專利名稱:一種氣相沉淀設(shè)備用噴淋頭清潔裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種氣相沉淀設(shè)備用噴淋頭清潔裝置，包括可拆卸地設(shè)置于旋轉(zhuǎn)托盤上的清潔部件，且清潔部件的旋轉(zhuǎn)半徑大于或等于噴淋頭半徑；通過(guò)將清潔部件固定于設(shè)備的旋轉(zhuǎn)托盤上，在每生長(zhǎng)一爐后通過(guò)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)托盤上移并轉(zhuǎn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)對(duì)噴淋頭的自動(dòng)清潔，節(jié)省人力，刷洗均勻。所以旋轉(zhuǎn)托盤的動(dòng)力源自設(shè)備的本身，有很好的適應(yīng)性與重現(xiàn)性。在設(shè)定好清潔部件相對(duì)噴淋頭的固定的距離，固定的轉(zhuǎn)速后，每次清潔力度、轉(zhuǎn)速相同，確保每次清潔程度一致，從而保證工藝的穩(wěn)定性。此外，刷毛采用高低間隔排列，而且通過(guò)調(diào)整清潔部件高度，使得刷毛可穿入噴淋頭小孔內(nèi)清潔，可以有效實(shí)現(xiàn)對(duì)噴淋頭表面及孔隙的清潔。
【專利說(shuō)明】一種氣相沉淀設(shè)備用噴淋頭清潔裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于氣相沉淀設(shè)備【技術(shù)領(lǐng)域】，具體涉及一種氣相沉淀設(shè)備用噴淋頭清潔裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]MOCVD (Metal-Organic Chemical Vapor Deposit1n 金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉淀)是在氣相外延生長(zhǎng)的基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的一種新型氣相外延生長(zhǎng)技術(shù)。
[0003]MOCVD是一個(gè)將特定的原材料通過(guò)一系列嚴(yán)格控制，傳輸?shù)郊訜嵘L(zhǎng)區(qū)，在此生長(zhǎng)區(qū)，原材料熱分解后的元素化合形成具有一定光、電性能的晶體材料。一般MOCVD設(shè)備包括加熱系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、氣體運(yùn)輸系統(tǒng)、尾氣處理系統(tǒng)以及控制系統(tǒng)。采用耦合噴淋頭(ClosedCoupled Showerhead,CCS)的CVD系統(tǒng)的上蓋采用小孔輸運(yùn)氣態(tài)原材料到反應(yīng)室中進(jìn)行反應(yīng)，由于ShowerheacK噴淋頭)的孔徑非常小，且距離反應(yīng)室內(nèi)反應(yīng)平臺(tái)的距離非常近，氣態(tài)原材料物質(zhì)難免會(huì)發(fā)生大量預(yù)反應(yīng)，這個(gè)反應(yīng)物會(huì)迅速覆蓋在showerhead的小孔表面，每生長(zhǎng)一爐，都需要有人工刷洗清潔showerhead表面，該操作不僅浪費(fèi)人力，還會(huì)因不同員工、不同時(shí)間用力不同，或者刷的均勻性不夠好，嚴(yán)重影響到下一爐的生產(chǎn)，是導(dǎo)致機(jī)臺(tái)不穩(wěn)定的一個(gè)重要因素。
[0004]Showerhead刷的干凈程度，直接影響到外延工藝的磊晶狀況和溫控系統(tǒng)，若工藝窗口堵塞后較小，則很難生長(zhǎng)出穩(wěn)定的工藝產(chǎn)品。通過(guò)工藝參數(shù)的調(diào)整也很難匹配不同干凈程度的showerhead狀況。
[0005]此外，人工清潔一般僅刷洗噴淋頭的表面，噴淋頭的孔隙內(nèi)仍會(huì)殘留部分物質(zhì)，使用時(shí)間一長(zhǎng)，小孔孔徑還是會(huì)越來(lái)越小，這就會(huì)導(dǎo)致工藝參數(shù)漂移很多，無(wú)法穩(wěn)定MOCVD的工業(yè)生產(chǎn)。
