專利名稱：分體式pecvd及擴散設備架的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及半導體、光伏產業(yè)中的PECVD及擴散的設備架，尤其涉及對其設備框架的改進。
背景技術：
目前用于太陽能電池片生產的擴散及PECVD設備的框架，其工作臺、主機等都是一體式，不僅占用空間大，而且維修不方便。同時還給運輸造成極大困難，增加了運輸成本。 隨著太陽能電池片的快速發(fā)展，已無法滿足其產業(yè)需求，急需對設備結構進行改進。
發(fā)明內容為了解決以上技術問題，本實用新型提供了一種結構簡單、節(jié)省空間、便于維修及運輸?shù)姆煮w式PECVD及擴散設備架。本實用新型所述分體式PECVD及擴散設備架，包括工作臺、排毒箱、主機、氣源柜， 且工作臺、排毒箱、主機、氣源柜順序相連；其中工作臺包括工作臺上框、工作臺中框、機械手、工作臺下框、電腦控制臺，工作臺上框和工作臺下框分別位于工作臺的頂部和底部，二者相互平行，工作臺中框連接著工作臺上框和工作臺下框；電腦控制臺、機械手的頂部和底部分別與工作臺上框、工作臺下框連接，其長度方向與工作臺上框及工作臺下框的平面相互垂直；主機包括主機下框、主機中框、主機上框，三者依次相連。本實用新型所述分體式PECVD及擴散設備架結構簡單、可進行分拆，有效地節(jié)約運輸空間，不僅便于運輸且極大地降低了運輸成本；而且其可分式結構給維修帶來了便利。 其中工作臺可容納工控機、顯示器、推拉舟和機械手的等控制原件，而不再使用單獨的控制柜，電纜不再暴漏在設備的外面，提高了設備的空間利用率及安全性能。為達到更好的效果，本實用新型所述分體式PECVD及擴散設備架還可以采用以下措施1、所述電腦控制臺包括控制臺上框、顯示器安裝框、鍵盤框、控制臺下框，其中控制臺上框、顯示器安裝框、鍵盤框、控制臺下框由上至下順序相連，顯示器安裝框與豎直方向成18度角。該結構采用人體工程學的設計，便于人員觀察及操作。2、所述工作臺下框內設置有3個空氣凈化器，工作臺上框內設置有3個軸流風機。 通過風機向上吹風及抽風，使出爐的石墨舟得到冷卻，再通過風筒將熱量排出。3、所述主機上框內設置有3個軸流風機。可將主機內的熱量通過風筒排到室外。

圖1為本實用新型所述分體式PECVD及擴散設備架的結構圖。圖2為圖1中工作臺部分的結構圖。圖3為圖2中電腦控制臺部分的主視圖。圖4為圖3的左視圖。[0014]圖5為圖1中主機部分的結構圖。圖中編號說明1-工作臺；2-排毒箱；3-主機；4-氣源柜；5-工作臺上框；6_工作臺中框；7_機械手；8-工作臺下框；9-電腦控制臺；10-主機下框；11-主機中框；12-主機上框；13-控制臺上框；14-顯示器安裝框；15-鍵盤框；16-控制臺下框。
具體實施方式
結合圖1至圖5對本實用新型所述分體式PECVD及擴散設備架進行詳細說明。如圖1所示，本實用新型所述分體式PECVD及擴散設備架包括工作臺1、排毒箱2、 主機3、氣源柜4，工作臺1、排毒箱2、主機3、氣源柜4從左至右依次順利相連。其中，工作臺1是裝舟、卸舟的工作平臺，其結構如圖2所示，包括工作臺上框5、 工作臺中框6、機械手7、工作臺下框8、電腦控制臺9，工作臺上框5和工作臺下框6分別位于工作臺的頂部和底部，二者相互平行且在該方向的面積相同，構成工作臺的頂面和地面。 為了便于運輸，減小運輸空間，工作臺1采用分體式的，工作臺上框5、工作臺中框6、機械手 7、工作臺下框8、電腦控制臺9都是分體單獨的部件。