一種用于石墨烯生長的工藝腔的制作方法
【專利說明】一種用于石墨烯生長的工藝腔
[0001]
技術(shù)領(lǐng)域
[0002]本發(fā)明涉及石墨烯薄膜生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種用于石墨烯生長的工藝腔。
[0003]
【背景技術(shù)】
[0004]石墨烯薄膜產(chǎn)業(yè)化中，用于石墨烯生長的工藝腔使用一定時間后，催化金屬或者碳源的氣體容易在工藝腔腔體內(nèi)凝集形成殘留物，殘留物易形成顆粒并脫落，污染工藝腔并進(jìn)一步影響石墨烯薄膜生長質(zhì)量，所以需要清洗工藝腔的腔體，目前都是采用化學(xué)液清洗腔體，清洗間隔周期在15天左右，清洗過程需要耗費(fèi)2天時間，這種方式嚴(yán)重影響工藝腔產(chǎn)出，如何延長用于石墨烯生長的工藝腔內(nèi)腔體的清洗間隔周期，對降低生產(chǎn)成本和提升產(chǎn)出，至關(guān)重要。
[0005]

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明主要是解決現(xiàn)有技術(shù)中所存在的工藝腔清洗間隔周期短、清洗過程耗時長等技術(shù)問題，從而提供一種能夠有效延長工藝腔腔體清洗間隔周期并易于清洗的用于石墨烯生長的工藝腔，可有效提高生產(chǎn)效率。
[0007]本發(fā)明的上述技術(shù)問題主要是通過下述技術(shù)方案得以解決的:
本發(fā)明的一種用于石墨烯生長的工藝腔，用于生產(chǎn)石墨烯薄膜，包括腔體，所述腔體的上端和下端的內(nèi)壁上均設(shè)有一環(huán)形安裝槽，每個所述環(huán)形安裝槽中均設(shè)有耐高溫碳碳材料圓筒。
[0008]進(jìn)一步地，所述腔體為石英管。
[0009]進(jìn)一步地，所述耐高溫碳碳材料圓筒內(nèi)壁上設(shè)置有條紋。
[0010]進(jìn)一步地，所述條紋為豎直條紋或者螺旋條紋。
[0011]進(jìn)一步地，所述耐高溫碳碳材料圓筒的外徑略小于腔體內(nèi)徑6_?8_。
[0012]進(jìn)一步地，所述耐高溫碳碳材料圓筒的長度為腔體的10%?20%。
[0013]進(jìn)一步地,所述耐高溫碳碳材料圓筒的厚度為2mm?3mm。
[0014]進(jìn)一步地，腔體上端的碳碳材料圓筒的上端離腔體上端的距離為1mm?20mm，腔體下端的碳碳材料圓筒的下端離腔體下端的距離為1mm?20mm。
[0015]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)在于:由于工藝腔腔體的上端和下端管壁安裝了耐高溫碳碳材料圓筒，碳碳材料容易吸附催化金屬或者碳源的氣體在工藝腔腔體內(nèi)凝集形成的殘留物，腔體長時間使用后殘留物聚集在耐高溫碳碳材料圓筒上，有效避免高溫下殘留物附著到腔體壁上，避免了其對腔體的污染，當(dāng)工藝腔使用40天至50天后，拆掉耐高溫碳碳材料圓筒，安裝新的耐高溫碳碳復(fù)合材料圓筒，工藝腔便可恢復(fù)生產(chǎn)，因此本方面提供的工藝腔具有清洗間隔周期長，清洗過程時間短等優(yōu)點(diǎn)，同時耐高溫碳碳材料圓筒放置于稀酸中浸泡兩天，經(jīng)過清水沖洗后烘干，存放于備用庫房，用于下次替換使用，可有效節(jié)約成本。
[0016]
【附圖說明】
[0017]為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0018]圖1是本發(fā)明的用于石墨烯生長的工藝腔的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0019]附圖標(biāo)記說明:腔體1、耐高溫碳碳材料圓筒2、環(huán)形安裝槽3。
[0020]
【具體實(shí)施方式】
[0021]下面結(jié)合附圖對本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)闡述，以使本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和特征能更易于被本領(lǐng)域技術(shù)人員理解，從而對本發(fā)明的保護(hù)范圍做出更為清楚明確的界定。
[0022]參閱圖1所示，本發(fā)明提供的一種用于石墨烯生長的工藝腔，用于生產(chǎn)石墨烯薄膜，包括腔體1，腔體I的上端和下端的內(nèi)壁上均設(shè)有一環(huán)形安裝槽3，每個環(huán)形安裝槽3中均設(shè)有耐高溫碳碳材料圓筒2。
[0023]本發(fā)明的原理為:石墨烯生長過程中，用于石墨烯生長的工藝腔的中間部位溫度高達(dá)1000°c，兩端的溫度則比管中間溫度略低，此時，催化金屬或者碳源的氣體容易在工藝腔腔體的前端和后端管壁上的凝集，形成殘留物，累計一定時間(大概15天左右)后，殘留物會形成顆粒，并脫落，污染工藝腔并進(jìn)一步影響石墨烯薄膜生長質(zhì)量。本發(fā)明提供的用于石墨烯生長的工藝腔，由于腔體I的上端和下端管壁安裝了耐高溫碳碳材料圓筒2，碳碳材料容易吸附殘留物，腔體I長時間使用后殘留物聚集在耐高溫碳碳材料圓筒2上，有效避免高溫下殘留物附著到腔體I壁上，避免了其對腔體的污染，從而可以延長工藝腔的清洗間隔周期，當(dāng)工藝腔使用40天至50天后，拆掉耐高溫碳碳材料圓筒2，腔體升溫至800度，通氧氣I L/min，持續(xù)I小時清理工藝腔，安裝新的耐高溫碳碳材料圓筒2，工藝腔便可以恢復(fù)生產(chǎn)，因此本發(fā)明提供的用于石墨烯生長的工藝腔具有清洗間隔周期長，清洗過程時間短等優(yōu)點(diǎn)。
