一種用于雙面研磨機的防沉淀裝置制造方法
【專利摘要】一種用于雙面研磨機的防沉淀裝置，機主體上部設有儲液槽，機主體中部設有防沉淀裝置；防沉淀裝置包括圓桶，齒圈托架設置在圓桶內部，齒圈托架內上部設有磨盤托架，磨盤托架上部安裝有磨盤，齒圈托架下端安裝有刮刷片，儲液槽通過軟管與磨盤連通；磨盤包括上磨盤與下磨盤，上磨盤與下磨盤壓合處設有過油槽，圓桶底部設有出口。通過在機主體上安裝有防沉淀裝置，可有效的降低雙面研磨機磨削液沉淀，并在齒圈托架與磨盤托架表面均噴涂特氟龍涂層具有優(yōu)良的耐熱和耐低溫特性、具有顯著的熱穩(wěn)定性，生產操作時也不易沾溶液，提高了產品的加工效率和加工質量，同時也降低了勞動強度，結構簡單使用方便。
【專利說明】一種用于雙面研磨機的防沉淀裝置

【技術領域】
[0001 ] 本實用新型涉及一種用于雙面研磨機的防沉淀裝置。

【背景技術】
[0002]藍寶石(AL203)為六方對稱結構，它作為最硬的氧化物晶體，具備優(yōu)良的光化學和物理性能。機械強度高，耐化學腐蝕，有較好的導熱性、熱穩(wěn)定性，透光波段寬，是理想的窗口襯底基本材料，另外，它具有電絕緣性，化學性能穩(wěn)定，漏電容和寄生電容小，是極好的半導體、超導襯底材料。
[0003]作為襯底用的藍寶石晶體基片一般為2英寸，4英寸等。用作半導體襯底的光學藍寶石晶體基片對其表面有很高的要求，包括平面度，平行度達到0.005mm，光潔度達到0.5nm。
[0004]傳統的雙面拋光機其研磨原理是通過在上下磨盤中填加游離磨料，現比較常用的是碳化硼和碳化硅或金剛石等，同時上下磨盤做相反方向轉動，同時游星輪帶著藍寶石片，在兩磨盤中間做自轉和圍繞著主軸的公轉，這樣游離磨料在藍寶石表面滾動一壓痕作用或者刮擦一壓痕作用，實現材料的去除，由于磨料比藍寶石硬度要高，就可對其進行研磨加工。
[0005]在研磨過程中，研磨液需要均勻的流入磨盤中，這樣加工出來的產品合格率才高，且此種研磨方式存在一個難題，由于游離磨料是固體溶液，非常容易沉淀，并吸附在零件表面，如果沉淀較多，研磨液中的游離磨料減少，就會影響到加工效率，且殘留在機器零件上的研磨液在加工結束后需要清洗干凈，以免影響下次的加工，機器難以清洗液也需要得到有效的解決。
實用新型內容
[0006]針對上述問題中存在的不足之處，本實用新型提供一種用于雙面研磨機的防沉淀
>J-U ρ?α裝直。
[0007]為實現上述目的，本實用新型提供一種用于雙面研磨機的防沉淀裝置，包括:
[0008]機主體，所述機主體上部設有儲液槽，所述機主體中部設有防沉淀裝置；
[0009]所述防沉淀裝置包括圓桶，齒圈托架設置在所述圓桶內部,所述齒圈托架內上部設有磨盤托架，所述磨盤托架上部安裝有磨盤，所述齒圈托架下端安裝有刮刷片，所述儲液槽通過軟管與所述磨盤連通；
[0010]所述磨盤包括上磨盤與下磨盤，所述上磨盤與所述下磨盤壓合處設有過油槽，所述圓桶底部設有出口。
[0011]作為本實用新型進一步的改進，所述圓桶底部設有防堆積的斜面。
[0012]作為本實用新型進一步的改進，所述齒圈托架與所述磨盤托架表面均噴涂有特氟龍涂層。
[0013]本實用新型的有益效果為:通過在機主體上安裝防沉淀裝置，可有效的降低雙面研磨機磨削液沉淀，其結構簡單，維修便捷，并在齒圈托架與磨盤托架表面均噴涂特氟龍涂層具有優(yōu)良的耐熱和耐低溫特性、具有顯著的熱穩(wěn)定性，抗?jié)?、特氟龍涂膜表面不沾水和油質，生產操作時也不易沾溶液，提高了產品的加工效率和加工質量，同時也降低了勞動強度。

【專利附圖】

【附圖說明】
[0014]圖1為本實用新型一種用于雙面研磨機的防沉淀裝置的結構示意圖。
[0015]圖中:1、儲液槽；2、上磨盤；3、下磨盤；4、圓桶；5、齒圈托架；6、磨盤托架；7、軟管；8、刮刷片。

