噴灑頭裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明是有關(guān)于一種噴灑設(shè)備，且特別是有關(guān)于一種噴灑頭裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著鍍膜制作工藝的發(fā)展，如何將氣體均勻地噴灑到鍍膜腔室中為一項重要的技術(shù)。對此，氣體分布模塊(gas distribut1n module),特別是氣體噴灑頭(gasshowerhead)扮演了重要的角色。不過，鍍膜腔室的高溫可能導致氣體噴灑頭的變形。舉例而言，在進行化學氣象沉積的鍍膜制作工藝時，鍍膜腔室的溫度可能高達1050°C，這樣的溫度很容易讓金屬或是合金材質(zhì)的氣體噴灑頭發(fā)生變形。在長時間使用過后，氣體噴灑頭可能發(fā)生氣孔漏水或是氣體噴灑不均勻的情形。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的在于提供一種噴灑頭裝置，其具有良好的散熱性質(zhì)而有助于提升使用壽命。
[0004]為達上述目的，本發(fā)明的噴灑頭裝置包括一多孔板體，其具有一第一流道以及多個第二流道。第一流道沿著多孔板體蜿蜒分布以供一第一流體流通。第二流道分別貫穿多孔板體并且交錯于第一流道中以供一第二流體流通，其中第一流道與第二流道互不連通，且第一流體接觸各第二流道的側(cè)壁。
[0005]基于上述，本發(fā)明實施例的噴灑頭裝置將第二流道交錯于第一流道使得第一流道中的第一流體接觸第二流道的側(cè)壁。同時，本發(fā)明實施例的噴灑頭裝置不使第一流體與第二流體彼此連通。如此一來，第一流體的流動可以有效冷卻第二流道的側(cè)壁以降低溫度對噴灑頭裝置的不良影響，例如熱變形。在部分實施例中，噴灑頭裝置中定義出第一流道與第二流道的多孔板體可以為一體成形的裝置，而有助于避免因為構(gòu)件連接處的連接不良導致第一流道與第二流道之間的連通。
[0006]為讓本發(fā)明的上述特征能更明顯易懂，下文特舉實施例，并配合所附圖式作詳細說明如下。
【附圖說明】
[0007]圖1為本發(fā)明一實施例的噴灑頭裝置的示意圖。
[0008]圖2A為圖1的噴灑頭裝置中多孔板體100的示意圖。
[0009]圖2B為圖2A的多孔板體經(jīng)橫剖后的一部份的示意圖。
[0010]圖3為圖2A與圖2B的多孔板體的第一種實施方式的剖面示意圖，其中圖3表示的剖面對應(yīng)圖2A的剖線A-A。
[0011]圖4為圖2A與圖2B的多孔板體的第二種實施方式的剖面示意圖，其中圖4表示的剖面對應(yīng)圖2A的剖線A-A。
[0012]圖5為圖2A與圖2B的多孔板體的第三種實施方式的示意圖，其中圖5表示出多孔板體的局部部分的拆解圖。
[0013]圖6為圖2A與圖2B的多孔板體的第四種實施方式的示意圖，其中圖6表示出多孔板體的拆解圖。
[0014]圖7A為本發(fā)明另一實施例的多孔板體的示意圖。
[0015]圖7B為圖7A的多孔板體的拆解圖。
[0016]圖8A為本發(fā)明又一實施例的多孔板體的示意圖。
[0017]圖8B為圖8A的多孔板體的拆解圖。
[0018]圖9為本發(fā)明一實施例的板體裝置中設(shè)置有內(nèi)管件的示意圖。
[0019]符號說明
[0020]10:噴灑頭裝置
[0021]12:上蓋
[0022]12A:流體源連接件
[0023]14:固定框
[0024]16:內(nèi)管件
[0025]100,200,300:多孔板體
[0026]102:第一流道
[0027]104:第二流道
[0028]104A:入口端
[0029]104B:出口端
[0030]106、206、306:開口
[0031]108:第三流道
[0032]110、410:第一板面部
[0033]112:貫孔
[0034]120:環(huán)形壁
[0035]130、530、630:隔片結(jié)構(gòu)
[0036]140:管狀凸起
[0037]150,350:第二面板部
