本發(fā)明屬于真空鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種納米鍍膜設(shè)備旋轉(zhuǎn)貨架裝置。
背景技術(shù)：
等離子鍍膜作為提升材料表面性能有效方法被廣泛應(yīng)用于航空航天、汽車制造、機(jī)械重工和五金工具制造等領(lǐng)域。在等離子鍍膜過(guò)程中，需要將鍍膜設(shè)備腔室內(nèi)空氣抽出維持低壓力狀態(tài)，同時(shí)需要通入工藝氣體和化學(xué)單體氣體用于反應(yīng)生成聚合物涂層。由于整個(gè)等離子鍍膜過(guò)程中需要持續(xù)抽氣，且抽氣口、進(jìn)氣口、加料口位置是固定的，因此化學(xué)單體氣體有向抽氣口方向擴(kuò)散的趨勢(shì)，導(dǎo)致化學(xué)單體氣體在加料口區(qū)域和擴(kuò)散方向區(qū)域的密度相對(duì)較大。這就出現(xiàn)了這些區(qū)域放置的被鍍膜工件表面聚合物涂層厚度較厚而其他區(qū)域涂層厚度較薄現(xiàn)象，造成批量生產(chǎn)的質(zhì)量不一致。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
本發(fā)明的目的是克服上述不足，提供一種納米鍍膜設(shè)備旋轉(zhuǎn)貨架裝置。
本發(fā)明為實(shí)現(xiàn)上述目的所采用的技術(shù)方案如下：
一種納米鍍膜設(shè)備旋轉(zhuǎn)貨架裝置，其特征在于：包括反應(yīng)腔室，所述反應(yīng)腔室內(nèi)設(shè)置有旋轉(zhuǎn)貨架，所述旋轉(zhuǎn)貨架的中心軸為中空管結(jié)構(gòu)，且中空管上設(shè)置有通孔，反應(yīng)腔室頂部安裝有抽氣口，抽氣口與中空管在同一軸線上且位于其上方，抽氣口安裝有導(dǎo)向套，且導(dǎo)向套內(nèi)徑比中空管外徑大，中空管可插入抽氣口導(dǎo)向套并相對(duì)抽氣口轉(zhuǎn)動(dòng)。所述旋轉(zhuǎn)貨架底部圓盤上安裝內(nèi)齒圈，旋轉(zhuǎn)電機(jī)軸上安裝齒輪，齒輪與內(nèi)齒圈嚙合，通過(guò)齒輪帶動(dòng)貨架底部圓盤齒圈使貨架轉(zhuǎn)動(dòng)，工件放置在旋轉(zhuǎn)貨架的置物層上，真空泵通過(guò)真空管路與腔體抽氣口連接，進(jìn)氣閥通過(guò)進(jìn)氣管路與腔體進(jìn)氣口連接，加料閥通過(guò)加料管路與腔體加料口連接，射頻電源通過(guò)導(dǎo)線與腔體內(nèi)電極連接。
所述反應(yīng)腔室的腔容積為50L～3000L，材質(zhì)為鋁合金或不銹鋼。
所述旋轉(zhuǎn)貨架包括1～20層置物層，材質(zhì)為鋁合金或不銹鋼。
所述真空泵的功率為3-50KW，抽速為600-1200m3/h。
所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)的的功率為30-3000W。
所述射頻電源的功率為50-1500W。
本發(fā)明的上述技術(shù)方案與現(xiàn)有技術(shù)相比具有以下優(yōu)點(diǎn)：
(1)鍍膜過(guò)程中貨架持續(xù)旋轉(zhuǎn)，避免出現(xiàn)因各區(qū)域化學(xué)單體氣體密度不均勻造成固定區(qū)域的工件涂層厚度不均勻現(xiàn)象。同時(shí)，貨架轉(zhuǎn)動(dòng)也有利于將進(jìn)入腔室內(nèi)的化學(xué)單體氣體充分混合均勻。