【具體實施方式】
[0016]如圖1所示，本實用新型實施例所述的一種用于雙面研磨機的防沉淀裝置，包括:機主體，所述機主體上部設有儲液槽1，所述機主體中部設有防沉淀裝置；所述防沉淀裝置包括圓桶4，齒圈托架5設置在所述圓桶4內部，所述齒圈托架5內上部設有磨盤托架6，所述磨盤托架6上部安裝有磨盤，所述齒圈托架5下端安裝有刮刷片8，所述儲液槽I通過軟管7與所述磨盤連通；所述磨盤包括上磨盤2與下磨盤3，所述上磨盤2與所述下磨盤3壓合處設有過油槽，所述圓桶4底部設有出口，所述圓桶4底部設有防堆積的斜面，所述齒圈托架5與所述磨盤托架6表面均噴涂有特氟龍涂層。通過在機主體上安裝防沉淀裝置，可有效的降低用于雙面研磨機磨削液沉淀，其結構簡單，維修便捷，并在齒圈托架與磨盤托架表面均噴涂特氟龍涂層具有優(yōu)良的耐熱和耐低溫特性、具有顯著的熱穩(wěn)定性，抗?jié)瘛⑻胤埻磕け砻娌徽此陀唾|，生產操作時也不易沾溶液，提高了產品的加工效率和加工質量，同時也降低了勞動強度。
[0017]具體使用時:研磨液從進口端泵進，從中路向上流動到上端，再分成四路往下，流入儲液槽中，在從儲液槽均分導出若干個軟管出來，插入上磨盤中，流入上磨盤和下磨盤之間，由于磨盤研磨面均勻分布著溝槽，這樣研磨液就可均布在磨盤之間，而后通過溝槽外流到圓桶中，最后從圓桶的出口流出，圓桶底部設計成30度斜面防沉積，同時在齒圈托架下端安裝有刮刷片，當機器運轉時齒圈托架就帶著刮刷片轉動，刮刷片圓桶底部的游離磨料防沉淀。同時磨盤托架與齒圈托架均采用特氟龍表面噴涂，特氟龍涂裝后，具有以下特性:1、不粘性。2、耐熱性:特氟龍涂膜具有優(yōu)良的耐熱和耐低溫特性。短時間可耐高溫到300°C，一般在240°C?260°C之間可連續(xù)使用，具有顯著的熱穩(wěn)定性，它可以在冷凍溫度下工作而不脆化，在高溫下不融化。3、滑動性:特氟龍涂膜有較低的摩擦系數。負載滑動時摩擦系數產生變化，但數值僅在0.05-0.15之間。4、抗?jié)裥?特氟龍涂膜表面不沾水和油質，生產操作時也不易沾溶液，如粘有少量污垢，簡單擦拭即可清除。停機時間短，節(jié)省工時并能提高工作效率。5、耐磨損性:具備耐磨損和不粘附的雙重優(yōu)點。6、耐腐蝕性:特氟龍幾乎不受藥品侵蝕，可以保護零件免于遭受任何種類的化學腐蝕。因此表面特氟龍噴涂后即能防研磨液沉積，又能防研磨液對零件的磨損，還可防表面腐蝕后帶來的零件老化和銹潰污染等。
[0018]以上所述僅為本實用新型的優(yōu)選實施例而已，并不用于限制本實用新型，對于本領域的技術人員來說，本實用新型可以有各種更改和變化。凡在本實用新型的精神和原則之內，所作的任何修改、等同替換、改進等，均應包含在本實用新型的保護范圍之內。
【權利要求】
1.一種用于雙面研磨機的防沉淀裝置，其特征在于，包括: 機主體，所述機主體上部設有儲液槽(I)，所述機主體中部設有防沉淀裝置； 所述防沉淀裝置包括圓桶(4)，齒圈托架(5)設置在所述圓桶(4)內部，所述齒圈托架(5)內上部設有磨盤托架(6)，所述磨盤托架(6)上部安裝有磨盤，所述齒圈托架(5)下端安裝有刮刷片(8)，所述儲液槽(I)通過軟管(7)與所述磨盤連通； 所述磨盤包括上磨盤(2)與下磨盤(3)，所述上磨盤(2)與所述下磨盤(3)壓合處設有過油槽，所述圓桶(4)底部設有出口。
2.根據權利要求1所述的用于雙面研磨機的防沉淀裝置，其特征在于:所述圓桶(4)底部設有防堆積的斜面。
3.根據權利要求1所述的用于雙面研磨機的防沉淀裝置，其特征在于:所述齒圈托架(5)與所述磨盤托架(6)表面均噴涂有特氟龍涂層。
【文檔編號】B24B57/00GK204053755SQ201420485616
【公開日】2014年12月31日 申請日期:2014年8月26日 優(yōu)先權日:2014年8月26日
【發(fā)明者】陳志嵩, 朱海劍, 楊華華, 殷華林, 李海寧, 戴安娜, 伊蓮娟, 毛可勇 申請人:常州貝斯塔德機械股份有限公司