Mo源瓶自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種MO源瓶自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]MO源在LED外延生長(zhǎng)過(guò)程中為必要的氣源，MO源瓶在使用中需要放置在水域槽中，同時(shí)，還必須保證MO源瓶整體浸沒(méi)在水中，才能保持在生產(chǎn)過(guò)程中MO源溫度恒定，保證生產(chǎn)質(zhì)量。一般恒溫水浴槽為統(tǒng)一規(guī)格，而各家MO源廠家及不同MO源的瓶大小不一，導(dǎo)致MO源瓶在水浴槽中位置不固定，容易發(fā)生MO源瓶?jī)A斜歪倒。
[0003]同時(shí)，MO源實(shí)際使用過(guò)程中，對(duì)瓶中產(chǎn)品剩余量無(wú)法估計(jì)，技術(shù)人員只能憑經(jīng)驗(yàn)生產(chǎn)一段時(shí)間后，將MO源瓶取出，進(jìn)行稱重后，再做評(píng)估。耗費(fèi)時(shí)間，不利于最大化利用MO源，而且不利于連續(xù)性生產(chǎn)。
[0004]故專利201220468026.5中揭示了一種MO源瓶支架，采用緊固螺栓的設(shè)備將MO源瓶固定在容器中。在實(shí)際操作中，MO源瓶為圓柱體，采用緊固螺栓不易實(shí)現(xiàn)固定。同時(shí)，不斷人工調(diào)節(jié)其高度也使得操作繁瑣不便。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]鑒于上述現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷，本實(shí)用新型的目的是提出一種可自動(dòng)調(diào)節(jié)MO源瓶高度的調(diào)節(jié)裝置。
[0006]本實(shí)用新型的目的，將通過(guò)以下技術(shù)方案得以實(shí)現(xiàn):
[0007]MO源瓶自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置，包括水浴槽，所述水浴槽內(nèi)的底部連接有高度調(diào)節(jié)模塊，所述高度調(diào)節(jié)模塊上放置MO源瓶，所述高度調(diào)節(jié)模塊與設(shè)置在水浴槽外的PLC控制器電性連接，所述PLC控制器控制高度調(diào)節(jié)模塊進(jìn)行高度的調(diào)節(jié)。
[0008]優(yōu)選地，所述高度調(diào)節(jié)模塊包括設(shè)置于底部的彈性件及設(shè)置在彈性件上的稱重器。
[0009]優(yōu)選地，所述彈性件為彈簧，所述稱重器內(nèi)還設(shè)置有重力傳感器，所述彈簧的軸線與水浴槽底面垂直。
[0010]優(yōu)選地，所述高度調(diào)節(jié)模塊還包括一柔性套，所述彈性件及稱重器置于柔性套內(nèi)。
[0011]優(yōu)選地，所述調(diào)節(jié)裝置還包括一報(bào)警裝置，所述報(bào)警裝置與所述PLC控制器電性連接。
[0012]優(yōu)選地，所述報(bào)警裝置為聲音報(bào)警裝置或發(fā)光報(bào)警裝置。
[0013]優(yōu)選地，所述PLC控制器中包括有控制模塊及數(shù)據(jù)分析模塊。
[0014]本實(shí)用新型突出效果為:可以自動(dòng)調(diào)節(jié)MO源瓶在水浴槽中的位置，同時(shí)，在生產(chǎn)過(guò)程中，當(dāng)MO源瓶中MO源剩余量達(dá)到預(yù)警值時(shí)，將啟動(dòng)報(bào)警裝置，提醒工藝人員及時(shí)更換，保證生產(chǎn)順利進(jìn)行。
[0015]以下便結(jié)合實(shí)施例附圖，對(duì)本實(shí)用新型的【具體實(shí)施方式】作進(jìn)一步的詳述，以使本實(shí)用新型技術(shù)方案更易于理解、掌握。
【附圖說(shuō)明】
[0016]圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0017]結(jié)合如圖1所示，本實(shí)用新型揭示了一種MO源瓶高度可自動(dòng)調(diào)節(jié)并可及時(shí)報(bào)警的裝置，包括水浴槽1，所述水浴槽I內(nèi)的底部連接有高度調(diào)節(jié)模塊。所述高度調(diào)節(jié)模塊上放置MO源瓶2，所述高度調(diào)節(jié)模塊與設(shè)置在水浴槽I外的PLC控制器5電性連接，所述PLC控制器5控制高度調(diào)節(jié)模塊進(jìn)行高度的調(diào)節(jié)。
[0018]具體的，所述高度調(diào)節(jié)模塊包括設(shè)置于底部的彈性件4及設(shè)置在彈性件上的稱重器3。所述彈性件4可以為彈簧，所述稱重器3內(nèi)還設(shè)置有重力傳感器。當(dāng)然，也可以采用其他的部件。
[0019]所述高度調(diào)節(jié)模塊還包括一柔性套，所述彈性件4及稱重器3置于柔性套內(nèi)。所述柔性套可以采用橡膠波紋管，此柔性套主要是為了保證彈性件4及稱重器3能與水浴槽I中的水保持隔絕狀態(tài)，延長(zhǎng)其使用壽命。
[0020]所述調(diào)節(jié)裝置還包括一報(bào)警裝置(圖中未示意)，所述報(bào)警裝置與所述PLC控制器電性連接。所述報(bào)警裝置為聲音報(bào)警裝置或發(fā)光報(bào)警裝置?？梢圆捎酶婢療艋蝤Q笛等。
[0021]以下簡(jiǎn)述下本實(shí)用新型的使用原理:
[0022]將MO源瓶放置于高度調(diào)節(jié)模塊上，MO源瓶通過(guò)管道21將MO源進(jìn)入到MOCVD設(shè)備中進(jìn)行外延生長(zhǎng)。當(dāng)MO源瓶放置于水浴槽I后，根據(jù)MO源瓶規(guī)格及水浴槽I液面高度，通過(guò)PLC控制器進(jìn)行MO源在水浴槽中的高度調(diào)節(jié)。
