一種銅鈀銀單晶鍵合引線熱處理裝置制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及鍵合引線熱處理【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種銅鈀銀單晶鍵合引線熱處理裝置。本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種有利于生產(chǎn)的連續(xù)性、能耗低、經(jīng)濟(jì)性好的銅鈀銀單晶鍵合引線熱處理裝置。為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供了這樣一種銅鈀銀單晶鍵合引線熱處理裝置，包括有退火爐、退火筒和氮?dú)獬錃庋b置，退火筒均勻分布在退火爐內(nèi)，氮?dú)獬錃庋b置設(shè)在退火爐頂部，退火筒包括筒內(nèi)壁、筒外壁、加熱板、筒蓋和氮?dú)獬錃饪住１緦?shí)用新型達(dá)到了結(jié)構(gòu)簡單、冷卻效率高、能耗小的效果。
【專利說明】一種銅鈀銀單晶鍵合引線熱處理裝置

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及鍵合引線熱處理【技術(shù)領(lǐng)域】，尤其涉及一種銅鈀銀單晶鍵合引線熱處理裝置。

【背景技術(shù)】
[0002]鍵合引線的中心作用是將一個(gè)封裝器件或兩個(gè)部分焊接好并導(dǎo)電。因此，焊接的部分尤其是焊接點(diǎn)的電阻是此工藝的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。金元素具有較高的導(dǎo)電性能，然而在日益激烈競爭的電子工業(yè)中，高成本效益，已不能滿足集成電路封裝業(yè)的發(fā)展，為了降低成本，國內(nèi)外眾多產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域在尋找一種更便宜的導(dǎo)體替代昂貴的金絲材料。
[0003]銅鈀銀單晶鍵合引線具有機(jī)械、熱學(xué)、電學(xué)性能優(yōu)良及其化合物增長慢等特性。在特定條件要求下，線徑可以減小到一半，銅鈀銀單晶鍵合引線高的拉伸率、剪切強(qiáng)度，可以有效降低絲球焊過程中可能發(fā)生的絲擺、坍塌等現(xiàn)象，有效緩解了采用直徑小的一些組裝難度。在銅鈀銀單晶鍵合引線的生產(chǎn)過程中主要是采用拉模拔絲方式生產(chǎn)，熱處理是其中的一項(xiàng)重要工序。
[0004]在熱處理工序中將銅鈀銀單晶鍵合引線置于退火爐中，在400°C—420°C溫度下保溫25min，保溫期間通以氮?dú)獗Ｗo(hù)氣體，然后隨爐冷卻?，F(xiàn)有的熱處理方式是采用一個(gè)大型的退火爐，為了保證經(jīng)濟(jì)效益，每次要等到足夠多的銅鈀銀單晶鍵合引線一起進(jìn)行熱處理，不利于生產(chǎn)的連續(xù)性。有時(shí)，為了趕進(jìn)度對少量的銅鈀銀單晶鍵合引線進(jìn)行熱處理，浪費(fèi)較大。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0005]本實(shí)用新型為了克服現(xiàn)有銅鈀銀單晶鍵合引線熱處理裝置不利于生產(chǎn)的連續(xù)性、能耗高、經(jīng)濟(jì)性差的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種有利于生產(chǎn)的連續(xù)性、能耗低、經(jīng)濟(jì)性好的一種銅鈀銀單晶鍵合弓I線熱處理裝置。
[0006]為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型提供了這樣一種銅鈀銀單晶鍵合引線熱處理裝置，包括有退火爐、退火筒和氮?dú)獬錃庋b置，退火筒均勻分布在退火爐內(nèi)，氮?dú)獬錃庋b置設(shè)在退火爐頂部，退火筒包括筒內(nèi)壁、筒外壁、加熱板、筒蓋和氮?dú)獬錃饪住?br> [0007]優(yōu)選地，所述筒蓋與氮?dú)獬錃庋b置直接連接。
