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擴(kuò)散速率受限的熱化學(xué)氣相沉積涂層的制作方法

文檔序號(hào):11768069閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開(kāi)了熱化學(xué)氣相沉積涂布制品和熱化學(xué)氣相沉積方法。所述制品包括基材和基材上的熱化學(xué)氣相沉積涂層。熱化學(xué)氣相沉積涂層包括通過(guò)擴(kuò)散速率受限的熱化學(xué)氣相沉積產(chǎn)生的特性。熱化學(xué)氣相沉積方法包括將氣態(tài)物質(zhì)引入容器并且通過(guò)氣態(tài)物質(zhì)的擴(kuò)散速率受限的反應(yīng)在容器內(nèi)在制品上產(chǎn)生熱化學(xué)氣相沉積涂層。

技術(shù)研發(fā)人員:T·F·韋扎;S·A·孔多;N·P·德斯科維奇;J·B·馬特澤拉;P·H·希爾維斯
受保護(hù)的技術(shù)使用者:西爾科特克公司
技術(shù)研發(fā)日:2017.01.22
技術(shù)公布日:2017.10.20
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