鍍膜抑弧電箱的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及鍍膜裝置領(lǐng)域，特別涉及一種鍍膜抑弧電箱。
【背景技術(shù)】
[0002]濺射鍍膜的操作過(guò)程是，在真空條件下，用帶有正電荷的粒子轟擊帶有負(fù)電荷的陰極靶材表面，使靶材表面濺射出原子或者分子，這些從靶材表面濺射出的粒子沉積在基板上形成薄膜。
[0003]然而，鍍膜交流電源在旋轉(zhuǎn)靶材工作時(shí)正負(fù)極在靶材上時(shí)交替運(yùn)行的，當(dāng)鍍膜玻璃經(jīng)過(guò)平面靶及旋轉(zhuǎn)靶靶材下方時(shí)，旋轉(zhuǎn)靶下方的玻璃表面會(huì)產(chǎn)生高電壓，電荷會(huì)通過(guò)玻璃膜層向平面靶低電壓區(qū)域移而導(dǎo)致放電，造成玻璃膜面的燒傷。
[0004]為了克服上述問(wèn)題，一般會(huì)采用兩種方法進(jìn)行解決:第一，降低靶材的使用功率，從而減慢濺射速度，但是這種方式生產(chǎn)效率較低，且只能減少放電次數(shù)，不能實(shí)質(zhì)性地避免放電現(xiàn)象；第二，生產(chǎn)大板鍍膜玻璃放電時(shí)，手動(dòng)打磨玻璃邊緣，降低放電幾率，也是治標(biāo)不治本，且在生產(chǎn)鋼化玻璃及夾層鍍膜玻璃放電時(shí)無(wú)法進(jìn)行有效地處理，被灼傷的玻璃只能作報(bào)廢處理，極大地浪費(fèi)了生產(chǎn)成本。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是:為了克服現(xiàn)有技術(shù)在玻璃鍍膜過(guò)程中，易發(fā)生玻璃膜面被灼傷的不足，提供一種工作效率高，能夠避免發(fā)生玻璃膜面被灼傷的鍍膜抑弧電箱。
[0006]本實(shí)用新型解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是:一種鍍膜抑弧電箱，包括交流電源和兩個(gè)高頻降壓組件，兩個(gè)高頻降壓組件的輸入端分別與交流電源的正極和負(fù)極電連接，兩個(gè)高頻降壓組件的輸出端均與地線電連接，所述高頻降壓組件包括若干相互串聯(lián)的高頻降壓部，所述高頻降壓部包括相互并聯(lián)的高頻部和單向?qū)ú?，所述高頻部包括相互并聯(lián)的電容和電阻，所述單向?qū)ú堪▋蓚€(gè)并聯(lián)的二極管，單向?qū)ú康膬蓚€(gè)二極管導(dǎo)通方向相同。
[0007]為了便于降壓，所述陰極靶材與交流電源的正極電連接。
[0008]為了保證裝置工作的持續(xù)性和可靠性，防止因?yàn)閱蝹€(gè)元件損壞而使得整個(gè)電路癱瘓，所述高頻降壓組件包括四個(gè)高頻降壓部。
[0009]本實(shí)用新型的有益效果是，該鍍膜抑弧電箱利用二極管的單向?qū)ㄔ恚ㄟ^(guò)二極管將高電動(dòng)勢(shì)引出接地，從而使得雙筒旋轉(zhuǎn)靶的電動(dòng)勢(shì)將至與平面靶的電動(dòng)勢(shì)相同，使得玻璃表面電壓相近，減少電荷的相對(duì)流動(dòng)，抑制放電現(xiàn)象的產(chǎn)生，在不降低生產(chǎn)速度的情況下，避免了玻璃膜面的被灼傷的現(xiàn)象。
【附圖說(shuō)明】
[0010]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步說(shuō)明。
[0011]圖1是本實(shí)用新型的鍍膜抑弧電箱的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0012]圖2是本實(shí)用新型的鍍膜抑弧電箱的電路圖；
[0013]圖中:1.高頻降壓部。
【具體實(shí)施方式】
[0014]現(xiàn)在結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明。這些附圖均為簡(jiǎn)化的示意圖，僅以示意方式說(shuō)明本實(shí)用新型的基本結(jié)構(gòu)，因此其僅顯示與本實(shí)用新型有關(guān)的構(gòu)成。
[0015]如圖1和圖2所示，一種鍍膜抑弧電箱，包括交流電源和兩個(gè)高頻降壓組件，兩個(gè)高頻降壓組件的輸入端分別與交流電源的正極和負(fù)極電連接，兩個(gè)高頻降壓組件的輸出端均與地線電連接，所述高頻降壓組件包括若干相互串聯(lián)的高頻降壓部1，所述高頻降壓部I包括相互并聯(lián)的高頻部和單向?qū)ú?，所述高頻部包括相互并聯(lián)的電容和電阻，所述單向?qū)ú堪▋蓚€(gè)并聯(lián)的二極管，單向?qū)ú康膬蓚€(gè)二極管導(dǎo)通方向相同。
[0016]為了便于降壓，所述陰極靶材與交流電源的正極電連接。
[0017]為了保證裝置工作的持續(xù)性和可靠性，防止因?yàn)閱蝹€(gè)元件損壞而使得整個(gè)電路癱瘓，所述高頻降壓組件包括四個(gè)高頻降壓部I。
