本發(fā)明涉及細(xì)絲熱場爐領(lǐng)域，尤其涉及一種細(xì)絲熱場爐用電熱絲間距調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)：

1、pe工藝全稱pecvd，其目的是在硅片表面形成固態(tài)薄膜。其工藝原理是通過將產(chǎn)品置于低氣壓下輝光放電的陰極上，利用細(xì)絲熱場爐（pecvd反應(yīng)爐）內(nèi)部的加熱體來將產(chǎn)品升溫至預(yù)定溫度，然后通入適量反應(yīng)氣體，氣體經(jīng)過一些列化學(xué)變化和等離子反應(yīng)，在產(chǎn)品表面成型固態(tài)薄膜，而在高溫條件下，利用物質(zhì)從高濃度向低濃度運動的特性，將原子以一定可控性參入半導(dǎo)體中。產(chǎn)品到達(dá)預(yù)定溫度后類磷、硼等元素在產(chǎn)品表面進(jìn)行擴散處理，而現(xiàn)有的pe工藝多基于臥式熱場爐進(jìn)行操作，其中，在臥式熱場爐使用的過程中，會因為硅片在進(jìn)入爐中的時候，硅片會吸熱溫度使溫場浮動，以使得臥式熱場爐需要耗費一定的時間來將臥式熱場爐內(nèi)部的溫度重新恢復(fù)至原本的溫度，從而需要對電熱絲的分布間距進(jìn)行調(diào)節(jié)，以通過調(diào)節(jié)的電熱絲來使溫度可以在短時間內(nèi)通過密集的加熱絲進(jìn)行快速升溫，使?fàn)t內(nèi)溫場達(dá)到工藝需求，但現(xiàn)有電熱絲間距調(diào)節(jié)往往僅能在加熱之前進(jìn)行調(diào)節(jié)，往往需要提前計算對應(yīng)的溫度變化曲線才可實現(xiàn)對電熱絲間距的調(diào)節(jié)，同時在硅片進(jìn)入時開啟的爐腔溫度也會受到影響，進(jìn)而導(dǎo)致整個熱場爐的工作效率受到影響。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、為了克服現(xiàn)有細(xì)絲熱場爐在使用的過程中，會因為伴隨硅片的進(jìn)入會影響到熱場爐內(nèi)部的溫度變化，而為了避免調(diào)節(jié)溫度所消耗的時間則需要布設(shè)間距不同的電熱絲結(jié)構(gòu)，但現(xiàn)有的電熱絲布設(shè)往往需要再停機狀態(tài)進(jìn)行，從而在一定程度上會影響到整個熱場爐工作效率的問題。

2、本發(fā)明的技術(shù)方案為：一種細(xì)絲熱場爐用電熱絲間距調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)，包括有縮放組件；所述縮放組件包括有第一嚙合轉(zhuǎn)輪；所述第一嚙合轉(zhuǎn)輪的下端設(shè)置有縮放架；所述縮放架的內(nèi)側(cè)滑動連接有多個縮放條；所述縮放組件上安裝有多個連接組件；所述連接組件包括有頂滑架；所述頂滑架與縮放條通過螺栓連接；所述頂滑架的內(nèi)側(cè)滑動連接有多個頂滑塊；所述頂滑塊的下端安裝有電熱細(xì)絲；所述電熱細(xì)絲的下端安裝有連絲板；所述頂滑塊上固接有調(diào)節(jié)片；所述縮放組件的上端設(shè)置有頂調(diào)組件；所述頂調(diào)組件包括有安裝架；所述安裝架上安裝有第二液壓推桿；所述第二液壓推桿的一側(cè)設(shè)置有定位支架；所述定位支架的內(nèi)側(cè)設(shè)置有推桿塊；所述推桿塊的前后端均設(shè)置有一個滑動塊；所述滑動塊與推桿塊設(shè)置為滑動連接；所述滑動塊與定位支架設(shè)置為滑動連接；所述滑動塊的一側(cè)安裝有夾緊爪。

3、作為優(yōu)選，所述定位支架的內(nèi)壁上開設(shè)有滑動槽；所述安裝架上滑動連接有導(dǎo)向桿；所述導(dǎo)向桿的外側(cè)設(shè)置有連接條；所述連接條上安裝有第一液壓推桿；所述導(dǎo)向桿的一側(cè)安裝有推桿片；所述夾緊爪上固接有抵擋片。