[0038]152:貫孔
[0039]202A、202B、302A ?302D:分段
[0040]240:管件
[0041]420:柵狀結(jié)構(gòu)
[0042]532:第一隔片結(jié)構(gòu)
[0043]534:第二隔片結(jié)構(gòu)
[0044]A-A:剖線
[0045]A1、A2:封閉區(qū)域
[0046]D1、D2:距離
[0047]L:排列方向
[0048]Pl ?P7:流路
[0049]S1:第一側(cè)
[0050]S2:第二側(cè)
[0051]W:寬度
[0052]X、Y:節(jié)距
[0053]O:角度
【具體實施方式】
[0054]圖1為本發(fā)明一實施例的噴灑頭裝置的示意圖。請參照圖1，噴灑頭裝置10包括一上蓋12、一固定框14以及一多孔板體100，其中多孔板體100夾于上蓋12以及固定框14之間。上蓋12設(shè)置有多個流體源連接件12A，其中流體源連接件12A用來與流體源連接以讓流體通過多孔板體100而灑布出去。固定框14為一環(huán)型結(jié)構(gòu)物，其暴露出多孔板體100以讓流體通過多孔板體100灑布出去。噴灑頭裝置10可以應(yīng)用于鍍膜設(shè)備中以將流體均勻地提供給鍍膜腔室。由于鍍膜腔室可能需要被加熱至很高的制作工藝溫度，噴灑頭裝置10整體需要以耐溫材料制作。例如噴灑頭裝置10中各構(gòu)件的材質(zhì)可以為金屬、金屬合金或是陶瓷等耐溫材料。
[0055]圖2A為圖1的噴灑頭裝置中多孔板體100的示意圖，而圖2B為圖2A的多孔板體經(jīng)橫剖后的一部份的示意圖。請先參照圖2A與圖2B，多孔板體100具有一第一流道102以及多個第二流道104。第一流道102設(shè)置于多孔板體100的內(nèi)部而無法由外觀上直接看到第一流道102的實際輪廓，因此圖2A以虛線表示出第一流道102的輪廓，而圖2B可以看到第一流道102的部分輪廓。具體而言，第一流道102在多孔板體100內(nèi)部沿著多孔板體100的板平面蜿蜒分布以供第一流體流通，其中第一流道102可以定義出單一流路P1。第二流道104則分別貫穿多孔板體100并且交錯于第一流道102以供一第二流體流通。為了讓第一流體在第一流道102中流入與流出，多孔板體100還具有多個開口 106，并且這些開口 106位于多孔板體100的側(cè)面并且設(shè)置于第一流道102的入口端與出口端。
[0056]在本實施例中，第一流道102中流動的第一流體可以直接接觸各第二流道104的側(cè)壁以進行熱交換。特別是，當?shù)谝涣黧w為散熱流體時，多孔板體100可以具有理想的散熱效果。因此，多孔板體100可以應(yīng)用于溫度較高的環(huán)境中，而不容易因為高環(huán)境溫度導致變形。舉例來說，具有多孔板體100的噴灑頭裝置10應(yīng)用于鍍膜設(shè)備時，可以將所需的制作工藝流體作為第二流體而由第二流道10提供給鍍膜腔室，并且將熱交換流體作為第一流體而注入于第一流道102中以達到散熱效果。在此，第一流體與第二流體分別可以為氣態(tài)、液態(tài)或是氣液混合態(tài)。另外，制作工藝流體可以包括一反應(yīng)流體、一載體流體或其組合，而熱交換流體則例如為水、冷媒或是其他可以進行熱交換的流體。當鍍膜腔室的溫度過高而可能導致多孔板體100變形時，第一流道102中的熱交換流體可以將多孔板體100的熱量帶走而避免多孔板體100受高溫而損壞。在此，第一流道102中的熱交換流體直接接觸第二流道104的側(cè)壁，所以熱交換流體可以有效降低第二流道104或多孔板體100變形的機率。由此，多孔板體100中第二流道104的分布密度以及流道寬度可以不需受到限制。舉例來說，第二流道104的分布密度例如可以為:在寬度W為6.8mm的第一流道102中可以設(shè)置有兩列第二流道104。同時，沿著排列方向L量測第二流道104的節(jié)距X時，節(jié)距X為5mm?6mm，其中排列方向L與第一流道102的主要延伸方向相交一角度Θ，且角度Θ為45度。另外，相鄰兩列第二流道104可以各