專利名稱：連續(xù)式車燈玻璃鍍膜裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及車燈玻璃鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種連續(xù)式車燈玻璃鍍膜裝置。
背景技術(shù)：
目前常用于車燈玻璃鍍膜的裝置一般為單真空室設(shè)備，通過在真空室內(nèi)設(shè)置靶材，靶材設(shè)于真空室中部，靶材周圍分布多個(gè)エ件并同時(shí)進(jìn)行鍍膜，エ件的整個(gè)鍍膜エ藝均在該真空室內(nèi)完成。該設(shè)備在實(shí)際生產(chǎn)應(yīng)用中存在以下缺陷(I)由于エ件的整個(gè)鍍膜エ藝均在同一真空室內(nèi)完成，使得該真空室結(jié)構(gòu)復(fù)雜，設(shè)備維護(hù)成本相當(dāng)高；(2)該設(shè)備只設(shè)有ー個(gè)真空室，當(dāng)エ件加工完成后，必須打開真空室才能更換エ件，這就容易整個(gè)鍍膜エ藝的真空氣氛，影響后續(xù)鍍膜エ藝的正常進(jìn)行，也容易影響產(chǎn)品質(zhì)量；同時(shí)，該真空室內(nèi)無法完成エ件表面的清潔即沉積等エ藝，對(duì)エ件的表面處理工藝必須采用其它專用設(shè)備完成，這就加大了エ藝的復(fù)雜性，エ件的表面質(zhì)量也難以得到較好的控制。(3)傳統(tǒng)的單真空室設(shè)備中采用平面靶作為鍍膜靶材，由于平面靶使用時(shí)其原理是磁鐵固定不動(dòng)，靶材旋轉(zhuǎn)，所以在鍍膜時(shí)靶材周圍所產(chǎn)生的磁場(chǎng)固定不變，而作為エ件的車燈玻璃帶有弧形面，這就容易引起工件表面鍍膜不均為的現(xiàn)象。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種維護(hù)成本較低、真空度容易控制的連續(xù)式車燈玻璃鍍膜裝置。本實(shí)用新型的技術(shù)方案為一種連續(xù)式車燈玻璃鍍膜裝置，包括呈直連續(xù)式排列的多個(gè)真空室，任意相鄰的兩個(gè)真空室之間設(shè)有通孔，第一個(gè)真空室為進(jìn)片室，最后ー個(gè)真空室為出片室，進(jìn)片室和出片室之間設(shè)有鍍膜室；進(jìn)片室的進(jìn)片口處設(shè)有第一真空鎖，出片室的出片口處設(shè)有第二真空鎖。所述進(jìn)片室的進(jìn)片口外側(cè)設(shè)有進(jìn)片架，出片室的出片口外側(cè)設(shè)有出片架。所述多個(gè)真空室還包括前處理室、過渡室、緩沖室和后處理室，按照エ件的輸送方向，進(jìn)片室、前處理室、過渡室、鍍膜室、緩沖室、后處理室和出片室依次設(shè)置。所述進(jìn)片室與前處理室之間的通孔處設(shè)有第三真空鎖，前處理室與過渡室之間的通孔處設(shè)有第四真空鎖，緩沖室與后處理室之間的通孔處設(shè)有第五真空鎖，后處理室與出片室之間的通孔處設(shè)有第六真空鎖。所述第一真空鎖、第二真空鎖、第三真空鎖、第四真空鎖、第五真空鎖和第六真空鎖的結(jié)構(gòu)相同。所述鍍膜室內(nèi)設(shè)有多個(gè)圓柱靶，多個(gè)圓柱靶并排設(shè)于鍍膜室內(nèi)的ー側(cè)邊上。所述圓柱靶為外轉(zhuǎn)內(nèi)擺型的磁控濺射靶，包括擺動(dòng)磁芯和轉(zhuǎn)動(dòng)靶材，擺動(dòng)磁芯和轉(zhuǎn)動(dòng)靶材均為圓柱形結(jié)構(gòu)，擺動(dòng)磁芯設(shè)于轉(zhuǎn)動(dòng)靶材中部，轉(zhuǎn)動(dòng)靶材外周通過靶座與真空室殼體連接；轉(zhuǎn)動(dòng)靶材頂部設(shè)有靶材驅(qū)動(dòng)組件，擺動(dòng)磁芯頂部設(shè)有磁芯驅(qū)動(dòng)組件。