[0008]優(yōu)選地，所述退火筒設(shè)有溫度傳感器和控制單元，溫度傳感器設(shè)在筒內(nèi)壁，控制單元設(shè)在筒外壁，控制單元與溫度傳感器和加熱板連接。
[0009]工作原理:在銅鈀銀單晶鍵合引線退火工序中，工人把一卷卷的鍵合引線放入退火筒內(nèi)，蓋上筒蓋，然后用氮?dú)獬錃庋b置通過氮?dú)獬錃饪讓ν嘶鹜渤涞獨(dú)?，緊接著接通加熱板使得筒內(nèi)溫度達(dá)到400°C — 420°C溫度并保溫25min，然后斷電讓鍵合引線慢慢冷卻。退火筒包括筒內(nèi)壁和筒外壁，可以有效保持筒內(nèi)溫度。
[0010]所述筒蓋與氮?dú)獬錃庋b置直接連接。當(dāng)蓋上筒蓋時(shí)，就可以直接對退火筒充氮?dú)?，減少了一定的工作量，提高了生產(chǎn)效率。
[0011]所述退火筒設(shè)有溫度傳感器和控制單元，溫度傳感器設(shè)在筒內(nèi)壁，控制單元設(shè)在筒外壁，控制單元與溫度傳感器和加熱板連接。溫度傳感器把退火筒內(nèi)的溫度信號傳遞給控制單元，控制單元根據(jù)溫度信號對加熱板進(jìn)行控制。當(dāng)溫度高于420°C時(shí)，控制單元將斷開加熱板電源，降溫。當(dāng)溫度低于400°C時(shí)，控制單元將接通加熱板電源持續(xù)加熱。
[0012]本實(shí)用新型為解決了現(xiàn)有銅鈀銀單晶鍵合引線精撥裝置結(jié)構(gòu)復(fù)雜、冷卻效率不高、能耗高的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型達(dá)到了結(jié)構(gòu)簡單、冷卻效率高、能耗小的效果。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0013]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0014]圖2為本實(shí)用新型的退火筒的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0015]圖3為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]圖4為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0017]附圖中的標(biāo)記為:1-退火爐，2-退火筒，3-氮?dú)獬錃庋b置，4-筒內(nèi)壁，5-筒外壁，6-加熱板，7-筒蓋，8-氮?dú)獬錃饪祝?-溫度傳感器，10-控制單元。

【具體實(shí)施方式】
[0018]下面結(jié)合附圖和實(shí)施例對本實(shí)用新型作進(jìn)一步的說明。
[0019]實(shí)施例1
[0020]一種銅鈀銀單晶鍵合弓丨線熱處理裝置，如圖1、2所示，包括有退火爐1、退火筒2和氮?dú)獬錃庋b置3，退火筒2均勻分布在退火爐1內(nèi)，氮?dú)獬錃庋b置3設(shè)在退火爐1頂部，退火筒2包括筒內(nèi)壁4、筒外壁5、加熱板6、筒蓋7和氮?dú)獬錃饪?。
[0021]工作原理:在銅鈀銀單晶鍵合引線退火工序中，工人把一卷卷的鍵合引線放入退火筒2內(nèi)，蓋上筒蓋7，然后用氮?dú)獬錃庋b置3通過氮?dú)獬錃饪?對退火筒2充氮?dú)?，緊接著接通加熱板6使得筒內(nèi)溫度達(dá)到400°C — 420°C溫度并保溫25min，然后斷電讓鍵合引線慢慢冷卻。退火筒2包括筒內(nèi)壁4和筒外壁5，可以有效保持筒內(nèi)溫度。
[0022]實(shí)施例2
[0023]一種銅鈀銀單晶鍵合引線熱處理裝置，如圖1、2、3所示，包括有退火爐1、退火筒2和氮?dú)獬錃庋b置3，退火筒2均勻分布在退火爐1內(nèi)，氮?dú)獬錃庋b置3設(shè)在退火爐1頂部，退火筒2包括筒內(nèi)壁4、筒外壁5、加熱板6、筒蓋7和氮?dú)獬錃饪?。
