專利名稱：一種低熔點(diǎn)帶有內(nèi)襯管合金旋轉(zhuǎn)靶材的連鑄裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種旋轉(zhuǎn)管的制作裝置，特別是涉及一種低熔點(diǎn)帶有內(nèi)襯管合金旋轉(zhuǎn)靶材的連鑄裝置。
背景技術(shù)：
自美國鍍膜設(shè)備供應(yīng)商開發(fā)出旋轉(zhuǎn)陰極靶材，靶材的利用率由傳統(tǒng)矩形平面靶的 40%提高到80%，大量節(jié)約鍍膜成本，從此旋轉(zhuǎn)靶材在大面積鍍膜行業(yè)得到了廣泛應(yīng)用。然而，制備長達(dá)4米的矩形平面靶尚且不易，而制備相同長度、直徑015(Tl90mm的中空圓柱靶，更為不易。

實用新型內(nèi)容本實用新型的主要目的在于，克服現(xiàn)有的低熔點(diǎn)靶材存在的缺陷，而提供一種低熔點(diǎn)帶有內(nèi)襯管合金旋轉(zhuǎn)靶材的連鑄裝置，所要解決的技術(shù)問題是使其可以制作帶有內(nèi)襯管的旋轉(zhuǎn)靶材，使用具有冷卻作用的環(huán)形模具，使熔湯迅速凝固，金屬的晶粒被細(xì)化，進(jìn)而得到晶粒細(xì)致的旋轉(zhuǎn)靶材，從而更加適于實用，且具有產(chǎn)業(yè)上的利用價值。本實用新型的目的及解決其技術(shù)問題是采用以下技術(shù)方案來實現(xiàn)的。依據(jù)本實用新型提出的一種低熔點(diǎn)帶有內(nèi)襯管合金旋轉(zhuǎn)靶材的連鑄裝置，包括模具，所述模具內(nèi)設(shè)置有胚料管和內(nèi)襯管，所述內(nèi)襯管固定在所述胚料管內(nèi)，它還包括設(shè)置在模具底部的電機(jī)，所述電機(jī)通過傳動絲桿與所述胚料管相連接，所述電機(jī)帶動所述胚料管上下運(yùn)動。前述的低熔點(diǎn)帶有內(nèi)襯管合金旋轉(zhuǎn)靶材的連鑄裝置，其中，所述模具的中部設(shè)置有卡槽，所述卡槽與所述胚料管之間液密封，在所述模具的側(cè)壁上設(shè)置有入水口和出水口，所述入水口和所述出水口位于所述卡槽的上部，所述入水口位于所述出水口的下部。前述的低熔點(diǎn)帶有內(nèi)襯管合金旋轉(zhuǎn)靶材的連鑄裝置，其中，所述胚料管的底部設(shè)置有法蘭，通過法蘭固定所述內(nèi)襯管。借由上述技術(shù)方案，本實用新型低熔點(diǎn)帶有內(nèi)襯管合金旋轉(zhuǎn)靶材的連鑄裝置至少具有下列優(yōu)點(diǎn)本實用新型使用具有冷卻作用的模具，使熔湯迅速凝固，金屬的晶粒被細(xì)化，并減少內(nèi)部縮孔的形成，進(jìn)而得到缺陷較少，晶粒細(xì)致的旋轉(zhuǎn)靶材。綜上所述，本實用新型特殊結(jié)構(gòu)的低熔點(diǎn)帶有內(nèi)襯管合金旋轉(zhuǎn)靶材的連鑄裝置，其具有上述諸多的優(yōu)點(diǎn)及實用價值，并在同類產(chǎn)品中未見有類似的結(jié)構(gòu)設(shè)計公開發(fā)表或使用而確屬創(chuàng)新，其不論在結(jié)構(gòu)上或功能上皆有較大的改進(jìn)，在技術(shù)上有較大的進(jìn)步，并產(chǎn)生了好用及實用的效果，且較現(xiàn)有的低熔點(diǎn)的靶材的制作工藝具有增進(jìn)的多項功效，從而更加適于實用，而具有產(chǎn)業(yè)的廣泛利用價值，誠為一新穎、進(jìn)步、實用的新設(shè)計。上述說明僅是本實用新型技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本實用新型的技術(shù)手段，并可依照說明書的內(nèi)容予以實施，以下以本實用新型的較佳實施例并配合附圖詳細(xì)說明如后。[0011]本實用新型的具體實施方式
由以下實施例及其附圖詳細(xì)給出。

圖I為本實用新型所述的一種低熔點(diǎn)帶有內(nèi)襯管合金旋轉(zhuǎn)靶材的連鑄裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
為更進(jìn)一步闡述本實用新型為達(dá)成預(yù)定實用新型目的所采取的技術(shù)手段及功效，
以下結(jié)合附圖及較佳實施例，對依據(jù)本實用新型提出的一種低熔點(diǎn)帶有內(nèi)襯管合金旋轉(zhuǎn)靶材的連鑄裝置其具體實施方式
