專利名稱：真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及真空鍍膜領(lǐng)域，特別涉及一種真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)。
背景技術(shù)：
工件的使用壽命主要取決于耐磨性和硬度，而真空鍍膜工藝是提高工件的耐磨性和硬度的常用方式。在真空鍍膜過(guò)程中，真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)發(fā)揮著重要的作用。現(xiàn)有的真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)通常包括電機(jī)、傳動(dòng)基座、真空室和載物臺(tái)，電機(jī)通過(guò)傳動(dòng)帶驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)基座中的驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)，驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸帶動(dòng)載物臺(tái)旋轉(zhuǎn)?，F(xiàn)有的真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)存在以下問(wèn)題:第一、載物臺(tái)的厚度較大，由于載物臺(tái)包括轉(zhuǎn)盤和行星齒輪，轉(zhuǎn)盤和行星齒輪中的太陽(yáng)輪通過(guò)軸承相樞接，而現(xiàn)有的軸承的尺寸一般較大，因此載物臺(tái)的厚度無(wú)法進(jìn)一步縮小；第二、容易高溫變形，由于載物臺(tái)還包括軸承套和自轉(zhuǎn)軸，自轉(zhuǎn)軸與軸承套直接相樞接，工作時(shí)容易因高溫而變形，造成自轉(zhuǎn)軸和行星齒輪的行星輪卡死；第三、傳動(dòng)基座和載物臺(tái)難以拆卸并分離，由于傳動(dòng)基座和載物臺(tái)需要通過(guò)螺栓鎖死以保持持續(xù)通電。因此在分離載物臺(tái)和傳動(dòng)基座時(shí)，需要事先擰卸下該螺栓，使用過(guò)程十分不便；第四、載物臺(tái)的裝卸不便，裝卸時(shí)，需要將自轉(zhuǎn)軸準(zhǔn)確旋轉(zhuǎn)至固定位置，然后將載物臺(tái)裝配上或卸載下，存在準(zhǔn)確定位上的難題。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中的真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)存在載物臺(tái)的厚度較大的缺陷，提供一種真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)，其載物臺(tái)具有厚度薄的優(yōu)點(diǎn)。本實(shí)用新型是通過(guò)下述技術(shù)方案來(lái)解決上述技術(shù)問(wèn)題的:一種真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)，其包括一載物臺(tái)，其特點(diǎn)在于，該載物臺(tái)包括一轉(zhuǎn)盤和一行星齒輪，該轉(zhuǎn)盤和該行星齒輪中的太陽(yáng)輪通過(guò)滾珠相樞接。較佳的，該載物臺(tái)還包括多個(gè)軸承套，每一軸承套通過(guò)滾珠與一自轉(zhuǎn)軸相樞接。較佳的,該載物臺(tái)還包括一中心轉(zhuǎn)軸,該真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)還包括一具有驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸的傳動(dòng)基座，該驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸通過(guò)一金屬?gòu)椘c該中心轉(zhuǎn)軸電連接。較佳的,該傳動(dòng)基座還包括一基座套,該驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸與該基座套相樞接,該驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸上設(shè)置有一檢測(cè)板，該基座套上設(shè)置有一檢測(cè)開(kāi)關(guān)，該檢測(cè)開(kāi)關(guān)和該檢測(cè)板用于檢測(cè)該驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸相對(duì)于該基座套的轉(zhuǎn)動(dòng)圈數(shù)。較佳的，該中心轉(zhuǎn)軸和該行星齒輪中的太陽(yáng)輪通過(guò)一陶瓷軸承相樞接。較佳的，該真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)還包括一真空室，該真空室內(nèi)設(shè)置有兩個(gè)軌道，該載物臺(tái)上設(shè)置有兩列導(dǎo)輪，該些導(dǎo)輪用于沿著該些軌道滑滾運(yùn)動(dòng)。本實(shí)用新型的積極進(jìn)步效果在于:本實(shí)用新型提供了一種真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)。通過(guò)使用滾珠直接將該轉(zhuǎn)盤和該行星齒輪相樞接，該載物臺(tái)具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單和輕薄的優(yōu)點(diǎn)。