4、作為優(yōu)選，所述縮放條的上端安裝有限位桿；所述限位桿的外側(cè)設(shè)置有第一嚙合轉(zhuǎn)輪；所述第一嚙合轉(zhuǎn)輪上開設(shè)有多個縮放槽；所述縮放條的外側(cè)固接有多個連接滑塊；所述連接滑塊的外側(cè)滑動連接有連接滑軌；所述連接滑軌與縮放架通過螺栓連接；后端部一側(cè)的所述連接滑軌上安裝有電機板；所述電機板的下端安裝有第四電機；所述第四電機的上端通過轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動連接有第二嚙合轉(zhuǎn)輪；所述縮放架的上端安裝有固定軸；所述固定軸與第一嚙合轉(zhuǎn)輪設(shè)置為轉(zhuǎn)動連接。

5、作為優(yōu)選，所述頂調(diào)組件的上端安裝有轉(zhuǎn)動組件；所述轉(zhuǎn)動組件包括有定位滑塊；所述定位滑塊與推桿片通過螺栓連接；所述定位滑塊的上端安裝有轉(zhuǎn)動套；所述轉(zhuǎn)動套的外側(cè)安裝有被動輪；所述被動輪的下端固接有定位環(huán)；所述定位環(huán)的下端轉(zhuǎn)動連接有兩個定位滑板；所述定位滑板的上端安裝有絲桿滑塊；所述絲桿滑塊上滑動連接有絲桿滑軌。

6、作為優(yōu)選，所述絲桿滑軌的內(nèi)部轉(zhuǎn)動連接有絲桿；且一側(cè)端絲桿的前端通過聯(lián)軸器轉(zhuǎn)動連接有第二電機；兩個絲桿的后端均安裝有一個轉(zhuǎn)動輪；所述轉(zhuǎn)動輪的外側(cè)轉(zhuǎn)動連接有轉(zhuǎn)動帶；一側(cè)端所述定位滑板的上端安裝有電機架；所述電機架上安裝有第三電機；所述第三電機的下端通過轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動連接有主動輪；所述定位滑板的前后端均安裝有一個固定片；所述固定片上安裝有安裝條。

7、作為優(yōu)選，所述連接組件的外側(cè)設(shè)置有電熱絲組件；所述電熱絲組件包括有限位滑塊；所述限位滑塊與連絲板通過螺栓連接；所述限位滑塊的外側(cè)設(shè)置有連接內(nèi)環(huán)；所述連接內(nèi)環(huán)上開設(shè)有限位滑槽；所述限位滑塊上固接有固定頭。

8、作為優(yōu)選，所述固定頭的內(nèi)側(cè)安裝有連接桿；所述連接桿的下端固接有連接片；所述連接片的下端安裝有連接磁塊；所述連接桿的外側(cè)固接有防脫環(huán)；所述防脫環(huán)的下端設(shè)置有連接弧條。

9、作為優(yōu)選，所述電熱絲組件的外側(cè)設(shè)置有外罩組件；所述外罩組件包括有固定外罩；所述固定外罩的外側(cè)通過手工電弧焊焊接有固定底座；所述固定底座的內(nèi)側(cè)安裝有貼靠環(huán)；所述貼靠環(huán)的上端通過氬弧焊焊接有嚙合環(huán)；所述固定外罩的內(nèi)側(cè)設(shè)置有固定環(huán)板；所述固定環(huán)板的下端安裝有多個連接座。

10、作為優(yōu)選，所述外罩組件的內(nèi)側(cè)設(shè)置有底調(diào)組件；所述底調(diào)組件包括有行進(jìn)輪；所述行進(jìn)輪與貼靠環(huán)設(shè)置為滑動連接；所述行進(jìn)輪的上端通過轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動連接有同步輪；所述行進(jìn)輪的下端設(shè)置有固定條。

11、作為優(yōu)選，所述固定條的下端安裝有第一電機；所述第一電機與行進(jìn)輪通過轉(zhuǎn)軸設(shè)置為轉(zhuǎn)動連接；所述固定條上安裝有電動推桿；所述電動推桿的上端安裝有推動片；所述推動片的上端安裝有連接磁環(huán)。

