本技術涉及蒸鍍領域，特別涉及一種片狀精細金屬掩模版。

背景技術：

1、有機電致發(fā)光器件(oled)由于具有亮度高、色彩飽和、輕薄、可彎曲等優(yōu)點在顯示面板領域占比逐漸增大。

2、oled、?amoled等制程工藝中，蒸鍍?yōu)闆Q定oled或amoled性能關鍵的工藝之一，與蒸鍍系統(tǒng)配合的掩膜版（mask）是決定蒸鍍系統(tǒng)性能的關鍵，掩膜版（mask）的結(jié)構(gòu)如圖1，掩膜版（mask）包括frame（框架）1、fmask?sheet2和fmm?sheet3，其中，frame1為金屬框架，起結(jié)構(gòu)穩(wěn)定作用，fmm?sheet3起掩膜，形成小孔蒸鍍像素的作用，fmask?sheet2起間隔作用。fmask?sheet2包括howlling21和cover22,掩膜版（mask）組裝時，先將每根howlling21焊到frame1上，再將cover22焊到frame1上，最后將fmm?sheet3焊到frame1上，形成如圖1的結(jié)構(gòu)。fmm?sheet3的結(jié)構(gòu)如圖2，fmm?sheet3包括兩端頭31，兩端頭31之間設置有蒸鍍作業(yè)區(qū)32，該蒸鍍作業(yè)區(qū)32由若干網(wǎng)格形的蒸鍍單元321組成，相鄰兩個蒸鍍單元321之間設置有分隔區(qū)322。

3、早期的fmm?sheet3的蒸鍍單元321的尺寸大小與客戶要求的產(chǎn)品屏幕的尺寸大小相同，以手機屏幕來說，蒸鍍單元321的尺寸大小=手機屏幕的尺寸大小，但是在實際生產(chǎn)中，這樣大小的蒸鍍單元321用于蒸鍍中，蒸鍍工序后的基板最終形成的產(chǎn)品在屏幕發(fā)光時出現(xiàn)彩斑或者局部區(qū)域顏色異常的不良而不能成為良品從而無法使用。工程師們?yōu)榱私鉀Q該問題進行研究發(fā)現(xiàn)，產(chǎn)生該現(xiàn)象的原因在于掩膜版（mask）屬于金屬結(jié)構(gòu)件類別，在形成金屬結(jié)構(gòu)件應用蒸鍍過程之前，有加工工藝，形成應力分布。金屬結(jié)構(gòu)件的焊接應力根據(jù)其作用方向通常分為橫向應力，縱向應力以及結(jié)構(gòu)件厚度有關的焊接應力。如應力分布不均，金屬結(jié)構(gòu)件發(fā)生形變，加工過程中，應力變化類型和過程如下：其中橫向應力是與焊縫軸呈垂直關系的一種應力，而縱向應力則是與焊縫軸呈平行關系，之所以產(chǎn)生不同方向的焊接應力，主要是因為焊接過程產(chǎn)生的局部高溫導致金屬原料受熱不均。且在不同的溫度下，靠近焊點處的金屬原料主要受熱應力的影響，而距離焊點較遠的金屬原料則主要受壓應力的影響。從而在加工完成后，呈碗裝四角凸起，中間下凹，使得在蒸鍍工序中，沉積到基板上的蒸鍍膜厚產(chǎn)生差異從而導致產(chǎn)品成為次品而無法使用。為了消除這些應力，工程師們一方面設計合理的裝配順序、焊接順序及焊接方向，具體為：a.收縮量較大的焊縫排在焊接的首位，保證其整體應力最??；b.焊接過程中應該對稱分布焊接，是焊縫間的應力相互作用抵消，從而表面金屬結(jié)構(gòu)件的變形；c.在退焊過程中采用分段退焊的方式，保證金屬結(jié)構(gòu)件的受熱均勻；d.選擇正確的焊接方向。另一方面補償變形，進行預變形，具體為改變蒸鍍單元321的尺寸，使蒸鍍單元321與cover22平行方向的尺寸<產(chǎn)品屏幕的的尺寸。

