本發(fā)明屬于真空鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種有機(jī)EL元件蒸發(fā)鍍膜裝置。

背景技術(shù)：

真空鍍膜是將固體材料置于真空室內(nèi)，在真空條件下，將固體材料加熱蒸發(fā)，蒸發(fā)出來的原子或分子能自由地彌布到容器的器壁上。當(dāng)把一些加工好的基板材料放在其中時，蒸發(fā)出來的原子或分子就會吸附在基板上逐漸形成一層薄膜。真空鍍膜有兩種方法，一是蒸發(fā)鍍膜，一是濺射鍍膜。

傳統(tǒng)的有機(jī)EL元件蒸發(fā)鍍膜是在真空腔內(nèi)完成，用于放置有機(jī)物的容器在熱源的作用下升溫，使得有機(jī)物蒸發(fā)從而完成鍍膜，但是如果有機(jī)物受熱不均勻，導(dǎo)致蒸發(fā)不均勻的話，EL元件的鍍膜也會不均勻，影響鍍膜效果。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的是解決上述問題，提供一種均勻加熱容器、穩(wěn)定蒸發(fā)有機(jī)物、提高鍍膜效果的有機(jī)EL元件蒸發(fā)鍍膜裝置。

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的技術(shù)方案是：一種有機(jī)EL元件蒸發(fā)鍍膜裝置，包括密閉的真空腔，真空腔的底部設(shè)有用于放置有機(jī)物的容器，容器的上端具有開口，基板固定在容器的開口上方，所述容器周圍纏繞有發(fā)熱線，發(fā)熱線與容器外壁之間間隔有一定距離，發(fā)熱線的外圍設(shè)有屏蔽膜，用于反射發(fā)熱線發(fā)出的熱離子。

優(yōu)選地，所述發(fā)熱線與交流電源裝置相連，容器與接地電源相連。

優(yōu)選地，所述真空腔分別與真空泵和真空計相連。

優(yōu)選地，所述真空腔還設(shè)有用于檢測基板上鍍膜厚度的膜厚傳感器。

優(yōu)選地，所述容器上端開口和基板之間設(shè)有擋板。

優(yōu)選地，所述容器的電阻率小于10^-2Ω㎝，熔點大于1500℃。

本發(fā)明的有益效果是：本發(fā)明所提供的有機(jī)EL元件蒸發(fā)鍍膜裝置，發(fā)熱線通過交流電源裝置加熱到一定溫度，熱量以熱離子的方式熱輻射出去，并把熱量傳到容器從而加熱有機(jī)物使有機(jī)物蒸發(fā)；與傳統(tǒng)的蒸發(fā)鍍膜裝置中，發(fā)熱線與容器接觸的方式相比，本發(fā)明容器的溫度增加會更加的均勻，因而能夠穩(wěn)定蒸發(fā)有機(jī)物，提高鍍膜效果。

附圖說明

圖1是本發(fā)明中有機(jī)EL元件蒸發(fā)鍍膜裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本發(fā)明中發(fā)熱線與容器的截面圖；

圖3是本發(fā)明中發(fā)熱線與容器的立體圖。

附圖標(biāo)記說明：5、真空腔；10、基板；20、膜厚傳感器；30、擋板；40、容器；50、真空計；60、真空泵；70、發(fā)熱線；80、交流電源裝置；90、接地電源；100、有機(jī)物；110、屏蔽膜。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖和具體實施例對本發(fā)明做進(jìn)一步的說明：

如圖1至圖3所示，本發(fā)明的有機(jī)EL元件蒸發(fā)鍍膜裝置，包括密閉的真空腔5，真空腔5的底部設(shè)有用于放置有機(jī)物100的容器40，容器40的上端具有開口，基板10固定在容器40的開口上方，所述容器40周圍纏繞有發(fā)熱線70，發(fā)熱線45與容器40外壁之間間隔有一定距離，發(fā)熱線70的外圍設(shè)有屏蔽膜110，屏蔽膜110為環(huán)狀，用于反射發(fā)熱線70發(fā)出的熱離子，提高發(fā)熱線70的加熱效率；發(fā)熱線70與交流電源裝置80相連，容器40與接地電源90相連，交流電源裝置80可以防止發(fā)熱線70與容器40之間產(chǎn)生電火花。

真空腔5還分別與真空泵60和真空計50相連，真空泵60用于將真空腔5抽取真空，真空計50用于監(jiān)測真空腔5內(nèi)的真空度；真空腔5還設(shè)有用于檢測基板10上鍍膜厚度的膜厚傳感器20，容器40上端開口和基板10之間設(shè)有擋板30，所述擋板30可以設(shè)置為可開合式的，也可以設(shè)置為旋轉(zhuǎn)式的。

本發(fā)明的有機(jī)EL元件蒸發(fā)鍍膜裝置，發(fā)熱線70通過交流電源裝置80加熱到一定溫度，熱量以熱離子的方式熱輻射出去，并把熱量傳到容器40，為了更加均勻的吸收熱量，容器40的電阻率應(yīng)該小于10^-2Ω㎝，用于制作容器40的材料的熔點應(yīng)該在1500℃以上，發(fā)熱線70可采用燈絲材料制成，比如鎢或者鎢合金；與傳統(tǒng)的蒸發(fā)鍍膜裝置中，發(fā)熱線與容器接觸的方式相比，本發(fā)明中，容器40的溫度增加會更加的均勻，因而能夠穩(wěn)定蒸發(fā)有機(jī)物，提高鍍膜效果。

本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員將會意識到，這里所述的實施例是為了幫助讀者理解本發(fā)明的原理，應(yīng)被理解為本發(fā)明的保護(hù)范圍并不局限于這樣的特別陳述和實施例。本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員可以根據(jù)本發(fā)明公開的這些技術(shù)啟示做出各種不脫離本發(fā)明實質(zhì)的其它各種具體變形和組合，這些變形和組合仍然在本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。