欧美在线观看视频网站,亚洲熟妇色自偷自拍另类,啪啪伊人网,中文字幕第13亚洲另类,中文成人久久久久影院免费观看 ,精品人妻人人做人人爽,亚洲a视频

用于真空磁控濺射設(shè)備的磁靴的制作方法

文檔序號:3302423閱讀:302來源:國知局
用于真空磁控濺射設(shè)備的磁靴的制作方法
【專利摘要】本實用新型涉及生產(chǎn)設(shè)備,尤其涉及用于觸控屏玻璃鍍膜作業(yè)時所用的真空磁控濺射設(shè)備。用于真空磁控濺射設(shè)備的磁靴,包括一導(dǎo)磁的基板和多個永磁體,永磁體均具有第一磁極和第二磁極。該基板的外形為一矩形,該多個永磁體沿該基板矩形的外周邊排列成一圈并固定吸附于該基板上,且該一圈排列的永磁體均是以第一磁極向外設(shè)置的,該多個永磁體沿該基板矩形的中軸排列成一列并固定吸附于該基板上,且該一列排列的永磁體均是以第二磁極向外設(shè)置的。本實用新型用于真空磁控濺射設(shè)備中,對觸控屏玻璃鍍膜作業(yè)時適用。
【專利說明】用于真空磁控濺射設(shè)備的磁靴
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及生產(chǎn)設(shè)備,尤其涉及用于觸控屏玻璃鍍膜作業(yè)時所用的真空磁控濺射設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]真空磁控濺射設(shè)備就是在一相對穩(wěn)定真空狀態(tài)下,通過陰陽極間產(chǎn)生輝光放電,極間氣體分子被離子化而產(chǎn)生帶電電荷,其中正離子受陰極之負電位加速運動而撞擊陰極上的靶材,將其原子等粒子濺出,此濺出之原子則沉積于陽極之基板上而形成薄膜,從而完成真空濺鍍作業(yè)。在觸控屏生產(chǎn)中,需要在玻璃上通過真空磁控濺射作業(yè)來形成一層ITO膜。
[0003]參閱圖1所述,是一種真空磁控濺射設(shè)備簡要模型,電子在交互電場與磁場EXB作用下將氣體電離后撞擊ITO靶材表面,使靶材原子或分子等濺射出來并在管面經(jīng)過吸附、凝結(jié)、表面擴散遷移、碰撞結(jié)合形成穩(wěn)定晶核,然后再通過吸附使晶核長大成小島,島長大后互相聯(lián)結(jié)聚結(jié),最后形成連續(xù)狀薄膜。其中產(chǎn)生磁場的部件是磁靴,一般安裝在設(shè)備的真空腔的背后。現(xiàn)有的磁靴有移動式磁靴和固定式磁靴,現(xiàn)有的移動式磁靴是通過螺桿移動軌道上的永磁體的位置,從而實現(xiàn)磁場分布可調(diào),優(yōu)點是可以提高靶材的利用率,但是缺點是因磁場分布不均勻而致使鍍膜不均勻;現(xiàn)有的固定式磁靴因永磁體的位置設(shè)計分布不合理而導(dǎo)致靶材的利用率低。
[0004]急需設(shè)計出一種用于真空磁控濺射設(shè)備的磁靴,使其既可以保證靶材的利用率高又可以保證鍍膜均勻。
實用新型內(nèi)容
[0005]因此,本實用新型的目的在于提出一種既可以保證靶材的利用率高又可以保證鍍膜均勻的用于真空磁控濺射設(shè)備的磁靴。
[0006]本實用新型采用如下技術(shù)方案實現(xiàn):
[0007]用于真空磁控濺射設(shè)備的磁靴,包括一導(dǎo)磁的基板和多個永磁體,永磁體均具有第一磁極和第二磁極。該基板的外形為一矩形,該多個永磁體沿該基板矩形的外周邊排列成一圈并固定吸附于該基板上,且該一圈排列的永磁體均是以第一磁極向外設(shè)置的,該多個永磁體沿該基板矩形的中軸排列成一列并固定吸附于該基板上,且該一列排列的永磁體均是以第二磁極向外設(shè)置的。
[0008]其中優(yōu)選的,該多個永磁體的兩側(cè)均通過“L”型固定片輔助固定。
[0009]更優(yōu)選的,“L”型固定片為導(dǎo)磁材料。
[0010]其中,第一磁極是N極、第二磁極是S極,或者第一磁極是S極、第二磁極是N極。
[0011]本實用新型的改進的磁靴用于真空磁控濺射設(shè)備中,采用固定式分布并通過對磁場分布的優(yōu)選,既可以保證靶材的利用率高又可以保證鍍膜均勻?!緦@綀D】

