用于石英晶片磨邊機(jī)的夾具的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種用于石英晶片磨邊機(jī)的夾具，包括底座，底座上固定設(shè)置有導(dǎo)軌；導(dǎo)軌的兩端分別活動(dòng)連接有滑塊；每個(gè)滑塊的頂部固定設(shè)置有定位爪，兩個(gè)定位爪相對(duì)設(shè)置；兩個(gè)滑塊通過氣缸實(shí)現(xiàn)驅(qū)動(dòng)；兩個(gè)定位爪之間固定設(shè)置有吸臺(tái)；吸臺(tái)設(shè)置有負(fù)壓產(chǎn)生裝置；負(fù)壓產(chǎn)生裝置連接一負(fù)壓傳感器；負(fù)壓傳感器通過信號(hào)線連接氣缸；吸臺(tái)設(shè)置有一位置傳感器；位置傳感器連接負(fù)壓產(chǎn)生裝置。本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)石英晶片在全自動(dòng)高速磨邊機(jī)上的自動(dòng)定位裝夾功能。
【專利說明】用于石英晶片磨邊機(jī)的夾具
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種石英晶片的加工設(shè)備，具體涉及一種用于石英晶片磨邊機(jī)的夾具。
【背景技術(shù)】
[0002]全自動(dòng)高速磨邊機(jī)在工作過程中需要通過夾具將石英晶片夾持固定。由于磨邊機(jī)在工作過程中高速運(yùn)轉(zhuǎn)，要求其夾具能夠穩(wěn)定可靠地對(duì)晶片進(jìn)行定位操作。但是，現(xiàn)有的磨邊機(jī)的夾具的定位精度低，在對(duì)石英晶片進(jìn)行磨邊時(shí)，由于不能準(zhǔn)確定位，造成晶片的磨邊精度低，產(chǎn)品合格率隨之降低。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種用于石英晶片磨邊機(jī)的夾具，它可以提高夾具的定位精度。
[0004]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明用于石英晶片磨邊機(jī)的夾具的技術(shù)解決方案為:
包括底座，底座上固定設(shè)置有導(dǎo)軌；導(dǎo)軌的兩端分別活動(dòng)連接有滑塊；每個(gè)滑塊的頂部固定設(shè)置有定位爪，兩個(gè)定位爪相對(duì)設(shè)置；兩個(gè)滑塊通過氣缸實(shí)現(xiàn)驅(qū)動(dòng)；兩個(gè)定位爪之間固定設(shè)置有吸臺(tái)；吸臺(tái)設(shè)置有負(fù)壓產(chǎn)生裝置；負(fù)壓產(chǎn)生裝置連接一負(fù)壓傳感器；負(fù)壓傳感器通過信號(hào)線連接氣缸；吸臺(tái)設(shè)置有一位置傳感器；位置傳感器連接負(fù)壓產(chǎn)生裝置。
[0005]所述吸臺(tái)的上表面覆蓋有硫化氫化丁腈橡膠層。
[0006]通過機(jī)械手抓取石英晶片并將石英晶片放在所述吸臺(tái)上；吸臺(tái)的負(fù)壓產(chǎn)生裝置產(chǎn)生一負(fù)壓吸住吸臺(tái)上的石英晶片；負(fù)壓傳感器檢測(cè)到負(fù)壓信號(hào)后，向氣缸發(fā)送信號(hào)，氣缸帶動(dòng)滑塊沿導(dǎo)軌向吸臺(tái)方向移動(dòng)，在兩個(gè)定位爪的共同作用下推動(dòng)石英晶片移動(dòng)，將石英晶片推動(dòng)到工作位置；當(dāng)石英晶片移動(dòng)到位后，位置傳感器檢測(cè)到石英晶片的位置信號(hào)，向吸臺(tái)的負(fù)壓產(chǎn)生裝置發(fā)送信號(hào)，吸臺(tái)產(chǎn)生另一更大的負(fù)壓吸力，固定住吸臺(tái)上的石英晶片；負(fù)壓傳感器檢測(cè)到負(fù)壓信號(hào)后，向氣缸發(fā)送信號(hào)，氣缸反向移動(dòng)，兩個(gè)定位爪松開對(duì)石英晶片的夾持。
[0007]本發(fā)明可以達(dá)到的技術(shù)效果是:
本發(fā)明能夠達(dá)到0.05mm以內(nèi)的定位精度,實(shí)現(xiàn)石英晶片的自動(dòng)定位操作。
[0008]本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)石英晶片在全自動(dòng)高速磨邊機(jī)上的自動(dòng)定位裝夾功能。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0009]下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說明:
圖1是本發(fā)明用于石英晶片磨邊機(jī)的夾具的示意圖。
[0010]圖中附圖標(biāo)記說明:
I為定位爪，2為導(dǎo)軌，
3為吸臺(tái)，4為氣缸， 5為位置傳感器，6為負(fù)壓傳感器，
7為底座，8為進(jìn)氣臺(tái)，
