1.一種有機EL元件蒸發(fā)鍍膜裝置，其特征在于：包括密閉的真空腔(5)，真空腔(5)的底部設(shè)有用于放置有機物(100)的容器(40)，容器(40)的上端具有開口，基板(10)固定在容器(40)的開口上方，所述容器(40)周圍纏繞有發(fā)熱線(70)，發(fā)熱線(45)與容器(40)外壁之間間隔有一定距離，發(fā)熱線(70)的外圍設(shè)有屏蔽膜(110)，用于反射發(fā)熱線(70)發(fā)出的熱離子。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸發(fā)鍍膜裝置，其特征在于：所述發(fā)熱線(70)與交流電源裝置(80)相連，容器(40)與接地電源(90)相連。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸發(fā)鍍膜裝置，其特征在于：所述真空腔(5)分別與真空泵(60)和真空計(50)相連。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸發(fā)鍍膜裝置，其特征在于：所述真空腔(5)還設(shè)有用于檢測基板(10)上鍍膜厚度的膜厚傳感器(20)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸發(fā)鍍膜裝置，其特征在于：所述容器(40)上端開口和基板(10)之間設(shè)有擋板(30)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的蒸發(fā)鍍膜裝置，其特征在于：所述容器(40)的電阻率小于10-2Ω㎝，熔點大于1500℃。