其中，磁芯驅(qū)動(dòng)組件的結(jié)構(gòu)可為多種結(jié)構(gòu)形式，主要有(I)所述磁芯驅(qū)動(dòng)組件包括擺動(dòng)氣缸、擺動(dòng)齒條和擺動(dòng)齒輪，擺動(dòng)氣缸末端通過擺動(dòng)齒條與擺動(dòng)齒輪連接，擺動(dòng)齒輪設(shè)于擺動(dòng)磁芯的頂端。(2)所述磁芯驅(qū)動(dòng)組件包括擺動(dòng)電機(jī)、擺動(dòng)電機(jī)齒輪和擺動(dòng)齒輪，擺動(dòng)電機(jī)的輸出端通過擺動(dòng)電機(jī)齒輪與擺動(dòng)齒輪連接，擺動(dòng)齒輪設(shè)于擺動(dòng)磁芯的頂端。所述靶材驅(qū)動(dòng)組件包括轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)、轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)齒輪和轉(zhuǎn)動(dòng)齒輪，轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)的輸出端通過轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)齒輪與轉(zhuǎn)動(dòng)齒輪連接，轉(zhuǎn)動(dòng)齒輪設(shè)于轉(zhuǎn)動(dòng)靶材的頂端。本連續(xù)式車燈玻璃鍍膜裝置使用時(shí)，其エ藝原理是進(jìn)片架將エ件從進(jìn)片室的進(jìn) 片口送入進(jìn)片室，進(jìn)片室是低真空室，作為大氣到真空的過渡；接著工件被送入前處理室進(jìn)行表面清潔處理，然后經(jīng)過過渡室后送入鍍膜室進(jìn)行鍍膜；鍍膜完成后，エ件經(jīng)過緩沖室后送入后處理室進(jìn)行表面沉積處理，使エ件表面膜層更為結(jié)實(shí)，最后送入出片室，在出片室的出片口處由出片架將其取出。其中過渡室和緩沖室分別作為鍍膜室前后的過渡室，對(duì)エ件的前后加工其緩沖作用。本實(shí)用新型相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)，具有以下有益效果本連續(xù)式車燈玻璃鍍膜裝置呈直連續(xù)式，可根據(jù)エ藝的實(shí)際需要増加或減少真空室個(gè)數(shù)，使用方便，エ件在加工過程中呈直線狀輸送，且エ件進(jìn)片和出片時(shí)均不需要打開真空室，可較好地保持裝置內(nèi)的真空氣氛，避免因真空氣氛被破壞所引起的產(chǎn)品質(zhì)量問題。另夕卜，可在エ件鍍膜前增設(shè)離子轟擊處理，從而提高工件表面的清潔度，提高產(chǎn)品質(zhì)量，在エ件鍍膜后增設(shè)離子轟擊處理，可使エ件表面的膜層更為結(jié)實(shí)，不易被氧化。本連續(xù)式車燈玻璃鍍膜裝置采用多個(gè)真空室直線排列設(shè)置，并且在多處相鄰真空室的通孔處設(shè)置真空鎖，該真空鎖采用傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)形式的真空鎖即可，當(dāng)需要進(jìn)行設(shè)備維護(hù)時(shí)，只要將相應(yīng)的真空鎖鎖上，即可針對(duì)當(dāng)真空室進(jìn)行單獨(dú)維護(hù)，其維護(hù)成本低，操作也簡(jiǎn)單。本連續(xù)式車燈玻璃鍍膜裝置的鍍膜室中采用圓柱靶作為鍍膜靶材，可實(shí)現(xiàn)エ件表面均勻鍍膜，提高產(chǎn)品質(zhì)量。

