1.一種光纖母材的制造方法,其特征在于,包括:預(yù)混合工序,在含有氣態(tài)或霧狀的有機(jī)硅的含原料氣體中預(yù)混合氧氣而生成預(yù)混合原料氣體;以及
煙灰生成工序,將所述預(yù)混合原料氣體與燃燒用氣體供給于燃燒器,在火焰中使有機(jī)硅反應(yīng)而生成SiO2煙灰,
其中,所述預(yù)混合工序中,將根據(jù)所述預(yù)混合原料氣體中的所述有機(jī)硅的量而確定的所述有機(jī)硅的液化溫度以上的溫度的所述氧氣進(jìn)行預(yù)混合。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光纖母材的制造方法,其特征在于,將隔開所述預(yù)混合原料氣體與所述燃燒用氣體的密封氣體以所述有機(jī)硅的所述液化溫度以上的溫度供給于所述燃燒器。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光纖母材的制造方法,其特征在于,所述預(yù)混合工序中,將110℃以上的所述氧氣進(jìn)行預(yù)混合。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光纖母材的制造方法,其特征在于,將預(yù)混合的所述氧氣的溫度以上的溫度的所述密封氣體供給于所述燃燒器。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光纖母材的制造方法,其特征在于,所述含原料氣體是含有氬與氧的混合氣體、氮與氧的混合氣體或氧作為載氣的氣體。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光纖母材的制造方法,其特征在于,所述密封氣體為氬。
7.根據(jù)權(quán)利要求1~6中任一項(xiàng)所述的光纖母材的制造方法,其特征在于,所述燃燒器為具有多個(gè)噴嘴的多噴嘴燃燒器。
8.根據(jù)權(quán)利要求1~6中任一項(xiàng)所述的光纖母材的制造方法,其特征在于,所述燃燒器為多管燃燒器。
9.根據(jù)權(quán)利要求1~6中任一項(xiàng)所述的光纖母材的制造方法,其特征在于,所述有機(jī)硅為八甲基環(huán)四硅氧烷。
10.根據(jù)權(quán)利要求1~6中任一項(xiàng)所述的光纖母材的制造方法,其特征在于,所述有機(jī)硅為六甲基二硅氧烷。