[0018]事實(shí)上，該鍍膜抑弧電箱內(nèi)部的電路分為兩部分，主要是為了匹配旋轉(zhuǎn)靶桶，因?yàn)樾D(zhuǎn)靶的在工作時(shí)是正負(fù)極交替運(yùn)行的，當(dāng)旋轉(zhuǎn)靶桶的A端為正，B端為負(fù)時(shí)，則A靶桶所接的與交流電源正極連接的高頻降壓組件導(dǎo)通，從而使得A靶桶與大地導(dǎo)通，玻璃表面的電壓被瞬間吸收；當(dāng)旋轉(zhuǎn)靶A、B兩端的極性轉(zhuǎn)換，B端為正，A端為負(fù)，從而使得B靶桶所接的與交流電源負(fù)極連接的高頻降壓組件導(dǎo)通，則B靶桶與大地導(dǎo)通，玻璃表面的電壓被瞬間吸收，從而實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn)靶在旋轉(zhuǎn)過(guò)程中，旋轉(zhuǎn)靶下玻璃表面的電動(dòng)勢(shì)與平面靶相近。
[0019]在高頻降壓組件內(nèi)設(shè)置二極管，主要是利用二極管的單向?qū)ㄔ恚诮祲弘娐分胁⒙?lián)電容，主要是為了給電容提供泄放通路，而在電容兩端并聯(lián)電阻，電阻實(shí)際上起到的也是泄放電阻的功能，以便于停止工作后，泄放掉電容兩端存儲(chǔ)的電能；而且旋轉(zhuǎn)靶的正負(fù)極是交替運(yùn)行的，容易在電路中產(chǎn)生瞬時(shí)脈沖，因?yàn)殡娙萦凶璧皖l通高頻的作用，所以能夠?qū)﹄娐分械乃矔r(shí)升壓或降壓進(jìn)行緩沖，防止元器件被擊穿。
[0020]同一高頻降壓組件內(nèi)設(shè)置四個(gè)高頻降壓部1，能夠防止其中一個(gè)高頻降壓部I失效而導(dǎo)致整個(gè)電路癱瘓，能夠保證電路工作的持續(xù)性和穩(wěn)定性。
[0021]與現(xiàn)有技術(shù)相比，該鍍膜抑弧電箱利用二極管的單向?qū)ㄔ?，通過(guò)二極管將高電動(dòng)勢(shì)引出接地，從而使得雙筒旋轉(zhuǎn)靶的電動(dòng)勢(shì)將至與平面靶的電動(dòng)勢(shì)相同，使得玻璃表面電壓相近，減少電荷的相對(duì)流動(dòng)，抑制放電現(xiàn)象的產(chǎn)生，在不降低生產(chǎn)速度的情況下，避免了玻璃膜面的被灼傷的現(xiàn)象。
[0022]以上述依據(jù)本實(shí)用新型的理想實(shí)施例為啟示，通過(guò)上述的說(shuō)明內(nèi)容，相關(guān)工作人員完全可以在不偏離本項(xiàng)實(shí)用新型技術(shù)思想的范圍內(nèi)，進(jìn)行多樣的變更以及修改。本項(xiàng)實(shí)用新型的技術(shù)性范圍并不局限于說(shuō)明書上的內(nèi)容，必須要根據(jù)權(quán)利要求范圍來(lái)確定其技術(shù)性范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種鍍膜抑弧電箱，其特征在于，包括交流電源和兩個(gè)高頻降壓組件，兩個(gè)高頻降壓組件的輸入端分別與交流電源的正極和負(fù)極電連接，兩個(gè)高頻降壓組件的輸出端均與地線電連接，所述高頻降壓組件包括若干相互串聯(lián)的高頻降壓部(I)，所述高頻降壓部(I)包括相互并聯(lián)的高頻部和單向?qū)ú?，所述高頻部包括相互并聯(lián)的電容和電阻，所述單向?qū)ú堪▋蓚€(gè)并聯(lián)的二極管，單向?qū)ú康膬蓚€(gè)二極管導(dǎo)通方向相同。
2.如權(quán)利要求1所述的鍍膜抑弧電箱，其特征在于，所述高頻降壓組件包括四個(gè)高頻降壓部(I)。
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種鍍膜抑弧電箱，包括交流電源和兩個(gè)高頻降壓組件，兩個(gè)高頻降壓組件的輸入端分別與交流電源的正極和負(fù)極電連接，兩個(gè)高頻降壓組件的輸出端均與地線電連接，高頻降壓組件包括若干相互串聯(lián)的高頻降壓部，高頻降壓部包括相互并聯(lián)的高頻部和單向?qū)ú?，高頻部包括相互并聯(lián)的電容和電阻，單向?qū)ú堪▋蓚€(gè)并聯(lián)的二極管，單向?qū)ú康膬蓚€(gè)二極管導(dǎo)通方向相同。該鍍膜抑弧電箱利用二極管的單向?qū)ㄔ恚ㄟ^(guò)二極管將高電動(dòng)勢(shì)引出接地，從而使得雙筒旋轉(zhuǎn)靶的電動(dòng)勢(shì)將至與平面靶的電動(dòng)勢(shì)相同，使得玻璃表面電壓相近，減少電荷的相對(duì)流動(dòng)，抑制放電現(xiàn)象的產(chǎn)生，在不降低生產(chǎn)速度的情況下，避免了玻璃膜面的被灼傷的現(xiàn)象。
【IPC分類】C23C14-34
【公開(kāi)號(hào)】CN204417580
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520019606
【發(fā)明人】余華駿, 江亮, 胡勇
【申請(qǐng)人】咸寧南玻節(jié)能玻璃有限公司
【公開(kāi)日】2015年6月24日
【申請(qǐng)日】2015年1月13日