、結(jié)構(gòu)、特征及其功效，詳細(xì)說明如后。請參閱圖I所示，本實用新型較佳實施例的一種低熔點(diǎn)帶有內(nèi)襯管合金旋轉(zhuǎn)靶材的連鑄裝置，包括模具1，模具I內(nèi)設(shè)置有胚料管3和內(nèi)襯管2，內(nèi)襯管2固定在胚料管3內(nèi)，胚料管3的底部設(shè)置有法蘭6，通過法蘭6固定內(nèi)襯管2。它還包括設(shè)置在模具I底部的電機(jī)5，電機(jī)5通過傳動絲桿4與胚料管3相連接，電機(jī)5帶動胚料管3上下運(yùn)動。模具I的中部設(shè)置有卡槽10，卡槽10與胚料管3之間液密封，在模具I的側(cè)壁上設(shè)置有入水口 7和出水口 8，入水口 7和出水口 8位于卡槽10的上部，入水口 7位于出水口 8的下部。本實用新型的一種低熔點(diǎn)帶有內(nèi)襯管合金旋轉(zhuǎn)靶材的連鑄工藝，應(yīng)用于低熔點(diǎn)帶有內(nèi)襯管合金旋轉(zhuǎn)靶材的連鑄裝置中，包括如下步驟A、將坩堝9熔湯倒入帶有內(nèi)襯管2的胚料管3內(nèi)，胚料管3通過電機(jī)5勻速上升，并保持模具I內(nèi)熔湯的在卡槽10上部的高度不變；B、從設(shè)置在模具I側(cè)壁上的入水口 7注入冷卻水，從模具I側(cè)壁上的出水口 8流出。上述如此結(jié)構(gòu)構(gòu)成的本實用新型一種低熔點(diǎn)帶有內(nèi)襯管合金旋轉(zhuǎn)靶材的連鑄裝置及其工藝的技術(shù)創(chuàng)新，對于現(xiàn)今同行業(yè)的技術(shù)人員來說均具有許多可取之處，而確實具有技術(shù)進(jìn)步性。以上所述，僅是本實用新型的較佳實施例而已，并非對本實用新型作任何形式上的限制，雖然本實用新型已以較佳實施例揭露如上，然而并非用以限定本實用新型，任何熟悉本專業(yè)的技術(shù)人員，在不脫離本實用新型技術(shù)方案范圍內(nèi)，當(dāng)可利用上述揭示的技術(shù)內(nèi)容作出些許更動或修飾為等同變化的等效實施例，但凡是未脫離本實用新型技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本實用新型的技術(shù)實質(zhì)對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本實用新型技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種低熔點(diǎn)帶有內(nèi)襯管合金旋轉(zhuǎn)靶材的連鑄裝置，包括模具，其特征在于，所述模具內(nèi)設(shè)置有胚料管和內(nèi)襯管，所述內(nèi)襯管固定在所述胚料管內(nèi)，它還包括設(shè)置在模具底部的電機(jī)，所述電機(jī)通過傳動絲桿與所述胚料管相連接，所述電機(jī)帶動所述胚料管上下運(yùn)動。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的低熔點(diǎn)帶有內(nèi)襯管合金旋轉(zhuǎn)靶材的連鑄裝置，其特征在于，所述模具的中部設(shè)置有卡槽，所述卡槽與所述胚料管之間液密封，在所述模具的側(cè)壁上設(shè)置有入水口和出水口，所述入水口和所述出水口位于所述卡槽的上部，所述入水口位于所述出水口的下部。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的低熔點(diǎn)帶有內(nèi)襯管合金旋轉(zhuǎn)靶材的連鑄裝置，其特征在于，所述胚料管的底部設(shè)置有法蘭，通過法蘭固定所述內(nèi)襯管。
專利摘要本實用新型公開了一種低熔點(diǎn)帶有內(nèi)襯管合金旋轉(zhuǎn)靶材的連鑄裝置，包括模具，所述模具內(nèi)設(shè)置有胚料管和內(nèi)襯管，所述內(nèi)襯管固定在所述胚料管內(nèi)，它還包括設(shè)置在模具底部的電機(jī)，所述電機(jī)通過傳動絲桿與所述胚料管相連接，所述電機(jī)帶動所述胚料管上下運(yùn)動。本實用新型使用具有冷卻作用的模具，使熔湯迅速凝固，金屬的晶粒被細(xì)化，并減少內(nèi)部縮孔的形成，進(jìn)而得到缺陷較少，晶粒細(xì)致的旋轉(zhuǎn)靶材。
文檔編號B22D19/08GK202377500SQ20112055168
公開日2012年8月15日 申請日期2011年12月26日 優(yōu)先權(quán)日2011年12月26日
發(fā)明者莊世雄, 朱振華 申請人:昆山全亞冠環(huán)?？萍加邢薰?br>