(2)通過(guò)每層貨架對(duì)應(yīng)中空管上的通孔，可以使進(jìn)入腔室內(nèi)的化學(xué)單體氣體形成沿每層貨架徑向往通孔位置擴(kuò)散的趨勢(shì)，使得從腔壁到中空管區(qū)域化學(xué)單體密度更加均勻。
附圖說(shuō)明
圖1為一種納米鍍膜設(shè)備旋轉(zhuǎn)貨架裝置結(jié)構(gòu)示意圖
圖中：1、反應(yīng)腔室，2、旋轉(zhuǎn)貨架，3、真空泵，4、進(jìn)氣閥，5、加料閥，6、旋轉(zhuǎn)電機(jī)，7、射頻電源，8、工件。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合附圖和具體實(shí)施例詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明，但本發(fā)明并不局限于具體實(shí)施例。
實(shí)施例1
如圖1所示：一種納米鍍膜設(shè)備旋轉(zhuǎn)貨架裝置，其特征在于：包括反應(yīng)腔室，反應(yīng)腔室的容積為50L，所述反應(yīng)腔室內(nèi)設(shè)置有旋轉(zhuǎn)貨架，旋轉(zhuǎn)貨架包括1層置物層，所述旋轉(zhuǎn)貨架的中心軸為中空管結(jié)構(gòu)，且中空管上設(shè)置有通孔，反應(yīng)腔室頂部安裝有抽氣口，抽氣口與中空管在同一軸線上且位于其上方，抽氣口安裝有導(dǎo)向套，且導(dǎo)向套內(nèi)徑比中空管外徑大，中空管可插入抽氣口導(dǎo)向套并相對(duì)抽氣口轉(zhuǎn)動(dòng)，所述旋轉(zhuǎn)貨架底部圓盤上安裝內(nèi)齒圈，旋轉(zhuǎn)電機(jī)軸上安裝齒輪，旋轉(zhuǎn)電機(jī)的功率為30W，通過(guò)齒輪帶動(dòng)貨架底部圓盤齒圈使貨架轉(zhuǎn)動(dòng)，工件放置在旋轉(zhuǎn)貨架的置物層上，真空泵通過(guò)真空管路與腔體抽氣口連接，真空泵的功率為3KW，抽速為600m3/h，進(jìn)氣閥通過(guò)進(jìn)氣管路與腔體進(jìn)氣口連接，加料閥通過(guò)加料管路與腔體加料口連接，射頻電源通過(guò)導(dǎo)線與腔體內(nèi)電極連接，射頻電源的功率為50W。
實(shí)施例2
如圖1所示：一種納米鍍膜設(shè)備旋轉(zhuǎn)貨架裝置，其特征在于：包括反應(yīng)腔室，反應(yīng)腔室的容積為500L，所述反應(yīng)腔室內(nèi)設(shè)置有旋轉(zhuǎn)貨架，旋轉(zhuǎn)貨架包括10層置物層，所述旋轉(zhuǎn)貨架的中心軸為中空管結(jié)構(gòu)，且中空管上設(shè)置有通孔，反應(yīng)腔室頂部安裝有抽氣口，抽氣口與中空管在同一軸線上且位于其上方，抽氣口安裝有導(dǎo)向套，且導(dǎo)向套內(nèi)徑比中空管外徑大，中空管可插入抽氣口導(dǎo)向套并相對(duì)抽氣口轉(zhuǎn)動(dòng)，所述旋轉(zhuǎn)貨架底部圓盤上安裝內(nèi)齒圈，旋轉(zhuǎn)電機(jī)軸上安裝齒輪，旋轉(zhuǎn)電機(jī)的的功率為300W，通過(guò)齒輪帶動(dòng)貨架底部圓盤齒圈使貨架轉(zhuǎn)動(dòng)，工件放置在旋轉(zhuǎn)貨架的置物層上，真空泵通過(guò)真空管路與腔體抽氣口連接，真空泵的功率為12KW，抽速為800m3/h，進(jìn)氣閥通過(guò)進(jìn)氣管路與腔體進(jìn)氣口連接，加料閥通過(guò)加料管路與腔體加料口連接，射頻電源通過(guò)導(dǎo)線與腔體內(nèi)電極連接，射頻電源的功率為300W。