工作臺中框6位于工作臺上框5和工作臺下框8之間并與之連接。在工作臺上框5和工作臺下框6左前角、垂直于其二者平行方向上，設置有電腦控制臺9，其連接著工作臺上框5和工作臺下框6。機械手7中有兩根豎直構架，其中一根位于工作臺上框5和工作臺下框6的右前角且垂直于其二者平行方向，其上下端分別與工作臺上框5和工作臺下框6連接，另一根的上下端在位于工作臺上框5和工作臺下框6的中部與之連接，兩根構架的長度方向與工作臺上框5及工作臺下框6的平面相互垂直。電腦控制臺9的結構如圖3和圖4所示，包括控制臺上框13、顯示器安裝框14、鍵盤框15、控制臺下框16，其中控制臺上框13、顯示器安裝框14、鍵盤框15、控制臺下框16由上至下依次連接，電腦控制臺采用人體工程學的設計，安裝后電腦顯示器平面與豎直方向成18度。主機3主要是用于承載加熱爐體，如圖5所示，它主要由主機下框10、主機中框 11、主機上框12三部分組成，為了便于運輸，減小運輸空間，這三部分都是單獨的，可以分體的。主機上框12有3個軸流風機將主機內的熱量通過3個風筒排到室外。氣源柜4主要是放置氣路盤、氣路原件的框架，它不僅將氣路盤、氣路原件裝配到上面，而且將控制氣爐的電器原件、控制爐體溫度的溫控儀表等電器件都裝配其中，有效的節(jié)約的設備的空間，使設備的外形更美觀。
權利要求1.一種分體式PECVD及擴散設備架，其特征在于它包括工作臺、排毒箱、主機、氣源柜， 且工作臺、排毒箱、主機、氣源柜順序相連；其中工作臺包括工作臺上框、工作臺中框、機械手、工作臺下框、電腦控制臺，工作臺上框和工作臺下框分別位于工作臺的頂部和底部，二者相互平行，工作臺中框連接著工作臺上框和工作臺下框；電腦控制臺、機械手的頂部和底部分別與工作臺上框、工作臺下框連接，其長度方向與工作臺上框及工作臺下框的平面相互垂直；主機包括主機下框、主機中框、主機上框，三者依次相連。
2.根據(jù)權利要求1所述的分體式PECVD及擴散設備架，其特征在于所述電腦控制臺包括控制臺上框、顯示器安裝框、鍵盤框、控制臺下框，其中控制臺上框、顯示器安裝框、鍵盤框、控制臺下框由上至下順序相連，顯示器安裝框與豎直方向成18度角。
3.根據(jù)權利要求1或2所述的分體式PECVD及擴散設備架，其特征在于所述工作臺下框內設置有3個空氣凈化器，工作臺上框內設置有3個軸流風機。
4.根據(jù)權利要求1或2所述的分體式PECVD及擴散設備架，其特征在于所述主機上框內設置有3個軸流風機。
5.根據(jù)權利要求3所述的分體式PECVD及擴散設備架，其特征在于所述主機上框內設置有3個軸流風機。
專利摘要本實用新型提供了一種分體式PECVD及擴散設備架，它包括工作臺、排毒箱、主機、氣源柜，且工作臺、排毒箱、主機、氣源柜順序相連；其中工作臺包括工作臺上框、工作臺中框、機械手、工作臺下框、電腦控制臺，工作臺上框和工作臺下框分別位于工作臺的頂部和底部，二者相互平行，工作臺中框連接著工作臺上框和工作臺下框；電腦控制臺、機械手的頂部和底部分別與工作臺上框、工作臺下框連接，其長度方向與工作臺上框及工作臺下框的平面相互垂直；主機包括主機下框、主機中框、主機上框，三者依次相連；結構簡單、可進行分拆，有效地節(jié)約運輸空間，不僅便于運輸且極大地降低了運輸成本；而且其可分式結構給維修帶來了便利。
文檔編號C23C16/44GK202332927SQ20112045983
公開日2012年7月11日 申請日期2011年11月18日 優(yōu)先權日2011年11月18日
發(fā)明者宋立祿 申請人:青島賽瑞達電子科技有限公司