二氫硅含量3.7％，四氯化硅含量0.1％，B、P、Fe、Al、Ca等雜質(zhì)微量；三級(jí)塔(11)進(jìn)料量77m3/h，進(jìn)料組成：三氯氫硅0.1％，四氯化硅99.9％，B、P、Fe、Al、Ca等雜質(zhì)微量；一級(jí)塔(1)操作壓力0.4MPa，塔頂溫度52.3℃，回流比80，理論板數(shù)120；二級(jí)塔(5)操作壓力0.56MPa，塔頂溫度91.9℃，回流比4，理論板數(shù)160；三級(jí)塔(11)操作壓力0.4MPa，塔頂溫度107℃，回流比1.2，理論板數(shù)60。通過(guò)模擬計(jì)算，兩塔熱量梯級(jí)利用的各塔熱負(fù)荷如表2所示，括號(hào)中的數(shù)據(jù)為常規(guī)精餾方法的熱負(fù)荷。表2本實(shí)施例各塔的熱負(fù)荷數(shù)據(jù)表從上表可以看出，采用三塔熱量梯級(jí)利用后總的再沸器熱負(fù)荷為7.619Gcal/h，相比于常規(guī)方法(熱負(fù)荷為21.412Gcal/h)節(jié)能64.42％，冷凝器熱負(fù)荷節(jié)能66.13％；總體節(jié)能65.26％。實(shí)施例3四塔之間的熱量梯級(jí)利用工藝流程c，工藝操作方法如下：如圖3所示，首先原料三氯氫硅和二氯二氫硅(含量1～10％wt)的混物(19)則進(jìn)入一級(jí)塔(1)進(jìn)行分離，回流比10～100，分離后塔頂二氯二氫硅(20)經(jīng)塔頂冷凝器(2)冷凝后由一級(jí)塔回流泵(3)加壓，一部分作為塔頂回流液(22)，另一部分作為塔頂采出液(23)；塔釜三氯氫硅液體(24)一部分經(jīng)再沸器(17)被四級(jí)塔頂蒸汽(29)加熱汽化后返回一級(jí)塔(1)，另一部分經(jīng)塔釜泵(5)采出作為四級(jí)塔(14)的進(jìn)料(28)；四級(jí)塔(14)的作用為三氯氫硅脫輕，回流比為80～250，來(lái)自一級(jí)塔(1)塔釜的三氯氫硅(28)經(jīng)四級(jí)塔分離后，塔頂三氯氫硅氣體(29)進(jìn)入一級(jí)塔(1)再沸器(17)作為熱源，經(jīng)換熱后變?yōu)闅庖夯旌衔?30)，再進(jìn)入四級(jí)塔后冷器(15)全部冷凝成液體，之后經(jīng)過(guò)四級(jí)塔回流泵(16)加壓后一部分作為塔頂回流液(32)，另一部分作為塔頂輕組分(33)采出；塔釜三氯氫硅液體(34)一部分經(jīng)再沸器(9)被三級(jí)塔頂蒸汽(38)加熱汽化后返回四級(jí)塔(14)，另一部分經(jīng)塔釜泵(18)采出作為三級(jí)塔(11)的進(jìn)料(37)；三級(jí)塔(11)的作用為三氯氫硅脫重，回流比為4～12，來(lái)自四級(jí)塔(14)塔釜的三氯氫硅(37)經(jīng)三級(jí)塔分離后，塔頂三氯氫硅氣體(38)進(jìn)入四級(jí)塔(14)再沸器(9)作為熱源，經(jīng)換熱后變?yōu)闅庖夯旌衔?39)，再進(jìn)入三級(jí)塔后冷器(12)全部冷凝成液體(40)，之后經(jīng)過(guò)三級(jí)塔回流泵(13)加壓后一部分作為塔頂回流液(41)，另一部分作為塔頂采出液(42)；塔釜三氯氫硅液體(43)一部分經(jīng)再沸器(4)被二級(jí)塔頂蒸汽(47)加熱汽化后返回三級(jí)塔(11)，另一部分作為塔釜重組(46)分采出；二級(jí)塔(5)為四氯化硅脫重塔，回流比為1～5，原料四氯化硅(56)進(jìn)入二級(jí)塔(5)，經(jīng)分離后塔頂四氯化硅氣體(47)作為三級(jí)塔(11)再沸器(4)的熱源，經(jīng)換熱后變?yōu)闅庖夯旌衔?48)，再進(jìn)入二級(jí)塔后冷器(6)全部冷凝成液體(49)，之后經(jīng)過(guò)二級(jí)塔回流泵(7)加壓后一部分作為塔頂回流液(50)，另一部分作為塔頂采出液(51)；塔釜液體(52)一部分經(jīng)再沸器(8)被蒸汽或?qū)嵊图訜岷笞優(yōu)檎羝?54)返回二級(jí)塔(15)，另一部分(55)作為塔釜重組分采出。