一種有蠟拋光的拋光墊專用刷子的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種有蠟拋光的拋光墊專用刷子，包括圓盤(pán)狀的刷體，所述刷體的頂面帶有若干凸起或凹陷，所述刷體的底面分布有刷毛，所述刷毛呈環(huán)形分布，所述刷體的材質(zhì)為聚氯乙烯，所述刷毛的材質(zhì)為尼龍。本實(shí)用新型的有益效果是：由于采用上述技術(shù)方案，保持了拋光墊的潔凈，保持了拋光速率和拋光質(zhì)量，也提高了拋光墊的使用壽命。由此可見(jiàn)，本方案的使用提高了產(chǎn)品的合格率和生產(chǎn)效率，同時(shí)減低了能耗，節(jié)約了成本，提高了效益。
【專利說(shuō)明】一種有蠟拋光的拋光墊專用刷子
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種刷子，尤其是涉及一種有蠟拋光的拋光墊專用刷子。
【背景技術(shù)】
[0002]硅片進(jìn)行有蠟拋光后，需用用刷子對(duì)拋光墊進(jìn)行刷洗，以防止拋光液在拋光墊上長(zhǎng)時(shí)間滯留而形成結(jié)晶，而結(jié)晶會(huì)對(duì)硅片產(chǎn)生損傷，降低拋光質(zhì)量。另外，對(duì)拋光墊進(jìn)行刷洗有助于其表面結(jié)構(gòu)的回復(fù)，延長(zhǎng)了拋光墊的使用壽命，也保證了硅片拋光效果的一致性?，F(xiàn)有的刷子是設(shè)備自帶的一小型刷子，每次拋光完成后會(huì)自動(dòng)對(duì)拋光墊進(jìn)行刷洗，但其不能徹底清除拋光墊表面空隙中殘余的拋光液和細(xì)微的結(jié)晶，不利于拋光墊表面結(jié)構(gòu)的回復(fù)。另外，由于自帶刷子尺寸較小，刷洗過(guò)程中使得拋光墊受力不均，這會(huì)對(duì)拋光墊的表面狀態(tài)產(chǎn)生一定影響。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0003]本實(shí)用新型的目的是提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、提高拋光質(zhì)量的有蠟拋光的拋光墊專用刷子。
[0004]本實(shí)用新型的技術(shù)方案是:一種有蠟拋光的拋光墊專用刷子，包括圓盤(pán)狀的刷體，所述刷體的頂面帶有若干凸起或凹陷，所述刷體的底面分布有刷毛，所述刷毛呈環(huán)形分布。
[0005]優(yōu)選地，所述刷體的材質(zhì)為聚氯乙烯，所述刷毛的材質(zhì)為尼龍。
[0006]優(yōu)選地，所述刷體的直徑為48cm,厚度為3cm,所述刷毛的長(zhǎng)度為1.5cm。
[0007]本實(shí)用新型具有的優(yōu)點(diǎn)和積極效果是:
[0008]由于采用上述技術(shù)方案，保持了拋光墊的潔凈，保持了拋光速率和拋光質(zhì)量，也提高了拋光墊的使用壽命。由此可見(jiàn)，本方案的使用提高了產(chǎn)品的合格率和生產(chǎn)效率，同時(shí)減低了能耗，節(jié)約了成本，提高了效益。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0009]圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0010]圖2是本實(shí)用新型的仰視圖；
[0011]圖3是本實(shí)用新型的俯視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0012]下面結(jié)合附圖及【具體實(shí)施方式】對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明。
[0013]如圖1至圖3所示，本實(shí)用新型包括圓盤(pán)狀的刷體1，所述刷體I的頂面帶有若干凹陷，所述刷體I的底面分布有刷毛2，所述刷毛2呈環(huán)形分布。
[0014]所述刷體I的材質(zhì)為聚氯乙烯，所述刷毛2的材質(zhì)為尼龍。
[0015]所述刷體I的直徑為48cm,厚度為3cm,所述刷毛2的長(zhǎng)度為1.5cm。
[0016]使用時(shí)，將本實(shí)用新型放置在待清潔的拋光墊上，將機(jī)械臂與本實(shí)用新型的頂面相連接(可以通過(guò)吸附的方式連接)，帶動(dòng)本實(shí)用新型以一定的運(yùn)動(dòng)軌跡運(yùn)動(dòng)，對(duì)旋轉(zhuǎn)的拋光墊進(jìn)行清洗。本實(shí)用新型對(duì)拋光墊上的拋光液和結(jié)晶清潔得更為徹底，而且有助于拋光墊表面絨孔結(jié)構(gòu)的回復(fù)，有助于延長(zhǎng)拋光墊的使用壽命和拋光質(zhì)量的提高。
[0017]實(shí)驗(yàn)一:選擇200片相同的6寸娃片進(jìn)行試驗(yàn)，晶向〈111〉，拉晶方式:FZ,摻雜兀素:P，厚度:630632 μ m。下表為使用本實(shí)用新型前后檢測(cè)項(xiàng)的數(shù)值。
【權(quán)利要求】
1.一種有蠟拋光的拋光墊專用刷子，其特征在于:包括圓盤(pán)狀的刷體(1)，所述刷體(I)的頂面帶有若干凸起或凹陷，所述刷體(I)的底面分布有刷毛(2)，所述刷毛(2)呈環(huán)形分布。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的有蠟拋光的拋光墊專用刷子，其特征在于:所述刷體(I)的材質(zhì)為聚氯乙烯，所述刷毛(2)的材質(zhì)為尼龍。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的有蠟拋光的拋光墊專用刷子，其特征在于:所述刷體(I)的直徑為48cm，厚度為3cm，所述刷毛(2)的長(zhǎng)度為1.5cm。
【文檔編號(hào)】B24D13/14GK203765483SQ201320803485
【公開(kāi)日】2014年8月13日 申請(qǐng)日期:2013年12月5日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月5日
【發(fā)明者】張宇, 王力, 石明, 曲濤, 李翔 申請(qǐng)人:天津中環(huán)領(lǐng)先材料技術(shù)有限公司