[0006]因此，鑒于以上問(wèn)題，有必要提出一種噴淋頭的清潔裝置，在每生長(zhǎng)一爐后對(duì)噴淋頭實(shí)現(xiàn)自動(dòng)清潔，節(jié)省人力，刷洗均勻，清潔徹底，且確保每次清潔程度一致，從而保證工藝的穩(wěn)定性。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0007]有鑒于此，本實(shí)用新型提供了一種氣相沉淀設(shè)備用噴淋頭清潔裝置，通過(guò)將清潔部件固定于設(shè)備的旋轉(zhuǎn)托盤上，在每生長(zhǎng)一爐后通過(guò)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)托盤上移并轉(zhuǎn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)對(duì)噴淋頭的自動(dòng)清潔，節(jié)省人力，刷洗均勻，清潔徹底，且每次清潔力度、轉(zhuǎn)速相同，確保每次清潔程度一致，從而保證工藝的穩(wěn)定性。
[0008]根據(jù)本實(shí)用新型的目的提出的一種氣相沉淀設(shè)備用噴淋頭清潔裝置，用于清洗噴淋頭表面的覆蓋層，所述氣相沉淀設(shè)備包括加熱系統(tǒng)、反應(yīng)室，設(shè)置于所述反應(yīng)室內(nèi)的旋轉(zhuǎn)托盤，向所述反應(yīng)室內(nèi)輸送氣態(tài)原材料的噴淋頭，所述清潔裝置包括可拆卸地設(shè)置于所述旋轉(zhuǎn)托盤上的清潔部件，所述清潔部件隨旋轉(zhuǎn)托盤同步轉(zhuǎn)動(dòng)，且清潔部件的旋轉(zhuǎn)半徑大于或等于所述噴淋頭的半徑；
[0009]所述清潔裝置還包括驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)托盤運(yùn)轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，以及驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)托盤上下移動(dòng)使得清潔部件與噴淋頭表面接觸的升降機(jī)構(gòu)。
[0010]優(yōu)選的，所述清潔部件包括連接支架、固定設(shè)置于所述連接支架上的刷頭、以及位于所述刷頭上的刷毛。
[0011]優(yōu)選的，所述刷毛采用高低刷毛間隔排列方式設(shè)置。
[0012]優(yōu)選的，所述連接支架與刷頭一體加工成型。
[0013]優(yōu)選的，所述連接支架為環(huán)形結(jié)構(gòu)，所述連接支架與所述旋轉(zhuǎn)托盤卡接固定，所述連接支架與所述旋轉(zhuǎn)托盤上分別設(shè)置有相互匹配的卡口與卡扣。
[0014]優(yōu)選的，所述刷頭為以所述連接支架中心為起點(diǎn)呈輻向分布的多個(gè)輻條。
[0015]優(yōu)選的，所述輻條為直線型結(jié)構(gòu)或曲線型結(jié)構(gòu)或折線型結(jié)構(gòu)。
[0016]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型公開(kāi)的氣相沉淀設(shè)備用噴淋頭清潔裝置的優(yōu)點(diǎn)是:通過(guò)將清潔部件固定于設(shè)備的旋轉(zhuǎn)托盤上，在每生長(zhǎng)一爐后通過(guò)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)托盤上移并轉(zhuǎn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)對(duì)噴淋頭的自動(dòng)清潔，節(jié)省人力，刷洗均勻，清潔徹底。
[0017]旋轉(zhuǎn)托盤為氣相沉淀設(shè)備的組成部分，所以旋轉(zhuǎn)托盤的動(dòng)力源自設(shè)備的本身，有很好的適應(yīng)性與重現(xiàn)性。
[0018]在設(shè)定好清潔部件相對(duì)噴淋頭固定的距離，固定的轉(zhuǎn)速后，每次的清潔力度、轉(zhuǎn)速均相同，確保每次清潔程度一致，從而保證工藝的穩(wěn)定性。
[0019]此外，刷毛采用高低間隔排列，而且通過(guò)調(diào)整清潔部件的高度，使得刷毛可穿入噴淋頭小孔內(nèi)清潔，可以有效實(shí)現(xiàn)對(duì)噴淋頭表面及孔隙的清潔，清潔更徹底。

【附圖說(shuō)明】

[0020]為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0021]圖1為氣相沉淀設(shè)備的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)圖。
[0022]圖2至圖5為清潔部件的4種結(jié)構(gòu)的示意圖。
[0023]圖中的數(shù)字或字母所代表的相應(yīng)部件的名稱:
