專利名稱：一種罐體三角排布的緊湊型硅片切割廢砂漿在線回收設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
一種罐體三角排布的緊湊型硅片切割廢砂漿在線回收設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域[0001]本實用新型涉及機電一體化設(shè)備領(lǐng)域，特別涉及了一種罐體三角排布的緊湊型硅片切割廢砂漿在線回收設(shè)備。
背景技術(shù)：
[0002]目前，硅片線切割工藝的現(xiàn)狀，為了保證切割質(zhì)量，切割工藝中使用的砂漿基本都是極少的重復(fù)使用，切割使用后的廢棄砂漿直接作為工業(yè)廢棄物堆積處理，或者委托專業(yè)處理廠對使用過的砂漿進行處理，無論以上那種方式，都會造成極大浪費，產(chǎn)生較大成本， 因此，實現(xiàn)砂漿的回收再利用是硅片生產(chǎn)企業(yè)降低生產(chǎn)成本的有效途徑，需要合理的設(shè)備， 現(xiàn)有設(shè)備結(jié)構(gòu)復(fù)雜，布局松散，占地面積大。實用新型內(nèi)容[0003]本實用新型的目的是為了減小設(shè)備占地面積，合理布局，特提供了一種罐體三角排布的緊湊型硅片切割廢砂漿在線回收設(shè)備。[0004]本實用新型提供了一種罐體三角排布的緊湊型硅片切割廢砂漿在線回收設(shè)備，其特征在于所述的罐體三角排布的緊湊型硅片切割廢砂漿在線回收設(shè)備，包括二號分離機 1，五號罐2,六號罐3,傳輸泵4,四號罐5,給料泵6,電控柜7, —號分離機8, —號罐9, 二號罐10，三號罐11 ；[0005]其中一號分離機8水平擺放在整個設(shè)備正面，將二號分離機I垂直擺放在整個設(shè)備左側(cè)；將一號罐9、二號罐10和三號罐11擺放在整個設(shè)備的左側(cè)，四號罐5、五號罐2 和六號罐3呈等邊三角形方式布置在整個設(shè)備的右側(cè)，減少了占地面積，電控柜的功能為對整套設(shè)備進行供電及控制。1#罐功能為調(diào)和罐。2#罐為存貯罐。電控柜7安裝在設(shè)備一端，電控柜7分別一號分離機8和二號分離機I相連,二號罐10與二號分離機I相連,二號分離機I再與三號罐11相連，三號罐11功能為存忙罐，四號罐5功能為存儲罐，四號罐 5與一號分離機8及一號罐9相連,五號罐2為調(diào)和罐,五號罐2與一號罐9相連,六號罐3 為存儲罐，與一號罐9相連,給料泵6與四號罐5相連。[0006]所述的一號分離機8為臥式螺旋沉降離心機。[0007]所述的二號分離機I為臥式螺旋沉降離心機。[0008]工作原理[0009]切片機產(chǎn)生的廢舊砂漿，經(jīng)一號分離機的分離后，形成一次分離液和回收的粗粉；一次分離液經(jīng)二號分離機的分離后，產(chǎn)生回收的液相和回收固相，對回收固相進行再處理；[0010]一次分離產(chǎn)生回收的粗粉，與新配置的砂漿、二次分離后產(chǎn)生回收的液相三者混合處理，形成新的可利用的砂漿，用于切片機使用。[0011]罐體之間的平行布局，減小了設(shè)備整體尺寸，減小了使用時的占地面積，為企業(yè)帶來了布局上的方便。CN 202744509 U書明說2/2頁[0012]本實用新型的優(yōu)點[0013]本實用新型所述的罐體三角排布的緊湊型硅片切割廢砂漿在線回收設(shè)備，用于分離和回收硅片切割工藝中所產(chǎn)生的廢砂漿，同時亦適用于半導(dǎo)體芯片、水晶、鉆石等行業(yè)的廢液回收利用。硅片切割廢液中，PEG、SiC的回收率可達80%以上，硅片切割廢砂漿在線回收設(shè)備與線切割機可采用I :4或I :5配置。有效地避免了浪費，降低了企業(yè)的生產(chǎn)成本， 四號罐、五號罐和六號罐呈等邊三角形方式布置在整個設(shè)備的右側(cè)，減少了占地面積。


[0014]
以下結(jié)合附圖及實施方式對本實用新型作進一步詳細的說明[0015]圖I為罐體三角排布的緊湊型硅片切割廢砂漿在線回收設(shè)備的原理結(jié)構(gòu)示意圖；[0016]圖2為罐體三角排布的緊湊型硅片切割廢砂漿在線回收設(shè)備的俯視圖圖；[0017]圖3為罐體三角排布的緊湊型硅片切割廢砂漿在線回收設(shè)備的主視圖。
具體實施方式
