專利名稱：拋光頭組件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及化學(xué)機(jī)械拋光領(lǐng)域，特別涉及一種方便搬運(yùn)的拋光頭組件。
背景技術(shù)：
在集成電路的制造過程中，隨著特征尺寸的縮小和金屬互連層數(shù)的增加，對晶圓表面平整度的要求也越來越高，化學(xué)機(jī)械拋光是目前最有效的全局平坦化技術(shù)?；瘜W(xué)機(jī)械拋光是將晶圓由旋轉(zhuǎn)的拋光頭夾持，并將其以一定壓力壓在旋轉(zhuǎn)的拋光墊上，由磨粒和化學(xué)溶液組成的拋光液在晶圓和拋光墊之間流動，晶圓表面在化學(xué)和機(jī)械的共同作用下實現(xiàn)平坦化。在現(xiàn)有的拋光設(shè)備中，拋光頭需要經(jīng)常維護(hù)，以更換耗材等，然而由于拋光頭較重，且其形狀決定了在維護(hù)時，手很難用上力，搬運(yùn)起來有較大的危險性。

實用新型內(nèi)容本實用新型旨在至少解決上述技術(shù)問題之一。為此，本實用新型的一個目的在于提出一種具有結(jié)構(gòu)簡單，搬運(yùn)方便的拋光頭組件。根據(jù)本實用新型實施例的拋光頭組件，包括拋光頭、連接部和搬運(yùn)件所述拋光頭具有第一圓盤體和設(shè)在所述第一圓盤體的上表面上的第二圓盤體，其中所述第二圓盤體的直徑小于所述第一圓盤體的直徑；所述連接部設(shè)在所述第二圓盤體的上表面上；所述搬運(yùn)件可拆卸地與所述連接部相連。根據(jù)本實用新型實施例的拋光頭組件，在需要對拋光頭進(jìn)行搬運(yùn)時，可以安裝搬運(yùn)件對拋光頭搬運(yùn)，拋光組件具有結(jié)構(gòu)簡單，搬運(yùn)方便的優(yōu)點。另外，根據(jù)本實用新型上述實施例的拋光組件還可以具有如下附加的技術(shù)特征所述連接部為設(shè)在所述第二圓盤體上表面上的螺孔，所述搬運(yùn)件通過螺釘與所述螺孔相連。所述搬運(yùn)件上設(shè)有分別與所述螺孔對應(yīng)的通孔，所述螺釘穿過所述通孔配合到所述螺孔內(nèi)。所述螺孔和所述通孔均為兩個且分別一一對應(yīng)。所述兩個螺孔以所述第二圓盤體的中心沿徑向?qū)ΨQ。所述第一圓盤體與所述第二圓盤體同軸心。所述搬運(yùn)件為桿狀。所述搬運(yùn)件為圓管。所述搬運(yùn)件的長度大于所述第一圓盤體的直徑。所述搬運(yùn)件的長度大于所述第二圓盤體的直徑且小于第一圓盤體的直徑。本實用新型的附加方面和優(yōu)點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本實用新型的實踐了解到。
本實用新型的上述和/或附加的方面和優(yōu)點從結(jié)合下面附圖對實施例的描述中將變得明顯和容易理解，其中圖1是根據(jù)本實用新型實施例的設(shè)置有連接部的拋光頭得結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是根據(jù)本實用新型實施例的搬運(yùn)件的結(jié)構(gòu)示意圖；和圖3是根據(jù)本實用新型實施例的拋光組件的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
下面詳細(xì)描述本實用新型的實施例，所述實施例的示例在附圖中示出，其中自始至終相同或類似的標(biāo)號表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實施例是示例性的，僅用于解釋本實用新型，而不能理解為對本實用新型的限制。在本實用新型的描述中，需要理解的是，術(shù)語“中心”、“縱向”、“橫向”、“上”、“下”、 “前”、“后”、“左”、“右”、“豎直”、“水平”、“頂”、“底” “內(nèi)”、“外”等指示的方位或位置關(guān)系為
