技術(shù)特征:
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了一種化學(xué)機(jī)械拋光終點(diǎn)檢測(cè)裝置,包括:裝置與化學(xué)機(jī)械拋光平臺(tái)配合使用,化學(xué)機(jī)械拋光平臺(tái)的拋光盤(pán)上設(shè)置有窗口,裝置包括:平面反射鏡;搭載平面反射鏡的轉(zhuǎn)軸,轉(zhuǎn)軸用于調(diào)整平面反射鏡的角度;光發(fā)射模塊,用于發(fā)出激光線,激光線經(jīng)由平面反射鏡通過(guò)窗口照射到拋光盤(pán)上的晶圓表面;光檢測(cè)模塊,用于接收經(jīng)由窗口接收晶圓的反射光線,以根據(jù)反射光線確定化學(xué)機(jī)械拋光工藝的終點(diǎn)。該實(shí)施例的化學(xué)機(jī)械拋光終點(diǎn)檢測(cè)裝置通過(guò)轉(zhuǎn)軸可調(diào)節(jié)激光線射向化學(xué)機(jī)械拋光平臺(tái)的拋光盤(pán)上窗口的角度,由此,提高了該裝置的可調(diào)節(jié)性,容錯(cuò)性,可適用于不同廠家的化學(xué)機(jī)械拋光平臺(tái)。
技術(shù)研發(fā)人員:王軍星;郭振宇;沈攀;雷殿波;路新春
受保護(hù)的技術(shù)使用者:天津華海清科機(jī)電科技有限公司;清華大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日:2017.04.14
技術(shù)公布日:2017.07.07