4、經(jīng)過上述預變形的fmm?sheet3用于蒸鍍中，蒸鍍工序后的基板最終形成的產(chǎn)品能夠成為良品供一般客戶使用，但是，這樣的fmm?sheet3用于蒸鍍工序后，沉積在基板上的蒸鍍膜的膜厚及大小也并不均勻，呈現(xiàn)圍繞fmmsheet3水平軸線方向（howlling21方向）為中心，在中心位置的蒸鍍膜的膜厚及大小與客戶要求的膜厚及大小基本相同，遠離中心位置的蒸鍍膜的膜厚較中心位置的膜厚要厚，膜大小卻較中心位置的要小，具體呈現(xiàn)離中心位置的越遠，膜厚度越厚，膜大小越小，無法滿足高端客戶的要求。

5、上述背景技術是為了便于理解本實用新型，并非是申請本實用新型之前已向普通公眾公開的公知技術。

技術實現(xiàn)思路

1、基于上述問題，本技術提供一種fmm?sheet，該fmm?sheet用于蒸鍍后，基板上形成厚度及大小均基本均勻的沉積蒸鍍膜，從而提高了產(chǎn)品的質(zhì)量性能，生產(chǎn)出的產(chǎn)品可供高端客戶使用。

2、一種fmm?sheet，包括兩端頭，兩端頭之間設置有蒸鍍作業(yè)區(qū)，該蒸鍍作業(yè)區(qū)由若干網(wǎng)格形的蒸鍍單元組成，相鄰兩個蒸鍍單元之間設置有分隔區(qū)，該分隔區(qū)的數(shù)目為單數(shù)，該分隔區(qū)包括中間分隔區(qū)和以該中間分隔區(qū)為對稱分布的上分隔區(qū)和下分隔區(qū)，兩端頭與蒸鍍單元臨近位置設置有雙面減薄區(qū)，雙面減薄區(qū)的厚度<上分隔區(qū)的厚度<中間分隔區(qū)厚度。

3、可選地，所述上分隔區(qū)中，遠離中間分隔區(qū)的厚度<臨近中間分隔區(qū)的厚度，逐漸變?。浑p面減薄區(qū)的厚度<下分隔區(qū)的厚度<中間分隔區(qū)厚度，下分隔區(qū)中，遠離中間分隔區(qū)的厚度<臨近中間分隔區(qū)的厚度，逐漸變薄。

4、可選地，所述分隔區(qū)的數(shù)目為3個，上分隔區(qū)的下表面、下分隔區(qū)的下表面、中間分隔區(qū)的下表面在同一平面，上分隔區(qū)的上表面與下分隔區(qū)的上表面在同一平面，上分隔區(qū)的上表面與下分隔區(qū)的上表面低于中間分隔區(qū)的上表面。

5、可選地，所述分隔區(qū)的數(shù)目為5個、7個或9個。

6、本實用新型還提供一種fmm?sheet。

7、一種fmm?sheet，包括兩端頭，兩端頭之間設置有蒸鍍作業(yè)區(qū)，該蒸鍍作業(yè)區(qū)由若干網(wǎng)格形的蒸鍍單元組成，相鄰兩個蒸鍍單元之間設置有分隔區(qū)，分隔區(qū)的數(shù)目為雙數(shù)，該分隔區(qū)包括對稱分布的上分隔區(qū)和下分隔區(qū)，兩端頭與蒸鍍單元臨近位置設置有雙面減薄區(qū)，雙面減薄區(qū)的厚度<上分隔區(qū)的厚度，雙面減薄區(qū)的厚度<下分隔區(qū)的厚度。

8、可選地，所述上分隔區(qū)中，遠離fmm?sheet3軸線的厚度<臨近fmm?sheet3軸線的的厚度，逐漸變薄，下分隔區(qū)中，遠離fmm?sheet3軸線的厚度<臨近fmm?sheet3軸線的厚度，逐漸變薄。

9、可選地，所述分隔區(qū)的數(shù)目為2個，上分隔區(qū)的下表面、下分隔區(qū)的下表面在同一平面，上分隔區(qū)的上表面與下分隔區(qū)的上表面在同一平面，雙面減薄區(qū)的下表面低于上分隔區(qū)的下表面，雙面減薄區(qū)的上表面與上分隔區(qū)的上表面齊平。