[0024]1、加熱系統(tǒng)2、反應(yīng)室3、旋轉(zhuǎn)托盤4、噴淋頭5、清潔部件6、轉(zhuǎn)軸51、連接支架52、刷頭

【具體實(shí)施方式】
[0025]采用耦合噴淋頭輸運(yùn)氣態(tài)原材料到反應(yīng)室中進(jìn)行反應(yīng)時(shí)，由于噴淋頭的孔徑非常小，且距離反應(yīng)室內(nèi)反應(yīng)平臺(tái)的距離非常近，氣態(tài)原材料物質(zhì)難免會(huì)發(fā)生大量預(yù)反應(yīng)，這個(gè)反應(yīng)物會(huì)迅速覆蓋在噴淋頭的小孔表面，每生長(zhǎng)一爐，都需要有人工刷洗清潔噴淋頭表面，該操作不僅浪費(fèi)人力，還會(huì)因不同員工、不同時(shí)間用力不同，或者刷的均勻性不夠好，嚴(yán)重影響到下一爐的生產(chǎn)，是增加機(jī)臺(tái)不穩(wěn)定的一個(gè)重要因素。噴淋頭清潔的干凈程度，直接影響到外延工藝的磊晶狀況和溫控系統(tǒng)，若工藝窗口較小，很難生長(zhǎng)出穩(wěn)定的工藝產(chǎn)品。通過(guò)工藝參數(shù)的調(diào)整也很難匹配不同干凈程度的噴淋頭狀況。
[0026]本實(shí)用新型針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供了一種氣相沉淀設(shè)備用噴淋頭清潔裝置，通過(guò)將清潔部件固定于設(shè)備的旋轉(zhuǎn)托盤上，在每生長(zhǎng)一爐后通過(guò)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)托盤上移并轉(zhuǎn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)對(duì)噴淋頭的自動(dòng)清潔，節(jié)省人力，刷洗均勻，清潔徹底，且每次清潔力度、轉(zhuǎn)速相同，確保每次清潔程度一致，從而保證工藝的穩(wěn)定性。
[0027]根據(jù)本實(shí)用新型的目的提出的一種氣相沉淀設(shè)備用噴淋頭清潔裝置，用于清洗噴淋頭表面的覆蓋層，所述氣相沉淀設(shè)備包括加熱系統(tǒng)、反應(yīng)室，設(shè)置于所述反應(yīng)室內(nèi)的旋轉(zhuǎn)托盤，向所述反應(yīng)室內(nèi)輸送氣態(tài)原材料的噴淋頭，所述清潔裝置包括可拆卸地設(shè)置于所述旋轉(zhuǎn)托盤上的清潔部件，所述清潔部件隨旋轉(zhuǎn)托盤同步轉(zhuǎn)動(dòng)，且清潔部件的旋轉(zhuǎn)半徑大于或等于所述噴淋頭的半徑；
[0028]所述清潔裝置還包括驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)托盤運(yùn)轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，以及驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)托盤上下移動(dòng)使得清潔部件與噴淋頭表面接觸的升降機(jī)構(gòu)，清潔時(shí)，升降機(jī)構(gòu)帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)托盤上移與噴淋頭接觸，后驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)托盤帶動(dòng)清潔部件清潔噴淋頭。
[0029]優(yōu)選的，所述清潔部件包括連接支架、固定設(shè)置于所述連接支架上的刷頭、以及位于所述刷頭上的刷毛。
[0030]優(yōu)選的，所述刷毛采用高低刷毛間隔排列方式設(shè)置。
[0031]優(yōu)選的，所述連接支架與刷頭均采用耐高溫的聚四氟乙烯材質(zhì)。
[0032]優(yōu)選的，所述連接支架與刷頭一體加工成型。
[0033]優(yōu)選的，所述連接支架為環(huán)形結(jié)構(gòu)，所述連接支架與所述旋轉(zhuǎn)托盤卡接固定，所述連接支架與所述旋轉(zhuǎn)托盤上分別設(shè)置有相互匹配的卡口與卡扣。
[0034]優(yōu)選的，所述刷頭為以所述連接支架中心為起點(diǎn)呈輻向分布的多個(gè)輻條。
[0035]優(yōu)選的，所述輻條為直線型結(jié)構(gòu)或曲線型結(jié)構(gòu)或折線型結(jié)構(gòu)。