圖1為本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)的立體圖。圖2為本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)的剖視圖。圖3為本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)的局部剖視圖。圖4為本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)的局部示意圖。附圖標(biāo)記說(shuō)明:電機(jī):1傳動(dòng)帶:2傳動(dòng)基座:3 真空室:4載物臺(tái):5金屬?gòu)椘?6基座套:31 驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸:32檢測(cè)板:33 檢測(cè)開(kāi)關(guān):34軌道:41限位板:42中心轉(zhuǎn)軸:51 陶瓷軸承:52轉(zhuǎn)盤:53高溫鋼珠:54太陽(yáng)輪:55 行星輪:56自轉(zhuǎn)軸:57 軸承套:58高溫鋼珠:59 卡扣凸塊:320石墨環(huán):510 托板:511絕緣板:512 導(dǎo)輪:513卡扣槽51具體實(shí)施方式
下面舉個(gè)較佳實(shí)施例，并結(jié)合附圖來(lái)更清楚完整地說(shuō)明本實(shí)用新型。如圖1所示，本實(shí)施例的真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)包括電機(jī)1、傳動(dòng)基座3、真空室4和載物臺(tái)5。該傳動(dòng)基座3包括基座套31和驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸32，該驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸32與該基座套31相樞接。該載物臺(tái)5上設(shè)置有五個(gè)自轉(zhuǎn)軸57。工作時(shí)，電機(jī)I通過(guò)傳動(dòng)帶2驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)基座3中的驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸32旋轉(zhuǎn)，驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸32帶動(dòng)載物臺(tái)5中的自轉(zhuǎn)軸57旋轉(zhuǎn)。該些自轉(zhuǎn)軸57上均懸掛有預(yù)加工工件，真空室4密閉并包圍住載物臺(tái)5，真空室4內(nèi)具有正離子發(fā)射源，正離子發(fā)射源不斷的發(fā)射高溫正離子，由于預(yù)加工工件都帶有負(fù)電壓，正離子在電場(chǎng)力的作用下沉積于預(yù)加工工件的表面，實(shí)現(xiàn)真空鍍膜和提高工件的耐磨性和硬度的目的。如圖2-3所示，真空室4內(nèi)設(shè)置有兩個(gè)軌道41，該載物臺(tái)5上設(shè)置有兩列導(dǎo)輪513，該些導(dǎo)輪513用于沿著該些軌道41滑滾運(yùn)動(dòng)。如圖4所示，該驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸32上設(shè)置有一檢測(cè)板33，該基座套31上設(shè)置有一檢測(cè)開(kāi)關(guān)34，該檢測(cè)開(kāi)關(guān)34和該檢測(cè)板33用于檢測(cè)該驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸32相對(duì)于該基座套31的轉(zhuǎn)動(dòng)圈數(shù)。圖1-2未繪出檢測(cè)板33和檢測(cè)開(kāi)關(guān)34。安裝時(shí)，將檢測(cè)板33和檢測(cè)開(kāi)關(guān)34對(duì)準(zhǔn)(零位)，如圖3所示，將導(dǎo)輪513用于傾軋?jiān)谲壍?1上，推動(dòng)該載物臺(tái)5使得該些導(dǎo)輪513沿著該些軌道41滑滾即可實(shí)現(xiàn)安裝。卸載過(guò)程與安裝過(guò)程恰好相反，在此不再贅述。對(duì)準(zhǔn)零位的目的一方面是使得驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸32頂端的兩個(gè)卡扣凸塊320在安裝時(shí)能夠順利地陷入中心轉(zhuǎn)軸51的卡扣槽514內(nèi)，另一方面是使得驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸32頂端的兩個(gè)卡扣凸塊在卸載時(shí)能夠順利地從中心轉(zhuǎn)軸51的卡扣槽脫離。