10、可選地，所述分隔區(qū)的數(shù)目為4個、6個或8個。

11、本實用新型還提供一種掩膜版。

12、一種掩膜版，該掩膜版包括frame、fmask?sheet和fmm?sheet，該fmmsheet包括兩端頭，兩端頭之間設置有蒸鍍作業(yè)區(qū)，該蒸鍍作業(yè)區(qū)由若干網(wǎng)格形的蒸鍍單元組成，相鄰兩個蒸鍍單元之間設置有分隔區(qū)，分隔區(qū)的數(shù)目為雙數(shù)，該分隔區(qū)包括對稱分布的上分隔區(qū)和下分隔區(qū)，所述兩端頭與蒸鍍單元臨近位置設置有雙面減薄區(qū)，雙面減薄區(qū)的厚度<上分隔區(qū)的厚度，雙面減薄區(qū)的厚度<下分隔區(qū)的厚度，上分隔區(qū)中，遠離fmm?sheet3軸線的厚度<臨近fmm?sheet3軸線的的厚度，逐漸變薄，下分隔區(qū)中，遠離fmm?sheet3軸線的厚度<臨近fmm?sheet3軸線的厚度，逐漸變薄。

13、可選地，所述分隔區(qū)的數(shù)目為2個，上分隔區(qū)的下表面、下分隔區(qū)的下表面在同一平面，上分隔區(qū)的上表面與下分隔區(qū)的上表面在同一平面，雙面減薄區(qū)的下表面低于上分隔區(qū)的下表面，雙面減薄區(qū)的上表面與上分隔區(qū)的上表面齊平。

14、實用新型原理及有益效果：

15、本技術實用新型人經(jīng)研究發(fā)現(xiàn)，造成離中心位置的越遠，膜厚度越厚，膜大小越小的原因如下：

16、基板在進行蒸鍍工序時，基板、掩膜版（mask）、熱源的位置如圖3，圖3中，基板4位于掩膜版5的上方，蒸發(fā)源6位于掩膜版5的下方，蒸鍍時，基板4、掩膜版5固定不動，蒸發(fā)源6在兩者下方從一端移動到另一端（移動方向與howlling21平行），有機材料（沉積物質(zhì)）從蒸發(fā)源6處蒸發(fā)向上沉積到基板4上，在基板4上形成蒸鍍膜。

17、因此，在蒸鍍沉積有機材料過程中，由于蒸發(fā)源6對掩膜版5反復不均勻地加熱和冷卻，加熱區(qū)域附近較大的溫度梯度（熱量呈輻射形式，中心位置溫度高，遠離中心位置溫度低）以及沉積層和掩膜版5之間的熱物性差異等因素。在有機材料加熱區(qū)的厚度方向和平面區(qū)域上產(chǎn)生很大的溫度梯度。因此在有機材料加熱導致的升溫期間，由于溫度分布的不均勻，加熱區(qū)域受熱膨脹，高溫區(qū)的fmm?sheet3的性能出現(xiàn)顯著變化，屈服極限降低，而加熱區(qū)域周圍fmm?sheet3的高屈服極限和彈性模量，限制了加熱區(qū)域材料的膨脹，一旦熱應力超過屈服應力，加熱區(qū)表面產(chǎn)生塑性壓應變，導致fmmsheet3表面出現(xiàn)材料的少量堆積。在冷卻過程中，溫度梯度迅速減小，隨著表面材料溫度降低，加熱區(qū)開始收縮，產(chǎn)生很大的拉應力，將使fmm?sheet3發(fā)生面向蒸發(fā)源6的彎曲變形。因此背景技術中“離中心位置的越遠，膜厚度越厚，膜大小越小從而使得在”是因為熱應力而導致膜厚及大小不均勻。

18、本技術通過對fmm?sheet3的各分隔區(qū)的厚度進行改變，消除了熱應力造成的影響，蒸鍍后，基板上形成厚度及大小均基本均勻的沉積蒸鍍膜，從而提高了產(chǎn)品的質(zhì)量性能，生產(chǎn)出的產(chǎn)品可供高端客戶使用。