圖I為本連續(xù)式車燈鍍膜裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2為圖I的A向視圖。圖3為實(shí)施例I中單個(gè)圓柱靶的結(jié)構(gòu)示意圖。圖4為實(shí)施例2中單個(gè)圓柱靶的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合實(shí)施例及附圖，對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)ー步的詳細(xì)說明，但本實(shí)用新型的實(shí)施方式不限于此。實(shí)施例I本實(shí)施例一種連續(xù)式車燈玻璃鍍膜裝置，其結(jié)構(gòu)如圖I或圖2所示，包括呈直連續(xù)式排列的多個(gè)真空室，任意相鄰的兩個(gè)真空室之間設(shè)有通孔，第一個(gè)真空室為進(jìn)片室1，最后ー個(gè)真空室為出片室7，進(jìn)片室I和出片室7之間設(shè)有鍍膜室4 ;進(jìn)片室的進(jìn)片口處設(shè)有第一真空鎖10，出片室的出片口處設(shè)有第二真空鎖15。進(jìn)片室I的進(jìn)片口外側(cè)設(shè)有進(jìn)片架8，出片室7的出片口外側(cè)設(shè)有出片架9。多個(gè)真空室還包括前處理室2、過渡室3、緩沖室5和后處理室6，按照エ件的輸送方向，進(jìn)片室I、前處理室2、過渡室3、鍍膜室4、緩沖室5、后處理室6和出片室7依次設(shè)置。 進(jìn)片室I與前處理室2之間的通孔處設(shè)有第三真空鎖11，前處理室2與過渡室3之間的通孔處設(shè)有第四真空鎖12，緩沖室5與后處理室6之間的通孔處設(shè)有第五真空鎖13，后處理室6與出片室7之間的通孔處設(shè)有第六真空鎖14。第一真空鎖10、第二真空鎖15、第三真空鎖11、第四真空鎖12、第五真空鎖13和第六真空鎖14的結(jié)構(gòu)相同。各真空鎖均采用傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)形式的真空鎖即可。鍍膜室內(nèi)設(shè)有多個(gè)圓柱靶16，多個(gè)圓柱靶并排設(shè)于鍍膜室內(nèi)的ー側(cè)邊上。本實(shí)施例中圓柱靶的個(gè)數(shù)為4個(gè)，各圓柱靶上帶有單獨(dú)的驅(qū)動(dòng)電機(jī)。單個(gè)圓柱靶的具體結(jié)構(gòu)如圖3所示，為外轉(zhuǎn)內(nèi)擺型的磁控濺射靶，包括擺動(dòng)磁芯17和轉(zhuǎn)動(dòng)靶材18，擺動(dòng)磁芯和轉(zhuǎn)動(dòng)靶材均為圓柱形結(jié)構(gòu)，擺動(dòng)磁芯設(shè)于轉(zhuǎn)動(dòng)靶材中部，轉(zhuǎn)動(dòng)靶材外周通過靶座19與真空室殼體20連接；轉(zhuǎn)動(dòng)靶材頂部設(shè)有靶材驅(qū)動(dòng)組件，擺動(dòng)磁芯頂部設(shè)有磁芯驅(qū)動(dòng)組件。磁芯驅(qū)動(dòng)組件包括擺動(dòng)氣缸21、擺動(dòng)齒條22和擺動(dòng)齒輪23，擺動(dòng)氣缸末端通過擺動(dòng)齒條與擺動(dòng)齒輪連接，擺動(dòng)齒輪23設(shè)于擺動(dòng)磁芯17的頂端。靶材驅(qū)動(dòng)組件包括轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)24、轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)齒輪25和轉(zhuǎn)動(dòng)齒輪26，轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)的輸出端通過轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)齒輪與轉(zhuǎn)動(dòng)齒輪連接，轉(zhuǎn)動(dòng)齒輪26設(shè)于轉(zhuǎn)動(dòng)靶材18的頂端。