根據(jù)本發(fā)明的要求，由于在生產(chǎn)過(guò)程中為了保證操作的穩(wěn)定性，從四級(jí)塔(14)開(kāi)始，每一級(jí)塔頂蒸汽熱量需要大于前一級(jí)低溫精餾塔再沸器所需熱量的3～8％，因此，四、三、二級(jí)塔后冷器(15)、(12)和(6)必須開(kāi)啟。應(yīng)用實(shí)例3：年產(chǎn)15000噸多晶硅生產(chǎn)過(guò)程中氯硅烷的精餾提純，具體工藝參數(shù)如下：一級(jí)塔(1)進(jìn)料量36.4m3/h，進(jìn)料組成：三氯氫硅含量96.1％，二氯二氫硅含量3.8％，四氯化硅含量0.1％，B、P、Fe、Al、Ca等雜質(zhì)微量；四級(jí)塔(15)進(jìn)料量96m3/h，進(jìn)料組成：三氯氫硅0.1％，四氯化硅99.9％，B、P、Fe、Al、Ca等雜質(zhì)微量；一級(jí)塔(1)操作壓力0.35MPa，塔頂溫度48℃，回流比80，理論板數(shù)80；二級(jí)塔(5)操作壓力0.5MPa，塔頂溫度87.1℃，回流比230，理論板數(shù)100；三級(jí)塔(10)操作壓力0.72MPa，塔頂溫度103℃，回流比5，理論板數(shù)100；四級(jí)塔(15)操作壓力0.52MPa，塔頂溫度118.6℃，回流比1.5，理論板數(shù)60。通過(guò)模擬計(jì)算，兩塔熱量梯級(jí)利用的各塔熱負(fù)荷如表3所示，括號(hào)中的數(shù)據(jù)為常規(guī)精餾方法的熱負(fù)荷。表3本實(shí)施例各塔熱負(fù)荷數(shù)據(jù)表從上表可以看出，采用四塔熱量梯級(jí)利用后總的再沸器熱負(fù)荷為10.56Gcal/h，相比于常規(guī)方法(總的熱負(fù)荷為38.892Gcal/h)節(jié)能72.85％，冷凝器熱負(fù)荷相比于常規(guī)方法降低74.64％；總體節(jié)能73.72％。以上實(shí)施例的說(shuō)明只是用于幫助理解本發(fā)明的方法及其核心思想。應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本
技術(shù)領(lǐng)域：
的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可以對(duì)本發(fā)明進(jìn)行若干改進(jìn)和修飾，這些改進(jìn)和修飾也落入本發(fā)明權(quán)利要求的保護(hù)范圍內(nèi)。對(duì)所公開(kāi)的實(shí)施例的上述說(shuō)明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本發(fā)明。對(duì)這些實(shí)施例的多種修改對(duì)本領(lǐng)域的專(zhuān)業(yè)技術(shù)人員來(lái)說(shuō)將是顯而易見(jiàn)的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本發(fā)明的精神或范圍的情況下，在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因此，本發(fā)明將不會(huì)被限制于本文所示的這些實(shí)施例，而是要符合與本文所公開(kāi)的原理和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范圍。當(dāng)前第1頁(yè)1 2 3