9為滑塊。
【具體實(shí)施方式】
[0011]如圖1所示，本發(fā)明用于石英晶片磨邊機(jī)的夾具，包括底座7，底座7上固定設(shè)置有導(dǎo)軌2 ;導(dǎo)軌2的兩端活動(dòng)連接兩個(gè)滑塊9 ;每個(gè)滑塊9的頂部固定設(shè)置有定位爪1，兩個(gè)定位爪I相對(duì)設(shè)置；兩個(gè)滑塊9通過氣缸4實(shí)現(xiàn)驅(qū)動(dòng)；
導(dǎo)軌2的中部固定設(shè)置有進(jìn)氣臺(tái)8，進(jìn)氣臺(tái)8上固定設(shè)置有吸臺(tái)3 ;吸臺(tái)3位于兩個(gè)定位爪I之間；
吸臺(tái)3設(shè)置有負(fù)壓產(chǎn)生裝置；負(fù)壓產(chǎn)生裝置連接一負(fù)壓傳感器6 ;負(fù)壓傳感器6通過信號(hào)線連接氣缸4 ；
吸臺(tái)3設(shè)置有一位置傳感器5 ;位置傳感器5連接負(fù)壓產(chǎn)生裝置。
[0012]吸臺(tái)3的上表面覆蓋有一層硫化氫化丁腈橡膠。
[0013]本發(fā)明的工作原理如下:
通過機(jī)械手抓取石英晶片并將石英晶片放在吸臺(tái)3上；吸臺(tái)3的負(fù)壓產(chǎn)生裝置產(chǎn)生一負(fù)壓吸住吸臺(tái)3上的石英晶片，防止其滑動(dòng)或掉落；
吸臺(tái)3處的負(fù)壓傳感器6檢測(cè)到該負(fù)壓信號(hào)后，向氣缸4發(fā)送信號(hào)，氣缸4帶動(dòng)滑塊9沿導(dǎo)軌2向吸臺(tái)方向移動(dòng)，在兩個(gè)滑塊9上定位爪I的共同作用下推動(dòng)石英晶片移動(dòng)，將石英晶片推動(dòng)到工作位置；
當(dāng)石英晶片移動(dòng)到位后，位置傳感器5檢測(cè)到石英晶片的位置信號(hào)，向吸臺(tái)3的負(fù)壓產(chǎn)生裝置發(fā)送信號(hào)，吸臺(tái)3產(chǎn)生另一更大的負(fù)壓吸力，固定住吸臺(tái)3上的石英晶片；吸臺(tái)3處的負(fù)壓傳感器6檢測(cè)到該負(fù)壓信號(hào)后，向氣缸4發(fā)送信號(hào),氣缸4反向移動(dòng),兩個(gè)滑塊9上的定位爪I松開對(duì)石英晶片的夾持，此時(shí)可以對(duì)石英晶片進(jìn)行磨邊加工。
[0014]本發(fā)明適用于高速磨邊機(jī)以固定石英晶片。
【權(quán)利要求】
1.一種用于石英晶片磨邊機(jī)的夾具，其特征在于:包括底座，底座上固定設(shè)置有導(dǎo)軌；導(dǎo)軌的兩端分別活動(dòng)連接有滑塊；每個(gè)滑塊的頂部固定設(shè)置有定位爪，兩個(gè)定位爪相對(duì)設(shè)置；兩個(gè)滑塊通過氣缸實(shí)現(xiàn)驅(qū)動(dòng)； 兩個(gè)定位爪之間固定設(shè)置有吸臺(tái)； 吸臺(tái)設(shè)置有負(fù)壓產(chǎn)生裝置；負(fù)壓產(chǎn)生裝置連接一負(fù)壓傳感器；負(fù)壓傳感器通過信號(hào)線連接氣缸； 吸臺(tái)設(shè)置有一位置傳感器；位置傳感器連接負(fù)壓產(chǎn)生裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于石英晶片磨邊機(jī)的夾具，其特征在于:所述吸臺(tái)的上表面覆蓋有硫化氫化丁腈橡膠層。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于石英晶片磨邊機(jī)的夾具，其特征在于:通過機(jī)械手抓取石英晶片并將石英晶片放在所述吸臺(tái)上；吸臺(tái)的負(fù)壓產(chǎn)生裝置產(chǎn)生一負(fù)壓吸住吸臺(tái)上的石英晶片; 負(fù)壓傳感器檢測(cè)到負(fù)壓信號(hào)后，向氣缸發(fā)送信號(hào)，氣缸帶動(dòng)滑塊沿導(dǎo)軌向吸臺(tái)方向移動(dòng)，在兩個(gè)定位爪的共同作用下推動(dòng)石英晶片移動(dòng)，將石英晶片推動(dòng)到工作位置； 當(dāng)石英晶片移動(dòng)到位后，位置傳感器檢測(cè)到石英晶片的位置信號(hào)，向吸臺(tái)的負(fù)壓產(chǎn)生裝置發(fā)送信號(hào)，吸臺(tái)產(chǎn)生另一更大的負(fù)壓吸力，固定住吸臺(tái)上的石英晶片；負(fù)壓傳感器檢測(cè)到負(fù)壓信號(hào)后，向氣缸發(fā)送信號(hào)，氣缸反向移動(dòng)，兩個(gè)定位爪松開對(duì)石英晶片的夾持。
【文檔編號(hào)】B24B41/06GK103506911SQ201310485956
【公開日】2014年1月15日 申請(qǐng)日期:2013年10月17日 優(yōu)先權(quán)日:2013年10月17日
【發(fā)明者】王維銳, 李廣平, 范建偉, 鄢光明, 汪盈 申請(qǐng)人:浙江大學(xué)臺(tái)州研究院