一種制備金剛石涂層刀具的新方法
【專利摘要】本發(fā)明屬于材料涂層領(lǐng)域，具體提出了一種多層分步沉積高質(zhì)量金剛石涂層刀具的新方法，具體是：先在硬質(zhì)合金刀具表面通過(guò)電鍍法或者物理氣相沉積法鍍一層鉬，它會(huì)與基體表面的鈷結(jié)合形成穩(wěn)定的化合物，在基體表面形成一層過(guò)渡層，這樣既減少刀具表面鈷將來(lái)對(duì)金剛石涂層的影響，又防止了鈷從基體深處向刀具表面的擴(kuò)散；隨后利用微波等離子體CVD（MPCVD）法分兩步沉積一層金剛石涂層，即在金剛石形核和生長(zhǎng)兩個(gè)階段控制相應(yīng)的參數(shù)來(lái)形成一層具有高質(zhì)量和高穩(wěn)定性的納米金剛石薄膜。
【專利說(shuō)明】一種制備金剛石涂層刀具的新方法

【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于材料涂層領(lǐng)域，具體涉及一種多層分步沉積金剛石涂層刀具的新方法。

【背景技術(shù)】
[0002]隨著汽車、航空和航天工業(yè)的迅速發(fā)展，對(duì)材料的輕質(zhì)量化、高比強(qiáng)度的要求日益提高，有色金屬及合金、碳纖維增強(qiáng)塑料、玻璃纖維增強(qiáng)塑料、纖維增強(qiáng)金屬以及石墨、陶瓷等新材料在工業(yè)中得到越來(lái)越廣泛的應(yīng)用，普通的高速鋼和硬質(zhì)合金刀具在對(duì)這些材料進(jìn)行機(jī)械加工時(shí)，其缺陷就明顯暴露出來(lái)。金剛石具有許多優(yōu)異的性能，如超高硬度、高熱導(dǎo)率、高光學(xué)透過(guò)率和極好的電絕緣性，是目前已知材料中難以比擬的制造刀具的理想材料。由于天然金剛石資源極為有限，且價(jià)格昂貴，無(wú)法在工業(yè)中大規(guī)模的使用，因此在硬質(zhì)合金刀具表面進(jìn)行涂層的技術(shù)不斷發(fā)展，而各種金剛石涂層刀具以及涂層技術(shù)也層出不窮。
[0003]現(xiàn)在已被實(shí)際使用的涂層技術(shù)有很多種，包括CVD、PVD、PCVD、鹽浴浸鍍法等，它們?cè)谝欢ǖ某潭壬夏芴岣叩毒叩氖褂眯阅堋５?，這些方法普遍存在的問(wèn)題是:不能有效去除刀具表面的鈷，會(huì)導(dǎo)致金剛石形核困難，促進(jìn)石墨相的形成，嚴(yán)重影響涂層的結(jié)合力，涂層與基體附著力差，導(dǎo)致金剛石顆粒易脫落，涂層質(zhì)量不穩(wěn)定。目前制備金剛石涂層刀具方法已有專利中，如申請(qǐng)?zhí)枮?01010300247.7
【發(fā)明者】陳希章, 于杰 申請(qǐng)人:江蘇大學(xué)