實(shí)施例3
如圖1所示：一種納米鍍膜設(shè)備旋轉(zhuǎn)貨架裝置，其特征在于：包括反應(yīng)腔室，反應(yīng)腔室的容積為1800L，所述反應(yīng)腔室內(nèi)設(shè)置有旋轉(zhuǎn)貨架，旋轉(zhuǎn)貨架包括15層置物層，所述旋轉(zhuǎn)貨架的中心軸為中空管結(jié)構(gòu)，且中空管上設(shè)置有通孔，反應(yīng)腔室頂部安裝有抽氣口，抽氣口與中空管在同一軸線上且位于其上方，抽氣口安裝有導(dǎo)向套，且導(dǎo)向套內(nèi)徑比中空管外徑大，中空管可插入抽氣口導(dǎo)向套并相對(duì)抽氣口轉(zhuǎn)動(dòng)，所述旋轉(zhuǎn)貨架底部圓盤上安裝內(nèi)齒圈，旋轉(zhuǎn)電機(jī)軸上安裝齒輪，旋轉(zhuǎn)電機(jī)的的功率為1500W，通過(guò)齒輪帶動(dòng)貨架底部圓盤齒圈使貨架轉(zhuǎn)動(dòng)，工件放置在旋轉(zhuǎn)貨架的置物層上，真空泵通過(guò)真空管路與腔體抽氣口連接，真空泵的功率為30KW，抽速為1100m3/h，進(jìn)氣閥通過(guò)進(jìn)氣管路與腔體進(jìn)氣口連接，加料閥通過(guò)加料管路與腔體加料口連接，射頻電源通過(guò)導(dǎo)線與腔體內(nèi)電極連接，射頻電源的功率為1000W。
工件制作流程如下：首先將鍍膜工件放置于鍍膜設(shè)備腔室內(nèi)的旋轉(zhuǎn)貨架的置物層上，真空泵從抽氣口將腔室內(nèi)空氣抽出使腔室內(nèi)壓力降低，然后通過(guò)進(jìn)氣閥從進(jìn)氣口向腔室內(nèi)通入工藝氣體，再通過(guò)加料閥從加料口向腔室內(nèi)添加化學(xué)單體氣體，旋轉(zhuǎn)電機(jī)帶動(dòng)貨架旋轉(zhuǎn),由射頻電源放電，引發(fā)化學(xué)單體氣體發(fā)生聚合并沉積在工件表面形成聚合物涂層。
實(shí)施例4
如圖1所示：一種納米鍍膜設(shè)備旋轉(zhuǎn)貨架裝置，其特征在于：包括反應(yīng)腔室，反應(yīng)腔室的容積為3000L，所述反應(yīng)腔室內(nèi)設(shè)置有旋轉(zhuǎn)貨架，旋轉(zhuǎn)貨架包括20層置物層，所述旋轉(zhuǎn)貨架的中心軸為中空管結(jié)構(gòu)，且中空管上設(shè)置有通孔，反應(yīng)腔室頂部安裝有抽氣口，抽氣口與中空管在同一軸線上且位于其上方，抽氣口安裝有導(dǎo)向套，且導(dǎo)向套內(nèi)徑比中空管外徑大，中空管可插入抽氣口導(dǎo)向套并相對(duì)抽氣口轉(zhuǎn)動(dòng)，所述旋轉(zhuǎn)貨架底部圓盤上安裝內(nèi)齒圈，旋轉(zhuǎn)電機(jī)軸上安裝齒輪，旋轉(zhuǎn)電機(jī)的的功率為3000W，通過(guò)齒輪帶動(dòng)貨架底部圓盤齒圈使貨架轉(zhuǎn)動(dòng)，工件放置在旋轉(zhuǎn)貨架的置物層上，真空泵通過(guò)真空管路與腔體抽氣口連接，真空泵的功率為50KW，抽速為1200m3/h，進(jìn)氣閥通過(guò)進(jìn)氣管路與腔體進(jìn)氣口連接，加料閥通過(guò)加料管路與腔體加料口連接，射頻電源通過(guò)導(dǎo)線與腔體內(nèi)電極連接，射頻電源的功率為1500W。