本連續(xù)式車燈玻璃鍍膜裝置使用時(shí)，其エ藝原理是進(jìn)片架8將エ件從進(jìn)片室的進(jìn)片口送入進(jìn)片室1，進(jìn)片室是低真空室，作為大氣到真空的過渡；接著工件被送入第一等離子轟擊處理室2進(jìn)行表面清潔處理，然后經(jīng)過過渡室3后送入鍍膜室4進(jìn)行鍍膜；鍍膜完成后，エ件經(jīng)過緩沖室5后送入后處理室6進(jìn)行表面沉積處理，使エ件表面膜層更為結(jié)實(shí)，最后送入出片室7，在出片室的出片口處由出片架9將其取出。其中過渡室和緩沖室分別作為鍍膜室前后的過渡室，對(duì)エ件的前后加工其緩沖作用。實(shí)施例2本實(shí)施例一種連續(xù)式車燈玻璃鍍膜裝置，與實(shí)施例I相比較，其不同之處在干，圓柱靶的磁芯驅(qū)動(dòng)組件結(jié)構(gòu)形式不同，圓柱靶的具體結(jié)構(gòu)如4所示，其中，磁芯驅(qū)動(dòng)組件包括擺動(dòng)電機(jī)27、擺動(dòng)電機(jī)齒輪28和擺動(dòng)齒輪29，擺動(dòng)電機(jī)的輸出端通過擺動(dòng)電機(jī)齒輪與擺動(dòng)齒輪連接，擺動(dòng)齒輪設(shè)于擺動(dòng)磁芯的頂端。如上所述，便可較好地實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型，上述實(shí)施例僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，并非用來限定本實(shí)用新型的實(shí)施范圍；即凡依本實(shí)用新型內(nèi)容所作的均等變化與修飾，都為本實(shí)用新型權(quán)利要求所要求保護(hù)的范圍所涵蓋。
權(quán)利要求1.連續(xù)式車燈玻璃鍍膜裝置，其特征在于，包括呈直連續(xù)式排列的多個(gè)真空室，任意相鄰的兩個(gè)真空室之間設(shè)有通孔，第一個(gè)真空室為進(jìn)片室，最后ー個(gè)真空室為出片室，進(jìn)片室和出片室之間設(shè)有鍍膜室；進(jìn)片室的進(jìn)片口處設(shè)有第一真空鎖，出片室的出片口處設(shè)有第ニ真空鎖。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的連續(xù)式車燈玻璃鍍膜裝置，其特征在于，所述進(jìn)片室的進(jìn)片口外側(cè)設(shè)有進(jìn)片架，出片室的出片口外側(cè)設(shè)有出片架。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的連續(xù)式車燈玻璃鍍膜裝置，其特征在于，所述多個(gè)真空室還包括前處理室、過渡室、緩沖室和后處理室，按照エ件的輸送方向，進(jìn)片室、前處理室、過渡室、鍍膜室、緩沖室、后處理室和出片室依次設(shè)置。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的連續(xù)式車燈玻璃鍍膜裝置，其特征在干，所述進(jìn)片室與前處理室之間的通孔處設(shè)有第三真空鎖，前處理室與過渡室之間的通孔處設(shè)有第四真空鎖，緩 沖室與后處理室之間的通孔處設(shè)有第五真空鎖，后處理室與出片室之間的通孔處設(shè)有第六真空鎖。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的連續(xù)式車燈玻璃鍍膜裝置，其特征在于，所述第一真空鎖、第ニ真空鎖、第三真空鎖、第四真空鎖、第五真空鎖和第六真空鎖的結(jié)構(gòu)相同。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的連續(xù)式車燈玻璃鍍膜裝置，其特征在于，所述鍍膜室內(nèi)設(shè)有多個(gè)圓柱靶，多個(gè)圓柱靶并排設(shè)于鍍膜室內(nèi)的ー側(cè)邊上。