【附圖說明】
[0012]圖1是真空磁控濺射設(shè)備簡要模型示意圖。
[0013]圖2是本實用新型一實施例的磁靴的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0014]圖3是本實用新型一實施例的“L”型固定片的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0015]現(xiàn)結(jié)合附圖和【具體實施方式】對本實用新型進一步說明。
[0016]參閱圖2所示,該實施例的用于真空磁控濺射設(shè)備的磁靴,包括一導(dǎo)磁的基板I和多個永磁體2,永磁體2均具有第一磁極和第二磁極。該基板I的外形為一矩形,該多個永磁體2沿該基板I的矩形外周邊排列成一圈并固定吸附于該基板I上,且該一圈排列的永磁體2均是以第一磁極向外設(shè)置的,該多個永磁體2沿該基板I的矩形中軸排列成一列并固定吸附于該基板I上,且該一列排列的永磁體2均是以第二磁極向外設(shè)置的。其中,如圖2所示的,永磁體2的第一磁極是N極、第二磁極是S極?;蛘?,永磁體2也可以是第一磁極是S極、第二磁極是N極。
[0017]參閱圖3所示,優(yōu)選的,該多個永磁體2的兩側(cè)均通過“L”型固定片3輔助固定,通過黏膠等方式粘結(jié)在永磁體2的兩側(cè)。更優(yōu)選的,“L”型固定片3為導(dǎo)磁材料,則可以直接通過磁力粘結(jié),而不用黏膠進行粘結(jié)。
[0018]本實用新型的用于真空磁控濺射設(shè)備的磁靴采用永磁體固定式的結(jié)構(gòu),并對基板I上的永磁體2的排布進行優(yōu)化,從而優(yōu)化了該磁靴磁場的分布,從而使真空磁控濺射設(shè)備中靶材的利用率比原有的固定式磁靴的靶材利用率更高,同時又可以提高該真空磁控濺射設(shè)備鍍膜均勻性。
[0019]盡管結(jié)合優(yōu)選實施方案具體展示和介紹了本實用新型,但所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)該明白,在不脫離所附權(quán)利要求書所限定的本實用新型的精神和范圍內(nèi),在形式上和細節(jié)上可以對本實用新型做出各種變化,均為本實用新型的保護范圍。
【權(quán)利要求】
1.用于真空磁控濺射設(shè)備的磁靴,包括一導(dǎo)磁的基板和多個永磁體,永磁體均具有第一磁極和第二磁極,其特征在于:該基板的外形為一矩形,該多個永磁體沿該基板矩形的外周邊排列成一圈并固定吸附于該基板上,且該一圈排列的永磁體均是以第一磁極向外設(shè)置的,該多個永磁體沿該基板矩形的中軸排列成一列并固定吸附于該基板上,且該一列排列的永磁體均是以第二磁極向外設(shè)置的。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于真空磁控濺射設(shè)備的磁靴,其特征在于:該多個永磁體的兩側(cè)均通過“ L”型固定片輔助固定。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的用于真空磁控濺射設(shè)備的磁靴,其特征在于:“L”型固定片為導(dǎo)磁材料。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2或3所述的用于真空磁控濺射設(shè)備的磁靴,其特征在于:第一磁極是N極、第二磁極是S極,或者第一磁極是S極、第二磁極是N極。
【文檔編號】C23C14/35GK203462121SQ201320543767
【公開日】2014年3月5日 申請日期:2013年9月3日 優(yōu)先權(quán)日:2013年9月3日
【發(fā)明者】鐘賜春 申請人:廈門萬德宏光電科技有限公司
網(wǎng)友詢問留言 已有0條留言
  • 還沒有人留言評論。精彩留言會獲得點贊!
1
闽清县| 延庆县| 长泰县| 大港区| 富蕴县| 嘉义市| 酉阳| 游戏| 南通市| 深水埗区| 花垣县| 关岭| 徐州市| 桑植县| 东兰县| 贡觉县| 屯门区| 修文县| 临江市| 项城市| 绍兴市| 互助| 胶州市| 玛纳斯县| 攀枝花市| 上蔡县| 奇台县| 迭部县| 隆回县| 抚松县| 大方县| 军事| 西贡区| 吴堡县| 客服| 华阴市| 襄城县| 大埔区| 桐城市| 鄯善县| 桐庐县|