基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本實用新型和簡化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對本實用新型的限制。此外，術(shù)語“第一”、“第二”僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對重要性。在本實用新型的描述中，需要說明的是，除非另有明確的規(guī)定和限定，術(shù)語“安裝”、“相連”、“連接”應(yīng)做廣義理解，例如，可以是固定連接，也可以是可拆卸連接，或一體地連接；可以是機(jī)械連接，也可以是電連接；可以是直接相連，也可以通過中間媒介間接相連，可以是兩個元件內(nèi)部的連通。對于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以具體情況理解上述術(shù)語在本實用新型中的具體含義。下面參考附圖描述根據(jù)本實用新型實施例的拋光頭組件。如圖1-3所示，根據(jù)本實用新型實施例的拋光組件可以包括拋光頭1、連接部2和搬運(yùn)件3。具體地，拋光頭1可以具有第一圓盤體11和設(shè)在第一圓盤體11的上表面上的第二圓盤體12，其中第二圓盤體12的直徑小于第一圓盤體11的直徑。連接部2設(shè)在第二圓盤體12的上表面上。搬運(yùn)件3可拆卸地與連接部2相連。需要說明的是，搬運(yùn)件3可以在需要搬運(yùn)拋光頭1時，將搬運(yùn)件3與拋光頭1連接。由此，在拋光頭1工作時，搬運(yùn)件3對拋光頭1無影響。在需要搬運(yùn)拋光頭1時，使拋光頭1的搬運(yùn)更加方便。根據(jù)本實用新型實施例的拋光頭組件，在需要對拋光頭1進(jìn)行搬運(yùn)時，可以安裝搬運(yùn)件3對拋光頭1搬運(yùn)，整個拋光組件具有結(jié)構(gòu)簡單，搬運(yùn)方便的優(yōu)點。如圖1-3所示，根據(jù)本實用新型的一些實施例，連接部2可以為設(shè)在第二圓盤體12 上表面上的螺孔，螺孔的個數(shù)為至少一個，搬運(yùn)件3通過螺釘4與螺孔相連。由此，搬運(yùn)件3 通過螺釘4與螺孔相連，方便搬運(yùn)件3與第二圓盤體12的安裝和拆卸，操作起來更加方便、 快捷。如圖2所示，進(jìn)一步地，搬運(yùn)件3上可以設(shè)有分別與螺孔對應(yīng)的通孔5，螺釘4穿過通孔5配合到螺孔內(nèi)。由此，可以方便螺釘4的安裝和拆卸，即保證了搬運(yùn)件3與拋光頭1連接的穩(wěn)定性，又實現(xiàn)了快速拆裝的目的。優(yōu)選地，螺孔和通孔5可以均為兩個且分別一一對應(yīng)。由此，既可以使搬運(yùn)件3與拋光頭1具有穩(wěn)定的連接，同時拆裝起來也比較方便。優(yōu)選地，兩個螺孔可以以第二圓盤體12的中心沿徑向?qū)ΨQ。由此，在對拋光頭1 進(jìn)行搬運(yùn)的時候，可以使搬運(yùn)件3受力更加均勻。如圖1所示，根據(jù)本實用新型的一個實施例，第一圓盤體11可以與第二圓盤體12 同軸心。由此，在拋光頭1使用起來比較方便。如圖2-3所示，根據(jù)本實用新型的一個實施例，搬運(yùn)件3可以為桿狀。由此，可以方便搬運(yùn)者進(jìn)行把持，搬運(yùn)起來非常安全、可靠。進(jìn)一步地，搬運(yùn)件3為圓管。由此，可以節(jié)省制造搬運(yùn)件3的材料，減輕重量。如圖3所示，根據(jù)本實用新型的一些示例，搬運(yùn)件3的長度大于第一圓盤體11的直徑。由此，搬運(yùn)件3的兩端均有一部分延伸至拋光頭上端的外部，這樣就形成了一個方便用手把持的部分，搬運(yùn)起來更加安全、可靠?？蛇x地，搬運(yùn)件3的長度大于第二圓盤體12的直徑且小于第一圓盤體11的直徑。 由此，搬運(yùn)件3的兩端均有一部分延伸至第二圓盤體12的上端的外部，這樣就形成了一個方便用手把持的部分，搬運(yùn)起來更加安全、可靠。