1.研磨設(shè)備晶圓搬運(yùn)手臂自動(dòng)清洗控制系統(tǒng)，包括有：信息檢測(cè)模塊、清洗模塊驅(qū)動(dòng)電機(jī)、氣缸、電磁閥Ⅰ、繼電器Ⅰ、繼電器Ⅱ、繼電器Ⅲ、水汽清洗電磁閥、真空排水電磁閥，其特征在于：所述信息檢測(cè)模塊與繼電器Ⅰ、繼電器Ⅱ、繼電器Ⅲ連接，所述繼電器Ⅰ與清洗模塊驅(qū)動(dòng)電機(jī)連接；所述繼電器Ⅱ與水汽清洗電磁閥連接，所述水汽清洗電磁閥通過(guò)管道連接水汽輸入模塊；所述繼電器Ⅲ與真空排水電磁閥連接，所述真空排水電磁閥通過(guò)管道連接真空泵。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述研磨設(shè)備晶圓搬運(yùn)手臂自動(dòng)清洗控制系統(tǒng)，其特
征在于：信息檢測(cè)模塊包括：限位開(kāi)關(guān)、存在感應(yīng)式設(shè)備。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述研磨設(shè)備晶圓搬運(yùn)手臂自動(dòng)清洗控制系統(tǒng)，其特
征在于：還包括有24v電源，所述水汽清洗電磁閥串聯(lián)繼電器Ⅱ常開(kāi)觸點(diǎn)后連接在電源兩端，所述真空排水電磁閥串聯(lián)繼電器Ⅲ的常開(kāi)觸點(diǎn)后連接在電源兩端。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述研磨設(shè)備晶圓搬運(yùn)手臂自動(dòng)清洗控制系統(tǒng)，其特
征在于：所述繼電器Ⅰ與清洗模塊驅(qū)動(dòng)電機(jī)串聯(lián)，所述清洗模塊驅(qū)動(dòng)電機(jī)與110v電源連接，所述清洗模塊驅(qū)動(dòng)電機(jī)兩端與電容并聯(lián)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或4所述研磨設(shè)備晶圓搬運(yùn)手臂自動(dòng)清洗控制系統(tǒng)，其特征在于：所述繼電器Ⅰ采用常開(kāi)型繼電器。