[0036]下面將通過(guò)【具體實(shí)施方式】對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述。顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0037]請(qǐng)參見(jiàn)圖1，一種氣相沉淀設(shè)備用噴淋頭清潔裝置，用于清洗噴淋頭表面的覆蓋層，氣相沉淀設(shè)備包括加熱系統(tǒng)1、反應(yīng)室2，設(shè)置于反應(yīng)室2內(nèi)的旋轉(zhuǎn)托盤3，向反應(yīng)室2內(nèi)輸送氣態(tài)原材料的噴淋頭4，清潔裝置包括可拆卸地設(shè)置于旋轉(zhuǎn)托盤3上的清潔部件5，清潔部件5隨旋轉(zhuǎn)托盤3同步轉(zhuǎn)動(dòng)，且清潔部件5的旋轉(zhuǎn)半徑大于或等于噴淋頭4的半徑。在每一爐生長(zhǎng)完成后，可采用機(jī)械手或輸送機(jī)構(gòu)將清潔部件傳輸?shù)叫D(zhuǎn)托盤上，之后將清潔部件可拆卸地固定在旋轉(zhuǎn)托盤上。其中，清潔部件可與旋轉(zhuǎn)托盤卡接固定。通過(guò)保證清潔部件的旋轉(zhuǎn)半徑確保噴淋頭整個(gè)平面均被清潔徹底。
[0038]清潔裝置還包括驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)托盤3運(yùn)轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，以及驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)托盤3上下移動(dòng)使得清潔部件與噴淋頭表面接觸的升降機(jī)構(gòu)。轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)與升降機(jī)構(gòu)均為氣相沉淀設(shè)備的固有機(jī)構(gòu)，轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的運(yùn)轉(zhuǎn)動(dòng)力來(lái)源于設(shè)備本身，具有良好的適應(yīng)性與重現(xiàn)性。通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)托盤的運(yùn)轉(zhuǎn)實(shí)現(xiàn)噴淋頭清潔的自動(dòng)化，節(jié)省人力成本，提高工作效率。
[0039]且轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)托盤運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，其轉(zhuǎn)速以及清潔部件相對(duì)噴淋頭的位置均可統(tǒng)一固定，保證噴淋頭每次清潔力度、轉(zhuǎn)速一致，從而確保每次清潔的干凈程度基本一致，確保工藝的穩(wěn)定性。
[0040]請(qǐng)參見(jiàn)圖2至圖5，其中，清潔部件包括連接支架51、固定設(shè)置于連接支架51上的刷頭52、以及位于刷頭上的刷毛(未示出)。連接支架用于將刷頭與旋轉(zhuǎn)托盤連接固定。連接支架可為環(huán)形結(jié)構(gòu)或多段弧形結(jié)構(gòu)等，具體形狀不做限制。
[0041]本實(shí)施例中連接支架采用環(huán)形結(jié)構(gòu)，一方面可實(shí)現(xiàn)與旋轉(zhuǎn)托盤的穩(wěn)定連接，另一方面實(shí)現(xiàn)對(duì)刷頭的固定，提高刷頭的整體結(jié)構(gòu)強(qiáng)度。
[0042]連接支架51與旋轉(zhuǎn)托盤3卡接固定，連接支架51與旋轉(zhuǎn)托盤3上分別設(shè)置有相互匹配的卡口(未示出)與卡扣(未示出)。除采用卡接方式固定外，還可采用螺紋連接等，具體連接方式不做限制。
[0043]刷頭為以連接支架51中心為起點(diǎn)呈輻向分布的多個(gè)輻條。其中輻條可為直線型結(jié)構(gòu)或曲線型結(jié)構(gòu)或折線型結(jié)構(gòu)等，可有效保證刷頭的清潔半徑即可，具體結(jié)構(gòu)形狀不做限制。
[0044]其中，刷頭與連接支架均可采用耐高溫的聚四氟乙烯材料制成，保證在清潔噴淋頭時(shí)不會(huì)產(chǎn)生高溫變形損壞等問(wèn)題。
[0045]刷毛采用高低刷毛間隔排列方式設(shè)置，可以有效清潔噴淋頭表面的覆蓋層物質(zhì)。此外，處于較高位置的刷毛在與噴淋頭接觸時(shí)，刷毛部分可伸入噴淋頭的小孔內(nèi)，實(shí)現(xiàn)對(duì)噴淋頭孔隙的清潔，清潔效率較高且徹底。