[0024]所述筒蓋7與氮?dú)獬錃庋b置3直接連接。
[0025]工作原理:在銅鈀銀單晶鍵合引線退火工序中，工人把一卷卷的鍵合引線放入退火筒2內(nèi)，蓋上筒蓋7，然后用氮?dú)獬錃庋b置3通過氮?dú)獬錃饪?對退火筒2充氮?dú)猓o接著接通加熱板6使得筒內(nèi)溫度達(dá)到400°C — 420°C溫度并保溫25min，然后斷電讓鍵合引線慢慢冷卻。退火筒2包括筒內(nèi)壁4和筒外壁5，可以有效保持筒內(nèi)溫度。
[0026]所述筒蓋7與氮?dú)獬錃庋b置3直接連接。當(dāng)蓋上筒蓋7時(shí)，就可以直接對退火筒2充氮?dú)?，減少了一定的工作量，提高了生產(chǎn)效率。
[0027]實(shí)施例3
[0028]一種銅鈀銀單晶鍵合引線熱處理裝置，如圖1、2、4所示，包括有退火爐1、退火筒2和氮?dú)獬錃庋b置3，退火筒2均勻分布在退火爐1內(nèi)，氮?dú)獬錃庋b置3設(shè)在退火爐1頂部，退火筒2包括筒內(nèi)壁4、筒外壁5、加熱板6、筒蓋7和氮?dú)獬錃饪?。
[0029]所述筒蓋7與氮?dú)獬錃庋b置3直接連接。
[0030]所述退火筒2設(shè)有溫度傳感器9和控制單元10，溫度傳感器9設(shè)在筒內(nèi)壁4，控制單元10設(shè)在筒外壁5，控制單元10與溫度傳感器9和加熱板6連接。
[0031]工作原理:在銅鈀銀單晶鍵合引線退火工序中，工人把一卷卷的鍵合引線放入退火筒2內(nèi)，蓋上筒蓋7，然后用氮?dú)獬錃庋b置3通過氮?dú)獬錃饪?對退火筒2充氮?dú)猓o接著接通加熱板6使得筒內(nèi)溫度達(dá)到400°C — 420°C溫度并保溫25min，然后斷電讓鍵合引線慢慢冷卻。退火筒2包括筒內(nèi)壁4和筒外壁5，可以有效保持筒內(nèi)溫度。
[0032]所述筒蓋7與氮?dú)獬錃庋b置3直接連接。當(dāng)蓋上筒蓋7時(shí)，就可以直接對退火筒2充氮?dú)?，減少了一定的工作量，提高了生產(chǎn)效率。
[0033]所述退火筒2設(shè)有溫度傳感器9和控制單元10，溫度傳感器9設(shè)在筒內(nèi)壁4，控制單元10設(shè)在筒外壁5，控制單元10與溫度傳感器9和加熱板6連接。溫度傳感器9把退火筒2內(nèi)的溫度信號傳遞給控制單元10，控制單元10根據(jù)溫度信號對加熱板6進(jìn)行控制。當(dāng)溫度高于420°C時(shí)，控制單元10將斷開加熱板6電源，降溫。當(dāng)溫度低于400°C時(shí)，控制單元10將接通加熱板6電源持續(xù)加熱。
【權(quán)利要求】
1.一種銅鈀銀單晶鍵合引線熱處理裝置，其特征在于，包括有退火爐(I)、退火筒(2)和氮?dú)獬錃庋b置(3)，退火筒(2)均勻分布在退火爐(I)內(nèi)，氮?dú)獬錃庋b置(3)設(shè)在退火爐(I)頂部，退火筒(2)包括筒內(nèi)壁(4)、筒外壁(5)、加熱板(6)、筒蓋(7)和氮?dú)獬錃饪?8)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種銅鈀銀單晶鍵合引線熱處理裝置，其特征在于，所述筒蓋(7 )與氮?dú)獬錃庋b置(3 )直接連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種銅鈀銀單晶鍵合引線熱處理裝置，其特征在于，所述退火筒(2)設(shè)有溫度傳感器(9)和控制單元(10)，溫度傳感器(9)設(shè)在筒內(nèi)壁(4)，控制單元(10)設(shè)在筒外壁(5)，控制單元(10)與溫度傳感器(9)和加熱板(6)連接。
【文檔編號】C21D9/54GK204237834SQ201420620714
【公開日】2015年4月1日 申請日期:2014年10月26日 優(yōu)先權(quán)日:2014年10月26日
【發(fā)明者】何榮貴, 代英 申請人:江西省首諾銅業(yè)有限公司