[0023]具體的，高度調(diào)節(jié)模塊內(nèi)的稱重器對(duì)MO源瓶在使用中的重量隨時(shí)進(jìn)行稱重，并通過(guò)重力傳感器將信號(hào)傳輸至PLC控制器上，所述PLC控制器進(jìn)行分析控制后將需要進(jìn)行調(diào)高的信號(hào)傳輸至高度調(diào)節(jié)模塊，彈性件接收到信號(hào)后進(jìn)行上升或下降，使得MO源瓶調(diào)節(jié)至所需高度。
[0024]當(dāng)MO源瓶在使用時(shí)，隨著MO源的減少，PLC控制器會(huì)接收到重力傳感器的信號(hào)后通過(guò)數(shù)據(jù)分析模塊進(jìn)行分析，若分析后得知的MO源量在預(yù)設(shè)值的預(yù)警值內(nèi)，則信號(hào)傳輸至報(bào)警裝置，所述報(bào)警裝置接收到信號(hào)后進(jìn)行相應(yīng)的報(bào)警，提示操作人員進(jìn)行相應(yīng)的更換等操作。
[0025]本裝置實(shí)用性強(qiáng)，且能夠自動(dòng)調(diào)節(jié)MO源瓶的位置，大大節(jié)省了操作人員在對(duì)MO源瓶使用的控制時(shí)間。由于其整個(gè)裝置內(nèi)采用柔性套等均具有全密封式、防潮濕、防腐蝕，故使得裝置的使用條件不限，可在惡劣條件下使用。
[0026]所述PLC控制器還可以連接有顯示屏，方便操作人員的觀察監(jiān)控。
[0027]本實(shí)用新型尚有多種實(shí)施方式，凡采用等同變換或者等效變換而形成的所有技術(shù)方案，均落在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.MO源瓶自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置，包括水浴槽，其特征在于:所述水浴槽內(nèi)的底部連接有高度調(diào)節(jié)模塊，所述高度調(diào)節(jié)模塊上放置MO源瓶，所述高度調(diào)節(jié)模塊與設(shè)置在水浴槽外的PLC控制器電性連接，所述PLC控制器控制高度調(diào)節(jié)模塊進(jìn)行高度的調(diào)節(jié)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MO源瓶自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置，其特征在于:所述高度調(diào)節(jié)模塊包括設(shè)置于底部的彈性件及設(shè)置在彈性件上的稱重器。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的MO源瓶自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置，其特征在于:所述彈性件為彈簧，所述稱重器內(nèi)還設(shè)置一重力傳感器，所述彈簧的軸線與水浴槽底面垂直。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的MO源瓶自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置，其特征在于:所述高度調(diào)節(jié)模塊還包括一柔性套，所述彈性件及稱重器置于柔性套內(nèi)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的MO源瓶自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置，其特征在于:所述調(diào)節(jié)裝置還包括一報(bào)警裝置，所述報(bào)警裝置與所述PLC控制器電性連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的MO源瓶自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置，其特征在于:所述報(bào)警裝置為聲音報(bào)警裝置或發(fā)光報(bào)警裝置。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的MO源瓶自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置，其特征在于:所述PLC控制器中包括有控制模塊及數(shù)據(jù)分析模塊。
【專利摘要】本實(shí)用新型揭示了MO源瓶自動(dòng)調(diào)節(jié)裝置，包括水浴槽，其特征在于：所述水浴槽內(nèi)的底部連接有高度調(diào)節(jié)模塊，所述高度調(diào)節(jié)模塊上放置MO源瓶，所述高度調(diào)節(jié)模塊與設(shè)置在水浴槽外的PLC控制器電性連接，所述PLC控制器控制高度調(diào)節(jié)模塊進(jìn)行高度的調(diào)節(jié)。本實(shí)用新型突出效果為：可以自動(dòng)化調(diào)節(jié)MO源瓶在水浴槽中的位置，同時(shí)，當(dāng)MO源瓶中MO源剩余量達(dá)到預(yù)警值時(shí)，將啟動(dòng)報(bào)警裝置，提醒工藝人員及時(shí)更換，保證生產(chǎn)順利進(jìn)行。
【IPC分類】C23C16-52, C23C16-455
【公開(kāi)號(hào)】CN204281856
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201420715723
【發(fā)明人】宋景鋒, 傅華, 南琦, 王輝, 王懷兵
【申請(qǐng)人】蘇州新納晶光電有限公司
【公開(kāi)日】2015年4月22日
【申請(qǐng)日】2014年11月26日