在本說明書的描述中，參考術(shù)語“一個實施例”、“一些實施例”、“示例”、“具體示例”、或“一些示例”等的描述意指結(jié)合該實施例或示例描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點包含于本實用新型的至少一個實施例或示例中。在本說明書中，對上述術(shù)語的示意性表述不一定指的是相同的實施例或示例。而且，描述的具體特征、結(jié)構(gòu)、材料或者特點可以在任何的一個或多個實施例或示例中以合適的方式結(jié)合。盡管已經(jīng)示出和描述了本實用新型的實施例，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員可以理解 在不脫離本實用新型的原理和宗旨的情況下可以對這些實施例進(jìn)行多種變化、修改、替換和變型，本實用新型的范圍由權(quán)利要求及其等同物限定。
權(quán)利要求1.一種拋光頭組件，其特征在于，包括拋光頭，所述拋光頭具有第一圓盤體和設(shè)在所述第一圓盤體的上表面上的第二圓盤體，其中所述第二圓盤體的直徑小于所述第一圓盤體的直徑；和連接部，所述連接部設(shè)在所述第二圓盤體的上表面上；和搬運(yùn)件，所述搬運(yùn)件可拆卸地與所述連接部相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光頭組件，其特征在于，所述連接部為設(shè)在所述第二圓盤體上表面上的螺孔，所述搬運(yùn)件通過螺釘與所述螺孔相連。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的拋光頭組件，其特征在于，所述搬運(yùn)件上設(shè)有分別與所述螺孔對應(yīng)的通孔，所述螺釘穿過所述通孔配合到所述螺孔內(nèi)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的拋光頭組件，其特征在于，所述螺孔和所述通孔均為兩個且分別一一對應(yīng)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的拋光頭組件，其特征在于，所述兩個螺孔以所述第二圓盤體的中心沿徑向?qū)ΨQ。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光頭組件，其特征在于，所述第一圓盤體與所述第二圓盤體同軸心。
7.根據(jù)權(quán)利要求1-6中任一項所述的拋光頭組件，其特征在于，所述搬運(yùn)件為桿狀。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的拋光頭組件，其特征在于，所述搬運(yùn)件為圓管。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的拋光頭組件，其特征在于，所述搬運(yùn)件的長度大于所述第一圓盤體的直徑。
10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的拋光頭組件，其特征在于，所述搬運(yùn)件的長度大于所述第二圓盤體的直徑且小于第一圓盤體的直徑。
專利摘要本實用新型提供一種拋光頭組件，包括拋光頭、連接部和搬運(yùn)件；拋光頭具有第一圓盤體和設(shè)在第一圓盤體的上表面上的第二圓盤體，其中第二圓盤體的直徑小于第一圓盤體的直徑；連接部設(shè)在第二圓盤體的上表面上；搬運(yùn)件可拆卸地與連接部相連。根據(jù)本實用新型實施例的拋光頭組件，在需要對拋光頭進(jìn)行搬運(yùn)時，可以安裝搬運(yùn)件對拋光頭搬運(yùn)，拋光組件具有結(jié)構(gòu)簡單，搬運(yùn)方便的優(yōu)點。
文檔編號B24B29/00GK202174483SQ201120233169
公開日2012年3月28日 申請日期2011年7月4日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月4日
發(fā)明者何永勇, 王同慶, 路新春 申請人:清華大學(xué)