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一種細(xì)絲熱場(chǎng)爐用電熱絲間距調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):40463697

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本發(fā)明涉及細(xì)絲熱場(chǎng)爐領(lǐng)域,尤其涉及一種細(xì)絲熱場(chǎng)爐用電熱絲間距調(diào)節(jié)結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)、pe工藝全稱pecvd,其目的是在硅片表面形成固態(tài)薄膜。其工藝原理是通過(guò)將產(chǎn)品置于低氣壓下輝光放電的陰極上,利用細(xì)絲熱場(chǎng)爐(pecvd反應(yīng)爐)內(nèi)部的加熱體來(lái)將產(chǎn)品升溫至預(yù)定溫度,然后通入適量反應(yīng)氣體,氣體經(jīng)過(guò)一些列化學(xué)變化和等離子反應(yīng),在產(chǎn)品表面成型固態(tài)薄膜,而在高溫條件下,利用物質(zhì)從高濃度向低濃度運(yùn)動(dòng)的特性,將原子以一定可控性參入半導(dǎo)體中。產(chǎn)品到達(dá)預(yù)定溫度后類磷、硼等元素在產(chǎn)品表面進(jìn)行擴(kuò)散處理,而現(xiàn)有的pe工藝多...
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