真空鍍膜機(jī)電弧陰極翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本實用新型屬于一種真空鍍膜機(jī)電弧陰極翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，包括在電弧陰極體固定板（11）中心裝有輔助陽極（13），其特征在于在密封壓板（9）的下邊固定兩個翻轉(zhuǎn)套（20），在翻轉(zhuǎn)套（20）和換向塊（21）上固定有翻轉(zhuǎn)銷（19）；換向塊（21）中的直線軸承（5）內(nèi)活動地裝有滑桿（3），滑桿（3）右端穿過電弧陰極體固定板（11），并用壓緊螺母（17）與電弧陰極體固定板（11）固定連接；滑桿（3）左端用連接螺釘（1）固定一個擋塊（2）；直線軸承（5）的左端裝有孔用擋圈（4）。該實用新型在更換和維修靶材時，單人就可輕松地快捷地操作，不會對密封件造成磨損，對靶材和輔陽的間隙沒有影響。
【專利說明】真空鍍膜機(jī)電弧陰極翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型屬于真空鍍膜設(shè)備，特別涉及一種真空鍍膜機(jī)電弧陰極翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]真空鍍膜機(jī)的電弧陰極靶材在使用過程中，需要更換和維修，在更換靶材和維修時，要同陰極體一起從真空室內(nèi)拽出，操作比較繁重。拖拽中易對密封件造成磨損，且對靶材與輔陽的間隙有影響。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的在于克服上述技術(shù)不足，提供一種采用雙滑桿機(jī)構(gòu)，使電弧陰極整體滑出，并能旋轉(zhuǎn)90度，單人就可方便、快捷的操作，對密封件不會造成磨損的真空鍍膜機(jī)電弧陰極翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)。
[0004]本實用新型解決技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:一種真空鍍膜機(jī)電弧陰極翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，包括在電弧陰極體固定板中心裝有輔助陽極，在輔助陽極的中心孔中裝有靶材，電弧陰極體固定板與密封壓板之間用彈簧壓緊手柄連接在一起，在密封壓板的中心裝有電弧陰極體，其特征在于在密封壓板的下邊用螺釘固定兩個翻轉(zhuǎn)套，在翻轉(zhuǎn)套和換向塊上用定位螺釘固定有翻轉(zhuǎn)銷；換向塊中裝有直線軸承，直線軸承內(nèi)活動地裝有滑桿，滑桿右端穿過電弧陰極體固定板，并用墊圈、彈簧墊圈和壓緊螺母與電弧陰極體固定板固定連接；滑桿左端用連接螺釘固定一個擋塊；直線軸承的左端裝有孔用擋圈。在換向塊上設(shè)有弧形凹槽。
[0005]本實用新型的有益效果是:該實用新型在更換和維修靶材時，單人就可輕松地、快捷地操作，不會對密封件造成磨損，對靶材和輔陽的間隙沒有影響。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0006]以下結(jié)合附圖，以實施例具體說明。
[0007]圖1是真空鍍膜機(jī)電弧陰極翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的主視圖；
[0008]圖2是圖1的左側(cè)視圖；
[0009]圖3是圖2的I處局部放大圖。
[0010]圖中:1_連接螺釘；2-擋塊；3-滑桿；4_孔用擋圈；5_直線軸承；6_陰極接線柱；7-接線螺母；8_電弧陰極體；9_密封壓板；10_彈簧壓緊手柄；11_電弧陰極體固定板；12-0型密封圈；13_輔助陽極；14_祀材；15_墊圈；16_彈簧墊圈；17_壓緊螺母；18_定位螺釘；19_翻轉(zhuǎn)銷；20_翻轉(zhuǎn)套；21_換向塊；22_盤頭螺釘；23_把手；24_弧形凹槽。
【具體實施方式】
[0011 ] 實施例，參照附圖，一種真空鍍膜機(jī)電弧陰極翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，包括在電弧陰極體固定板11中心裝有輔助陽極13，在輔助陽極13的中心孔中裝有靶材14，電弧陰極體固定板11與密封壓板9之間用彈簧壓緊手柄10連接在一起，在密封壓板9的中心裝有電弧陰極體8，其特征在于在密封壓板9的下邊用盤頭螺釘22固定兩個翻轉(zhuǎn)套20，在翻轉(zhuǎn)套20和換向塊21上用定位螺釘18固定有翻轉(zhuǎn)銷19 ;換向塊21中裝有直線軸承5，直線軸承5內(nèi)活動地裝有滑桿3，滑桿3右端穿過電弧陰極體固定板11，并用墊圈15、彈簧墊圈16和壓緊螺母17與電弧陰極體固定板11固定連接；滑桿3左端用連接螺釘I固定一個擋塊2 ;直線軸承5的左端裝有孔用擋圈4。在換向塊21上設(shè)有弧形凹槽24。在電弧陰極體固定板11與密封壓板9之間裝有O型密封圈12。在密封壓板9上裝有換向塊21和把手23。在電弧陰極體8上固定有陰極接線柱6，在陰極接線柱6上裝有接線螺母7。
[0012]具體操作過程:手動拉起彈簧壓緊手柄10，彈簧壓緊手柄10的定位直口脫離密封壓板9定位槽后旋轉(zhuǎn)90°。手握把手23向前用力，由于兩個換向塊21中裝有直線軸承5，電弧陰極體8可在滑桿3上輕松、平穩(wěn)滑動。當(dāng)換向塊21接觸到擋塊2時，滑動停止。此時電弧陰極體8已經(jīng)處于真空室外。手握把手23向下用力，翻轉(zhuǎn)套20帶動電弧陰極體8以翻轉(zhuǎn)銷19為中心旋轉(zhuǎn)90°，使靶材14靶面處于水平位置，方便更換靶材14。同時電弧陰極體8處于外部較大空間內(nèi)，便于對其電弧陰極體8進(jìn)行維修、維護(hù)。操作方便省力，效率高。
【權(quán)利要求】
1.一種真空鍍膜機(jī)電弧陰極翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，包括在電弧陰極體固定板(11)中心裝有輔助陽極(13)，在輔助陽極(13)的中心孔中裝有靶材(14)，電弧陰極體固定板(11)與密封壓板(9)之間用彈簧壓緊手柄(10)連接在一起，在密封壓板(9)的中心裝有電弧陰極體(8)，其特征在于在密封壓板(9 )的下邊用盤頭螺釘(22 )固定兩個翻轉(zhuǎn)套(20 )，在翻轉(zhuǎn)套(20 )和換向塊(21)上用定位螺釘(18 )固定有翻轉(zhuǎn)銷(19 );換向塊(21)中裝有直線軸承(5 )，直線軸承(5)內(nèi)活動地裝有滑桿(3)，滑桿(3)右端穿過電弧陰極體固定板(11)，并用墊圈(15)、彈簧墊圈(16)和壓緊螺母(17)與電弧陰極體固定板(11)固定連接；滑桿(3)左端用連接螺釘(I)固定一個擋塊(2);直線軸承(5)的左端裝有孔用擋圈(4)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空鍍膜機(jī)電弧陰極翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，其特征在于在換向塊(21)上設(shè)有弧形凹槽(24)。
【文檔編號】C23C14/34GK203741406SQ201420118437
【公開日】2014年7月30日 申請日期:2014年3月17日 優(yōu)先權(quán)日:2014年3月17日
【發(fā)明者】侯玉萍, 王洪權(quán), 龔健 申請人:大連遠(yuǎn)東真空技術(shù)有限公司