通過(guò)設(shè)置檢測(cè)板33和檢測(cè)開(kāi)關(guān)34，載物臺(tái)5在裝卸時(shí)很容易準(zhǔn)確定位，定位困難的技術(shù)問(wèn)題得到了較好的解決。如圖2-3所示，載物臺(tái)5包括轉(zhuǎn)盤53和行星齒輪，該轉(zhuǎn)盤53和該行星齒輪中的太陽(yáng)輪55通過(guò)高溫鋼珠54相樞接。現(xiàn)有技術(shù)中，轉(zhuǎn)盤和太陽(yáng)輪通過(guò)軸承相樞接。眾所周知，軸承一般由內(nèi)環(huán)套、鋼珠層和外環(huán)套組成。本實(shí)施例通過(guò)使用高溫鋼珠54直接將該轉(zhuǎn)盤53和太陽(yáng)輪55相樞接，即只利用軸承中的核心部件鋼珠，摒棄其內(nèi)環(huán)套和外環(huán)套，可以使得載物臺(tái)5結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單化和輕薄化。如圖2-3所示,該載物臺(tái)5還包括五個(gè)軸承套58,每一軸承套58通過(guò)高溫鋼珠59與一自轉(zhuǎn)軸57相樞接?，F(xiàn)有技術(shù)中，自轉(zhuǎn)軸與軸承套直接相樞接，工作時(shí)容易因高溫而變形，造成自轉(zhuǎn)軸和行星齒輪的行星輪卡死。通過(guò)在自轉(zhuǎn)軸57和軸承套58之間增加高溫鋼珠59，本實(shí)施例的真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)即使工作在600°C的情況下，自轉(zhuǎn)軸57依然能夠保持軸向位置不變，各個(gè)部件協(xié)調(diào)配合并順利旋轉(zhuǎn)。實(shí)際制作時(shí)，還可以使用普通的滾珠代替高溫鋼珠，例如，銅珠或普通鋼珠。如圖2-3所示，該驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸32通過(guò)一金屬?gòu)椘?與該中心轉(zhuǎn)軸51電連接?，F(xiàn)有技術(shù)中，由于傳動(dòng)基座和載物臺(tái)需要通過(guò)螺栓鎖死以保持持續(xù)通電。因此在分離載物臺(tái)和傳動(dòng)基座時(shí)，需要事先擰卸下該螺栓，使用過(guò)程十分不便。在本實(shí)施例的真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)中，該驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸32通過(guò)一金屬?gòu)椘?與該中心轉(zhuǎn)軸51電連接。金屬?gòu)椘谧陨韽椓Φ淖饔孟履軌驎r(shí)刻抵迫于該驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸32和該中心轉(zhuǎn)軸51之間，保持兩者的持續(xù)通電。在分離載物臺(tái) 和傳動(dòng)基座時(shí)，該金屬?gòu)椘幱谏鞆埶沙跔顟B(tài)，在安裝載物臺(tái)和傳動(dòng)基座時(shí)，該金屬?gòu)椘幱谑湛s壓迫狀態(tài)，因此具有保持持續(xù)通電和使用方便的優(yōu)點(diǎn)。如圖2-3所示，在本實(shí)施例的真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)中，自動(dòng)轉(zhuǎn)軸51和太陽(yáng)輪55通過(guò)一陶瓷軸承52相樞接。現(xiàn)有技術(shù)中，自動(dòng)轉(zhuǎn)軸51和太陽(yáng)輪55通過(guò)一金屬軸承52相樞接。真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)的停機(jī)溫度和工作溫度分別為20°C和550°C，溫差變化較為劇烈，陶瓷軸承與金屬軸承相比，具有更為優(yōu)越的抗溫差變形性能和耐磨性能，因此本實(shí)施例的真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)選擇陶瓷軸承。使用時(shí),如圖2-4所示，電機(jī)I通過(guò)傳動(dòng)帶2驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)基座3中的驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸32旋轉(zhuǎn)，驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸32帶動(dòng)中心轉(zhuǎn)軸51旋轉(zhuǎn)，基于應(yīng)用陶瓷軸承52，中心轉(zhuǎn)軸51的旋轉(zhuǎn)摩擦很小，中心轉(zhuǎn)軸51帶動(dòng)轉(zhuǎn)盤53轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)盤53將轉(zhuǎn)矩傳遞至自轉(zhuǎn)軸57，自轉(zhuǎn)軸57帶動(dòng)行星輪56繞著太陽(yáng)輪55旋轉(zhuǎn)，在旋轉(zhuǎn)的過(guò)程中，石墨環(huán)510中的石墨粉能夠潤(rùn)滑自轉(zhuǎn)軸57和軸承套58之間的罅隙。將電源的負(fù)極性端與金屬?gòu)椘?電連接，電場(chǎng)通過(guò)中心轉(zhuǎn)軸51和轉(zhuǎn)盤53傳遞至五個(gè)自轉(zhuǎn)軸57，使得該些自轉(zhuǎn)軸57上的預(yù)加工工件帶有負(fù)電壓，以便吸附真空室4內(nèi)的正離子。太陽(yáng)輪55通過(guò)絕緣板512固定于托板511上，因此太陽(yáng)輪55上的電壓不會(huì)傳導(dǎo)至太陽(yáng)輪55上。另外，真空室4內(nèi)還設(shè)置有限位板42，限位板42能夠?qū)?dǎo)輪513限位于軌道上滑滾運(yùn)動(dòng)。雖然以上描述了本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