實施例[0019]本實施例提供了一種罐體三角排布的緊湊型硅片切割廢砂漿在線回收設(shè)備，其特征在于所述的罐體三角排布的緊湊型硅片切割廢砂漿在線回收設(shè)備，包括二號分離機1， 五號罐2,六號罐3,傳輸泵4,四號罐5,給料泵6,電控柜7, —號分離機8, —號罐9, 二號罐 10，三號罐11 ；[0020]其中一號分離機8水平擺放在整個設(shè)備正面，將二號分離機I垂直擺放在整個設(shè)備左側(cè)；將一號罐9、二號罐10和三號罐11擺放在整個設(shè)備的左側(cè)，四號罐5、五號罐2 和六號罐3呈等邊三角形方式布置在整個設(shè)備的右側(cè)，減少了占地面積，電控柜的功能為對整套設(shè)備進行供電及控制。1#罐功能為調(diào)和罐。2#罐為存貯罐。電控柜7安裝在設(shè)備一端，電控柜7分別一號分離機8和二號分離機I相連,二號罐10與二號分離機I相連,二號分離機I再與三號罐11相連，三號罐11功能為存忙罐，四號罐5功能為存儲罐，四號罐 5與一號分離機8及一號罐9相連,五號罐2為調(diào)和罐,五號罐2與一號罐9相連,六號罐3 為存儲罐，與一號罐9相連,給料泵6與四號罐5相連。[0021]所述的一號分離機8為臥式螺旋沉降離心機。[0022]所述的二號分離機I為臥式螺旋沉降離心機。[0023]工作原理[0024]切片機產(chǎn)生的廢舊砂漿，經(jīng)一號分離機的分離后，形成一次分離液和回收的粗粉；一次分離液經(jīng)二號分離機的分離后，產(chǎn)生回收的液相和回收固相，對回收固相進行再處理；[0025]一次分離產(chǎn)生回收的粗粉，與新配置的砂漿、二次分離后產(chǎn)生回收的液相三者混合處理，形成新的可利用的砂漿，用于切片機使用。[0026]罐體之間的平行布局，減小了設(shè)備整體尺寸，減小了使用時的占地面積，為企業(yè)帶來了布局上的方便。權(quán)利要求1.I. 一種罐體三角排布的緊湊型硅片切割廢砂漿在線回收設(shè)備，其特征在于所述的罐體三角排布的緊湊型硅片切割廢砂漿在線回收設(shè)備，包括二號分離機(1)，五號罐(2)， 六號罐(3),傳輸泵(4),四號罐(5),給料泵(6),電控柜(7), —號分離機(8), —號罐(9), 二號罐(10),三號罐(11)；其中一號分離機(8)水平擺放在整個設(shè)備正面，將二號分離機(I)垂直擺放在整個設(shè)備左側(cè)；將一號罐(9)、二號罐(10)和三號罐(11)擺放在整個設(shè)備的左側(cè)，四號罐(5)、五號罐(2)和六號罐(3)呈等邊三角形方式布置在整個設(shè)備的右側(cè)，電控柜(7)安裝在設(shè)備一端，電控柜(7)分別一號分離機(8)和二號分離機(I)相連,二號罐(10)與二號分離機(I) 相連，二號分離機(I)再與三號罐(11)相連，四號罐(5)功能為存儲罐，四號罐(5)與一號分離機(8)及一號罐(9)相連,五號罐(2)為調(diào)和罐,五號罐(2)與一號罐(9)相連，六號罐(3)與一號罐(9)相連,給料泵(6)與四號罐(5)相連。
2.按照權(quán)利要求I所述的罐體三角排布的緊湊型硅片切割廢砂漿在線回收設(shè)備，其特征在于所述的一號分離機(8)為臥式螺旋沉降離心機。
3.按照權(quán)利要求I所述的罐體三角排布的緊湊型硅片切割廢砂漿在線回收設(shè)備，其特征在于所述的二號分離機(I)為臥式螺旋沉降離心機。
專利摘要一種罐體三角排布的緊湊型硅片切割廢砂漿在線回收設(shè)備，包括二號分離機，五號罐，六號罐，傳輸泵，四號罐，給料泵，電控柜，一號分離機，一號罐，二號罐，三號罐；一號分離機水平擺放在整個設(shè)備正面，將二號分離機垂直擺放在整個設(shè)備左側(cè)；將一號罐、二號罐和三號罐擺放在整個設(shè)備的左側(cè)，四號罐、五號罐和六號罐呈等邊三角形方式布置在整個設(shè)備的右側(cè)，減少了占地面積，二號分離機再與三號罐相連，給料泵與四號罐相連。本實用新型的優(yōu)點用于分離和回收硅片切割工藝中所產(chǎn)生的廢砂漿，亦適用于半導(dǎo)體芯片、水晶、鉆石等行業(yè)的廢液回收利用。四號罐、五號罐和六號罐呈等邊三角形方式布置在整個設(shè)備的右側(cè)，減少了占地面積。
文檔編號C01B31/36GK202744509SQ201220177848
公開日2013年2月20日 申請日期2012年4月23日 優(yōu)先權(quán)日2012年4月23日
發(fā)明者張磊 申請人:沈陽光遠新能源科技有限公司