[0024]在本實(shí)施例中，所述腔體I為石英管，制作方便。
[0025]在本實(shí)施例中，所述耐高溫碳碳材料圓筒2內(nèi)壁上設(shè)置有條紋，更加易于吸附殘留物。
[0026]在本實(shí)施例中，所述條紋為豎直條紋或者螺旋條紋，該種形狀的條紋不會影響石墨烯生長時氣流的流通，還能夠增加耐高溫碳碳材料圓筒2的吸附表面積，從而可以高效吸附殘留物。
[0027]在本實(shí)施例中,所述耐高溫碳碳材料圓筒2的外徑略小于腔體內(nèi)徑6mm?8mm,易于安裝。
[0028]在本實(shí)施例中，所述耐高溫碳碳材料圓筒2的長度為腔體I的10%?20%，此時耐高溫碳碳材料圓筒2可以充分地吸附殘留物，防止殘留物污染腔體I。
[0029]在本實(shí)施例中,所述耐高溫碳碳材料圓筒2的厚度為2mm?3mm,可以節(jié)省成本,又便于安裝。
[0030]在本實(shí)施例中，所述腔體I上端的碳碳材料圓筒2的上端離腔體上端的距離為1mm?20mm,腔體I下端的碳碳材料圓筒2的下端離腔體下端的距離為1mm?20mm。
[0031]最后說明的是，以上實(shí)施例僅用以說明本發(fā)明的技術(shù)方案而非限制，盡管通過參照本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例已經(jīng)對本發(fā)明進(jìn)行了描述，但本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，可以在形式上和細(xì)節(jié)上對其作出各種各樣的改變，而不偏離所附權(quán)利要求書所限定的本發(fā)明的精神和范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于石墨烯生長的工藝腔，用于生產(chǎn)石墨烯薄膜，其特征在于:包括腔體(1)，所述腔體(I)的上端和下端的內(nèi)壁上均設(shè)有一環(huán)形安裝槽(3 )，每個所述環(huán)形安裝槽(3 )中均設(shè)有耐高溫碳碳材料圓筒(2 )。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于石墨烯生長的工藝腔，其特征在于:所述腔體(I)為石英管。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于石墨烯生長的工藝腔，其特征在于:所述耐高溫碳碳材料圓筒(2)內(nèi)壁上設(shè)置有條紋。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的用于石墨烯生長的工藝腔，其特征在于:所述條紋為豎直條紋或者螺旋條紋。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于石墨烯生長的工藝腔，其特征在于:所述耐高溫碳碳材料圓筒(2)的外徑略小于腔體內(nèi)徑6mm?8mm。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于石墨烯生長的工藝腔，其特征在于:所述耐高溫碳碳材料圓筒(2)的長度為腔體(I)的10%?20%。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于石墨烯生長的工藝腔，其特征在于:所述耐高溫碳碳材料圓筒(2)的厚度為2mm?3mm。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于石墨烯生長的工藝腔，其特征在于:所述腔體(I)上端的碳碳材料圓筒(2)的上端離腔體上端的距離為1mm?20mm,腔體(I)下端的碳碳材料圓筒(2)的下端離腔體下端的距離為1mm?20mm。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種用于石墨烯生長的工藝腔，用于生產(chǎn)石墨烯薄膜，包括腔體，所述腔體的上端和下端的內(nèi)壁上均設(shè)有一環(huán)形安裝槽，每個所述環(huán)形安裝槽中均設(shè)有耐高溫碳碳材料圓筒。發(fā)明中，由于腔體的上端和下端管壁安裝了耐高溫碳碳材料圓筒，碳碳材料容易吸附銅及黑色炭殘留物，腔體長時間使用后銅及黑色炭殘留物聚集在耐高溫碳碳材料圓筒上，當(dāng)腔體使用40天至50天后，拆掉耐高溫碳碳材料圓筒，安裝新的耐高溫碳碳復(fù)合材料圓筒，工藝腔可以恢復(fù)生產(chǎn)，工藝腔的清洗間隔周期延長，清洗過程時間縮短。
【IPC分類】C23C16-44, C23C16-26
【公開號】CN104561933
【申請?zhí)枴緾N201510044373
【發(fā)明人】于本文, 史浩飛, 李占成, 鐘達(dá), 杜春雷
【申請人】重慶墨?？萍加邢薰? 中國科學(xué)院重慶綠色智能技術(shù)研究院
【公開日】2015年4月29日
【申請日】2015年1月29日