12、本發(fā)明的有益效果：

13、1、通過設(shè)置特殊的縮放式調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)與上下調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)相結(jié)合，并使得電熱絲在加熱的過程中，能夠通過調(diào)節(jié)相鄰加熱絲的間距與整個加熱絲的長度來使得電熱絲在使用的過程中，滿足硅片所產(chǎn)生的熱度變化與電熱絲的防下榻處理，從而可以在一定程度上解決現(xiàn)有細(xì)絲熱場爐在使用的過程中，會因為伴隨硅片的進(jìn)入會影響到熱場爐內(nèi)部的溫度變化，而為了避免調(diào)節(jié)溫度所消耗的時間則需要布設(shè)間距不同的電熱絲結(jié)構(gòu)，但現(xiàn)有的電熱絲布設(shè)往往需要再停機狀態(tài)進(jìn)行，從而在一定程度上會影響到整個熱場爐工作效率的問題；

14、2、通過第四電機驅(qū)動第二嚙合轉(zhuǎn)輪進(jìn)行轉(zhuǎn)動，并通過轉(zhuǎn)動的第二嚙合轉(zhuǎn)輪來帶動第一嚙合轉(zhuǎn)輪進(jìn)行同步轉(zhuǎn)動，并通過轉(zhuǎn)動的第一嚙合轉(zhuǎn)輪來帶動多個限位桿在縮放槽的內(nèi)部進(jìn)行滑動，從而迫使安裝在限位桿下端的縮放條可以在縮放架的內(nèi)部進(jìn)行滑動，并通過滑動的縮放架來帶動多個連接組件同步進(jìn)行移動，以調(diào)節(jié)電熱細(xì)絲距離待加熱物體的距離，以實現(xiàn)對該熱場爐工作效率的調(diào)節(jié)，進(jìn)而可以在一定程度上提高整個熱場爐的使用便利性；

15、3、通過驅(qū)動第一電機來驅(qū)動行進(jìn)輪進(jìn)行轉(zhuǎn)動，并通過轉(zhuǎn)動的行進(jìn)輪來同步帶動同步輪在嚙合環(huán)的內(nèi)側(cè)進(jìn)行轉(zhuǎn)動，同時在貼靠環(huán)下端部開設(shè)的“t”型環(huán)槽來保證固定條可以貼靠在貼靠環(huán)上滑動，從而使得安裝在固定條上的電動推桿可以同步進(jìn)行轉(zhuǎn)動，再通過電動推桿驅(qū)動推動片進(jìn)行移動，能夠使得推動片上的連接磁環(huán)進(jìn)行同步調(diào)節(jié)，并通過電動推桿來控制連接磁環(huán)進(jìn)行移動，以使得連接磁環(huán)可以磁性連接連接磁塊，以使得磁性連接的連接磁塊與連接磁環(huán)可以帶動電熱細(xì)絲的底端部進(jìn)行移動，同時也可以通過第三電機驅(qū)動主動輪進(jìn)行轉(zhuǎn)動，以通過主動輪來帶動被動輪進(jìn)行轉(zhuǎn)動，通過轉(zhuǎn)動的被動輪來同步帶動轉(zhuǎn)動套進(jìn)行轉(zhuǎn)動，以通過轉(zhuǎn)動的轉(zhuǎn)動套來同步帶動整個頂調(diào)組件進(jìn)行轉(zhuǎn)動，通過頂調(diào)組件的呈90°轉(zhuǎn)動，能夠?qū)崿F(xiàn)對電熱細(xì)絲的頂端定位調(diào)節(jié)，同時也可以通過第一液壓推桿驅(qū)動安裝架在導(dǎo)向桿上滑動，并使得安裝架帶動第二液壓推桿進(jìn)行移動，當(dāng)移動至待調(diào)節(jié)的調(diào)節(jié)片處時，可以通過第二液壓推桿驅(qū)動推桿塊推動兩個滑動塊在定位支架上滑動，以使得安裝在兩個定位支架上的夾緊爪可以夾緊調(diào)節(jié)片，再通過相互配合的絲桿滑塊與絲桿滑軌來調(diào)節(jié)兩個定位滑板的位置，以通過定位滑板來帶動整個頂調(diào)組件進(jìn)行移動，從而使得兩個夾緊爪可以被調(diào)節(jié)至對應(yīng)方向上的不同調(diào)節(jié)片處，以實現(xiàn)對電熱細(xì)絲的頂端調(diào)節(jié)，進(jìn)而可以在一定程度上通過調(diào)節(jié)電熱細(xì)絲的位置來實現(xiàn)對電熱細(xì)絲的加熱性能調(diào)節(jié)。