，但是本領(lǐng)域的技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，這些僅是舉例說(shuō)明，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍是由所附權(quán)利要求書限定的。本領(lǐng)域的技術(shù)人員在不背離本實(shí)用新型的原理和實(shí)質(zhì)的前提下，可以對(duì)這些實(shí)施方式做出多種變更或修改，但這些變更和 修改均落入本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.一種真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)，其包括一載物臺(tái)，其特征在于，該載物臺(tái)包括一轉(zhuǎn)盤和一行星齒輪，該轉(zhuǎn)盤和該行星齒輪中的太陽(yáng)輪通過(guò)滾珠相樞接。
2.如權(quán)利要求1所述的真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)，其特征在于，該載物臺(tái)還包括多個(gè)軸承套，每一軸承套通過(guò)滾珠與一自轉(zhuǎn)軸相樞接。
3.如權(quán)利要求2所述的真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái),其特征在于,該載物臺(tái)還包括一中心轉(zhuǎn)軸，該真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)還包括一具有驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸的傳動(dòng)基座，該驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸通過(guò)一金屬?gòu)椘c該中心轉(zhuǎn)軸電連接。
4.如權(quán)利要求3所述的真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)，其特征在于，該傳動(dòng)基座還包括一基座套，該驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸與該基座套相樞接，該驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸上設(shè)置有一檢測(cè)板，該基座套上設(shè)置有一檢測(cè)開(kāi)關(guān)，該檢測(cè)開(kāi)關(guān)和該檢測(cè)板用于檢測(cè)該驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)軸相對(duì)于該基座套的轉(zhuǎn)動(dòng)圈數(shù)。
5.如權(quán)利要求3所述的真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)，其特征在于，該中心轉(zhuǎn)軸和該行星齒輪中的太陽(yáng)輪通過(guò)一陶瓷軸承相樞接。
6.如權(quán)利要求1-5中任意一項(xiàng)所述的真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)，其特征在于，該真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)還包括一真 空室，該真空室內(nèi)設(shè)置有兩個(gè)軌道，該載物臺(tái)上設(shè)置有兩列導(dǎo)輪，該些導(dǎo)輪用于沿著該些軌道滑滾運(yùn)動(dòng)。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種真空鍍膜工件轉(zhuǎn)臺(tái)，其包括一載物臺(tái)，該載物臺(tái)包括一轉(zhuǎn)盤和一行星齒輪，該轉(zhuǎn)盤和該行星齒輪中的太陽(yáng)輪通過(guò)滾珠相樞接。本實(shí)用新型通過(guò)使用滾珠直接將該轉(zhuǎn)盤和該行星齒輪相樞接，該載物臺(tái)具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單和輕薄的優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)C23C14/50GK203080059SQ201220624729
公開(kāi)日2013年7月24日 申請(qǐng)日期2012年11月22日 優(yōu)先權(quán)日2012年11月22日
發(fā)明者王叔暉, 劉竹楊 申請(qǐng)人:上海法德機(jī)械設(shè)備有限公司