技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體裝置的制造方法、基板處理方法、基板處理裝置、氣化系統(tǒng)和噴霧過濾器，本發(fā)明的目的在于，抑制在使用液體原料時所產(chǎn)生的微粒的量。本發(fā)明的目的是這樣實現(xiàn)的：將基板(200)搬入處理室(201)，使液體原料依次流過氣化器(271a)、組合多個在不同的位置具有孔(322、332)的至少2種板(320、330)而構(gòu)成的噴霧過濾器(300)，使其氣化，供給至處理室中對基板進行處理，之后從處理室搬出基板。

技術(shù)研發(fā)人員：高木康祐;竹林雄二
受保護的技術(shù)使用者：株式會社日立國際電氣
文檔號碼：201310109472
技術(shù)研發(fā)日：2013.03.27
技術(shù)公布日：2016.12.28