一種硅片裝夾裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種在硅片研磨中使用的硅片裝夾裝置，包括容放硅片的容置槽，容置槽的右端設(shè)置有夾緊裝置，其包括設(shè)置在容置槽內(nèi)能夠在容置槽內(nèi)來回移動的壓緊板，以及設(shè)置在容置槽上驅(qū)動壓緊板的驅(qū)動機(jī)構(gòu)，在容置槽的左端設(shè)置有輔助夾緊裝置，其包括能夠在容置槽內(nèi)來回移動的輔助壓緊板，以及固定設(shè)置在輔助壓緊板左端面、容置槽內(nèi)壁之間的彈性件，將硅片放置在容置槽中，驅(qū)動油缸的活塞桿推動壓緊板向前移動，對硅片進(jìn)行擠壓，而輔助夾緊裝置能夠?qū)杵M(jìn)行支撐，使夾緊的力度適合，不會因為壓緊板的力量過大而導(dǎo)致硅片的損壞，同時也不會影響研磨工作的進(jìn)行。本實用新型無需將硅片粘合在一起，從而保證了硅片的質(zhì)量，確保硅片表面的平整度。
【專利說明】—種硅片裝夾裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及硅片加工【技術(shù)領(lǐng)域】，具體涉及一種在硅片研磨中使用的硅片裝夾
>J-U裝直。
【背景技術(shù)】
[0002]在硅片加工過程中，需要將硅棒加工切割成硅片，硅片上會產(chǎn)生不規(guī)則的形狀，為了不影響后續(xù)工作的質(zhì)量，需要將硅片上的不規(guī)則邊切除；而現(xiàn)有不規(guī)則硅片的去除方法是:先將硅片用膠粘合在一起，再將不規(guī)則邊研磨掉，但是將硅片粘合在一起存在缺點:粘合在一起的硅片通過溶解或清洗的方法分開，硅片的破損率高，雖然在后序工作中通過清洗將膠液去除了，但是仍有殘留有化合物，從而影響硅片表面的平整度。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]針對上述技術(shù)問題，本實用新型提供一種硅片裝夾裝置，其無需將硅片粘合在一起，從而保證了硅片的質(zhì)量，確保硅片表面的平整度。
[0004]實現(xiàn)本實用新型的技術(shù)方案如下:
[0005]一種硅片裝夾裝置，包括容放硅片的容置槽，容置槽的右端設(shè)置有夾緊裝置，其包括設(shè)置在容置槽內(nèi)能夠在容置槽內(nèi)來回移動的壓緊板，以及設(shè)置在容置槽上驅(qū)動壓緊板的驅(qū)動機(jī)構(gòu)，在容置槽的左端設(shè)置有輔助夾緊裝置，其包括能夠在容置槽內(nèi)來回移動的輔助壓緊板，以及固定設(shè)置在輔助壓緊板左端面、容置槽內(nèi)壁之間的彈性件。
[0006]所述容 置槽的槽底開設(shè)有滑槽，壓緊板、輔助壓緊板的底端設(shè)置有與滑槽相配合的滑塊，壓緊板、輔助壓緊板上的滑塊能夠在滑槽中滑動，從而保證壓緊板、輔助壓緊板的運動精度。
[0007]所述容置槽的左端內(nèi)壁設(shè)置有固定板，所述固定板通過螺釘固定連接在容置槽上，彈性件固定設(shè)置在固定板與輔助壓緊板之間。
[0008]所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)為驅(qū)動油缸，驅(qū)動油缸固定設(shè)置在容置槽上，壓緊板固定連接在驅(qū)動油缸的活塞桿〗而部。
[0009]所述彈性件為彈簧或“Z”型彈片。
[0010]采用了上述方案，將硅片放置在容置槽中，驅(qū)動油缸的活塞桿推動壓緊板向前移動，對硅片進(jìn)行擠壓，而輔助夾緊裝置能夠?qū)杵M(jìn)行支撐，使夾緊的力度適合，不會因為壓緊板的力量過大而導(dǎo)致硅片的損壞，同時也不會影響研磨工作的進(jìn)行。本實用新型無需將硅片粘合在一起，從而保證了硅片的質(zhì)量，確保硅片表面的平整度。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0011]圖1為本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0012]圖中，I為容置槽，2為壓緊板，3為驅(qū)動油缸，4為輔助壓緊板，5為彈性件，6為滑槽，7為滑塊,8為固定板,9為螺釘?！揪唧w實施方式】
[0013]下面結(jié)合附圖和具體實施例對本實用新型進(jìn)一步說明。
[0014]參見圖1，一種硅片裝夾裝置，包括容放硅片的容置槽1，容置槽I的右端設(shè)置有夾緊裝置，其包括設(shè)置在容置槽內(nèi)能夠在容置槽內(nèi)來回移動的壓緊板2，以及設(shè)置在容置槽I上驅(qū)動壓緊板的驅(qū)動油缸3，驅(qū)動油缸3固定設(shè)置在容置槽I上，壓緊板2固定連接在驅(qū)動油缸3的活塞桿端部，在容置槽I的左端設(shè)置有輔助夾緊裝置，其包括能夠在容置槽內(nèi)來回移動的輔助壓緊板4，以及固定設(shè)置在輔助壓緊板4左端面、容置槽I內(nèi)壁之間的彈性件5，彈性件5為彈簧或“Z”型彈片；容置槽I的槽底開設(shè)有滑槽6，壓緊板2、輔助壓緊板4的底端設(shè)置有與滑槽相配合的滑塊7。容置槽I的左端內(nèi)壁設(shè)置有固定板8，固定板8通過螺釘9固定連接在容置槽上，彈性件5固定設(shè)置在固定板8與輔助壓緊板4之間。
【權(quán)利要求】
1.一種硅片裝夾裝置，包括容放硅片的容置槽，其特征在于:容置槽的右端設(shè)置有夾緊裝置，其包括設(shè)置在容置槽內(nèi)能夠在容置槽內(nèi)來回移動的壓緊板，以及設(shè)置在容置槽上驅(qū)動壓緊板的驅(qū)動機(jī)構(gòu)，在容置槽的左端設(shè)置有輔助夾緊裝置，其包括能夠在容置槽內(nèi)來回移動的輔助壓緊板，以及固定設(shè)置在輔助壓緊板左端面、容置槽內(nèi)壁之間的彈性件。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片裝夾裝置，其特征在于:所述容置槽的槽底開設(shè)有滑槽，壓緊板、輔助壓緊板的底端設(shè)置有與滑槽相配合的滑塊。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片裝夾裝置，其特征在于:所述容置槽的左端內(nèi)壁設(shè)置有固定板，所述固定板通過螺釘固定連接在容置槽上，彈性件固定設(shè)置在固定板與輔助壓緊板之間。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片裝夾裝置，其特征在于:所述驅(qū)動機(jī)構(gòu)為驅(qū)動油缸，驅(qū)動油缸固定設(shè)置在容置槽上，壓緊板固定連接在驅(qū)動油缸的活塞桿端部。
5.根據(jù)權(quán)利要求1-4中任一項所述的一種硅片裝夾裝置，其特征在于:所述彈性件為彈簧或“Z”型彈片。
【文檔編號】B24B41/06GK203426851SQ201320390130
【公開日】2014年2月12日 申請日期:2013年6月30日 優(yōu)先權(quán)日:2013年6月30日
【發(fā)明者】周建國, 夏利榮 申請人:常州市立威刀具有限公司