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的連續(xù)式車燈玻璃鍍膜裝置，其特征在于，所述圓柱靶為外轉(zhuǎn)內(nèi)擺型的磁控濺射靶，包括擺動(dòng)磁芯和轉(zhuǎn)動(dòng)靶材，擺動(dòng)磁芯和轉(zhuǎn)動(dòng)靶材均為圓柱形結(jié)構(gòu)，擺動(dòng)磁芯設(shè)于轉(zhuǎn)動(dòng)靶材中部，轉(zhuǎn)動(dòng)靶材外周通過靶座與真空室殼體連接；轉(zhuǎn)動(dòng)靶材頂部設(shè)有靶材驅(qū)動(dòng)組件，擺動(dòng)磁芯頂部設(shè)有磁芯驅(qū)動(dòng)組件。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的連續(xù)式車燈玻璃鍍膜裝置，其特征在于，所述磁芯驅(qū)動(dòng)組件包括擺動(dòng)氣缸、擺動(dòng)齒條和擺動(dòng)齒輪，擺動(dòng)氣缸末端通過擺動(dòng)齒條與擺動(dòng)齒輪連接，擺動(dòng)齒輪設(shè)于擺動(dòng)磁芯的頂端。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的連續(xù)式車燈玻璃鍍膜裝置，其特征在干，所述磁芯驅(qū)動(dòng)組件包括擺動(dòng)電機(jī)、擺動(dòng)電機(jī)齒輪和擺動(dòng)齒輪，擺動(dòng)電機(jī)的輸出端通過擺動(dòng)電機(jī)齒輪與擺動(dòng)齒輪連接，擺動(dòng)齒輪設(shè)于擺動(dòng)磁芯的頂端。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的連續(xù)式車燈玻璃鍍膜裝置，其特征在于，所述靶材驅(qū)動(dòng)組件包括轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)、轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)齒輪和轉(zhuǎn)動(dòng)齒輪，轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)的輸出端通過轉(zhuǎn)動(dòng)電機(jī)齒輪與轉(zhuǎn)動(dòng)齒輪連接，轉(zhuǎn)動(dòng)齒輪設(shè)于轉(zhuǎn)動(dòng)靶材的頂端。
專利摘要本實(shí)用新型公開一種連續(xù)式車燈玻璃鍍膜裝置，包括呈直連續(xù)式排列的多個(gè)真空室，任意相鄰的兩個(gè)真空室之間設(shè)有通孔，第一個(gè)真空室為進(jìn)片室，最后一個(gè)真空室為出片室，進(jìn)片室和出片室之間設(shè)有鍍膜室；進(jìn)片室的進(jìn)片口處設(shè)有第一真空鎖，出片室的出片口處設(shè)有第二真空鎖。本連續(xù)式車燈玻璃鍍膜裝置呈直連續(xù)式，可根據(jù)工藝的實(shí)際需要增加或減少真空室個(gè)數(shù)，使用方便，工件在加工過程中呈直線狀輸送，且工件進(jìn)片和出片時(shí)均不需要打開真空室，可較好地保持裝置內(nèi)的真空氣氛，避免因真空氣氛被破壞所引起的產(chǎn)品質(zhì)量問題；本連續(xù)式車燈玻璃鍍膜裝置的鍍膜室中采用圓柱靶作為鍍膜靶材，可實(shí)現(xiàn)工件表面均勻鍍膜，提高產(chǎn)品質(zhì)量。
文檔編號(hào)C23C14/35GK202415682SQ201120576390
公開日2012年9月5日 申請(qǐng)日期2011年12月31日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月31日
發(fā)明者朱剛勁, 朱剛毅, 朱文廓 申請(qǐng)人:肇慶市騰勝真空技術(shù)工程有限公司