[0046]本實(shí)用新型公開(kāi)了一種氣相沉淀設(shè)備用噴淋頭清潔裝置，包括可拆卸地設(shè)置于旋轉(zhuǎn)托盤上的清潔部件，清潔部件隨旋轉(zhuǎn)托盤同步轉(zhuǎn)動(dòng)，且清潔部件的旋轉(zhuǎn)半徑大于或等于噴淋頭半徑；通過(guò)將清潔部件固定于設(shè)備的旋轉(zhuǎn)托盤上，在每生長(zhǎng)一爐后通過(guò)驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)托盤上移并轉(zhuǎn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)對(duì)噴淋頭的自動(dòng)清潔，節(jié)省人力，刷洗均勻，清潔徹底。
[0047]旋轉(zhuǎn)托盤為氣相沉淀設(shè)備的組成部分，所以旋轉(zhuǎn)托盤的動(dòng)力源自設(shè)備的本身，有很好的適應(yīng)性與重現(xiàn)性。
[0048]在設(shè)定好清潔部件相對(duì)噴淋頭的固定的距離，固定的轉(zhuǎn)速后，每次清潔力度、轉(zhuǎn)速相同，確保每次清潔程度一致，從而保證工藝的穩(wěn)定性。
[0049]此外，刷毛采用高低間隔排列，而且通過(guò)調(diào)整清潔部件高度，使得刷毛可穿入噴淋頭小孔內(nèi)清潔，可以有效實(shí)現(xiàn)對(duì)噴淋頭表面及孔隙的清潔。
[0050]對(duì)所公開(kāi)的實(shí)施例的上述說(shuō)明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本實(shí)用新型。對(duì)這些實(shí)施例的多種修改對(duì)本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來(lái)說(shuō)將是顯而易見(jiàn)的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實(shí)用新型的精神或范圍的情況下，在其它實(shí)施例中實(shí)現(xiàn)。因此，本實(shí)用新型將不會(huì)被限制于本文所示的這些實(shí)施例，而是要符合與本文所公開(kāi)的原理和新穎特點(diǎn)相一致的最寬的范圍。
【權(quán)利要求】
1.一種氣相沉淀設(shè)備用噴淋頭清潔裝置，用于清洗噴淋頭表面的覆蓋層，所述氣相沉淀設(shè)備包括加熱系統(tǒng)、反應(yīng)室，設(shè)置于所述反應(yīng)室內(nèi)的旋轉(zhuǎn)托盤，向所述反應(yīng)室內(nèi)輸送氣態(tài)原材料的噴淋頭，其特征在于，所述清潔裝置包括可拆卸地設(shè)置于所述旋轉(zhuǎn)托盤上的清潔部件，所述清潔部件隨旋轉(zhuǎn)托盤同步轉(zhuǎn)動(dòng)，且清潔部件的旋轉(zhuǎn)半徑大于或等于所述噴淋頭的半徑； 所述清潔裝置還包括驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)托盤運(yùn)轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，以及驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)托盤上下移動(dòng)使得清潔部件與噴淋頭表面接觸的升降機(jī)構(gòu)。2.如權(quán)利要求1所述的氣相沉淀設(shè)備用噴淋頭清潔裝置，其特征在于，所述清潔部件包括連接支架、固定設(shè)置于所述連接支架上的刷頭、以及位于所述刷頭上的刷毛。3.如權(quán)利要求2所述的氣相沉淀設(shè)備用噴淋頭清潔裝置，其特征在于，所述刷毛采用高低刷毛間隔排列方式設(shè)置。4.如權(quán)利要求2所述的氣相沉淀設(shè)備用噴淋頭清潔裝置，其特征在于，所述連接支架與刷頭一體加工成型。5.如權(quán)利要求2所述的氣相沉淀設(shè)備用噴淋頭清潔裝置，其特征在于，所述連接支架為環(huán)形結(jié)構(gòu)，所述連接支架與所述旋轉(zhuǎn)托盤卡接固定，所述連接支架與所述旋轉(zhuǎn)托盤上分別設(shè)置有相互匹配的卡口與卡扣。6.如權(quán)利要求2所述的氣相沉淀設(shè)備用噴淋頭清潔裝置，其特征在于，所述刷頭為以所述連接支架中心為起點(diǎn)呈輻向分布的多個(gè)輻條。7.如權(quán)利要求6所述的氣相沉淀設(shè)備用噴淋頭清潔裝置，其特征在于，所述輻條為直線型結(jié)構(gòu)或曲線型結(jié)構(gòu)或折線型結(jié)構(gòu)。
【文檔編號(hào)】B08B1-04GK204298457SQ201420720023
【發(fā)明者】陳偉, 陳立人 [申請(qǐng)人]聚燦光電科技股份有限公司