專利名稱：多工位自動(dòng)磨角機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型特別涉及一種用于半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中完成磨角環(huán)節(jié)的多工位自動(dòng)磨角機(jī)。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中，傳統(tǒng)的半導(dǎo)體芯片手工磨角工藝，是在磨盤電動(dòng)旋轉(zhuǎn)的基礎(chǔ)上，人工將芯片按壓在磨盤上滑動(dòng)磨角，同時(shí)手動(dòng)填砂，時(shí)間、力度、角度、填砂量都需要工人憑經(jīng)驗(yàn)決定，因此對(duì)工人的能力有很高要求；同時(shí)手工磨角工作效率低，成品率低，對(duì)成品芯片的質(zhì)量也有一定影響。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種工作效率高，成品率高，加工質(zhì)量好， 對(duì)工人能力要求較低并可降低生產(chǎn)成本的多工位自動(dòng)磨角機(jī)。本實(shí)用新型涉及的多工位自動(dòng)磨角機(jī)包括一個(gè)機(jī)架，在機(jī)架上前部設(shè)有立板，在立板上均布有多根垂直布置并可旋轉(zhuǎn)的主軸，在主軸上端分別設(shè)有支撐盤，在支撐盤上面分別設(shè)有磨盤，在磨盤上放置有芯片壓盤，在機(jī)架后部設(shè)有具有兩個(gè)輸出軸端的驅(qū)動(dòng)裝置， 驅(qū)動(dòng)裝置的一個(gè)輸出軸端通過(guò)皮帶或鏈條傳動(dòng)機(jī)構(gòu)與主軸連接，在機(jī)架上位于主軸和驅(qū)動(dòng)裝置之間鉸接有擺動(dòng)架，在擺動(dòng)架的上端鉸接有擺軸，在擺軸上對(duì)應(yīng)每個(gè)磨盤處分別套裝有推桿，推桿前部分別通過(guò)插銷壓在對(duì)應(yīng)的芯片壓盤的中心孔內(nèi)，驅(qū)動(dòng)裝置的另一個(gè)輸出軸端通過(guò)曲柄連桿機(jī)構(gòu)與擺動(dòng)架的中部連接。上述的多工位自動(dòng)磨角機(jī)，在立板上端固定有漿槽，所述的主軸上部分別貫穿漿槽且支撐盤和磨盤分別位于漿槽內(nèi)，在機(jī)架內(nèi)放置有砂漿桶，在漿槽底面均布有分別插入到砂漿桶內(nèi)的排漿管。上述的多工位自動(dòng)磨角機(jī)，在機(jī)架上固定有支架，在支架上支撐有加漿管，在加漿管上均布連接有閥門和注漿軟管，在砂漿桶內(nèi)設(shè)有水泵，水泵與加漿管通過(guò)上水管連通，以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)添加金剛砂漿。上述的多工位自動(dòng)磨角機(jī)，在支撐盤上表面的中心和靠近邊緣處分別設(shè)有一個(gè)卡銷，支撐盤與磨盤通過(guò)插入支撐盤內(nèi)的卡銷傳動(dòng)。上述的多工位自動(dòng)磨角機(jī)，所述的曲柄連桿機(jī)構(gòu)是由固定在所述驅(qū)動(dòng)裝置的另一個(gè)輸出軸端的連接座和通過(guò)鉸軸與連接座偏心鉸接的連桿構(gòu)成，連桿的另一端與固定在擺動(dòng)架中部的銷軸鉸接，在連接座的上表面沿徑向設(shè)有燕尾槽，所述的鉸軸下端固定在燕尾槽內(nèi)，以便于調(diào)整曲柄連桿機(jī)構(gòu)的曲柄長(zhǎng)度，從而調(diào)節(jié)推桿的往復(fù)行程。上述的多工位自動(dòng)磨角機(jī)，在推桿的外端分別設(shè)有配重，以將芯片壓盤緊壓在磨 In ο本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是實(shí)現(xiàn)了機(jī)械自動(dòng)化加工，工作效率高，避免了傳統(tǒng)的手工磨角工藝對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量的影響，成品率高，加工質(zhì)量好；對(duì)工人能力要求較低，每人可同時(shí)操作四臺(tái)設(shè)備，大大減少了工人數(shù)量，降低了生產(chǎn)成本。
圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是圖1的俯視圖。圖中機(jī)架1，主軸2，軸套3，立板4，支撐盤5，卡銷6，磨盤7，漿槽8，芯片壓盤9， 配重10，插銷11，推桿12，注漿軟管13，閥門14，加漿管15，上水管16，支架17，擺軸18，擺動(dòng)架19，銷軸20，連桿21，鉸軸22，連接座23，減速機(jī)24，電機(jī)25，皮帶或鏈條傳動(dòng)機(jī)構(gòu)沈， 擺動(dòng)架支座27，水泵觀，砂漿桶四，排漿管30。
具體實(shí)施方式
如圖所示，該多工位自動(dòng)磨角機(jī)包括一個(gè)機(jī)架1，在機(jī)架1上前部固定有立板4，在立板4上分別通過(guò)軸套3和軸承均布安裝有多根垂直布置的主軸2，本實(shí)施例以四根主軸為例，在主軸2上端分別固定有支撐盤5，在支撐盤5上面分別設(shè)有上表面為內(nèi)凹弧形面的磨盤7，在支撐盤5上表面的中心和靠近邊緣處分別設(shè)有一個(gè)卡銷6，支撐盤5與磨盤7通過(guò)插入支撐盤5內(nèi)的卡銷6傳動(dòng)。在磨盤7上放置有芯片壓盤9。在機(jī)架1后部安裝有驅(qū)動(dòng)裝置，驅(qū)動(dòng)裝置是由電機(jī)25和減速機(jī)M連接而成。在機(jī)架1上位于主軸2和驅(qū)動(dòng)裝置之間固定有擺動(dòng)架支座27，在擺動(dòng)架支座27上鉸接有擺動(dòng)架19，在擺動(dòng)架19的上端橫穿鉸接有擺軸18，在擺軸18上對(duì)應(yīng)每個(gè)磨盤7處分別套裝有一根推桿12，在推桿12前部分別固定一個(gè)插銷11，插銷11下端插入對(duì)應(yīng)的芯片壓盤9的中心孔內(nèi)，在推桿12的外端分別固定有配重10。所述減速機(jī)M的上、下兩端分別設(shè)有輸出軸端，其中位于下端的輸出軸端通過(guò)皮帶或鏈條傳動(dòng)機(jī)構(gòu)26與主軸2下端連接，本實(shí)施例以皮帶傳動(dòng)機(jī)構(gòu)為例；位于上端的輸出軸端通過(guò)一個(gè)曲柄連桿機(jī)構(gòu)與擺動(dòng)架19的中部連接。所述的曲柄連桿機(jī)構(gòu)是由固定在減速機(jī)M上端的輸出軸端的連接座23和通過(guò)鉸軸22與連接座23偏心鉸接的連桿21構(gòu)成，連桿21的另一端與固定在擺動(dòng)架19中部的銷軸20鉸接。在連接座23的上表面沿徑向設(shè)有燕尾槽，所述的鉸軸22下端固定在燕尾槽內(nèi)， 以便于調(diào)整曲柄連桿機(jī)構(gòu)的曲柄長(zhǎng)度，從而調(diào)節(jié)推桿的往復(fù)行程。在立板4上端固定有漿槽8，所述的主軸2上部分別貫穿漿槽8且支撐盤5和磨盤 7分別位于漿槽8內(nèi)，在機(jī)架1內(nèi)放置有內(nèi)裝金剛砂漿的砂漿桶四，在漿槽8底面均布有分別插入到砂漿桶四內(nèi)的排漿管30。在機(jī)架1上固定有支架17，在支架17上支撐有加漿管 15，在加漿管15上均布連接有閥門14和注漿軟管13，在砂漿桶四內(nèi)設(shè)有水泵觀，水泵觀與加漿管15通過(guò)上水管16連通。工作時(shí)，將半導(dǎo)體芯片放置在芯片壓盤9內(nèi)并夾持在芯片壓盤9與磨盤7之間，啟動(dòng)電機(jī)25和水泵28，電機(jī)25通過(guò)減速機(jī)M驅(qū)動(dòng)主軸2和磨盤7旋轉(zhuǎn)，同時(shí)通過(guò)曲柄連桿機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)擺動(dòng)架19往復(fù)擺動(dòng)，從而通過(guò)推桿12帶動(dòng)芯片壓盤9和半導(dǎo)體芯片在磨盤7上往復(fù)滑動(dòng)，滑動(dòng)過(guò)程中打開(kāi)閥門14向磨盤7表面添加金剛砂漿，即可使芯片在往復(fù)滑動(dòng)過(guò)程中完成磨角工序。
權(quán)利要求1.一種多工位自動(dòng)磨角機(jī)，包括一個(gè)機(jī)架，其特征是在機(jī)架上前部設(shè)有立板，在立板上均布有多根垂直布置并可旋轉(zhuǎn)的主軸，在主軸上端分別設(shè)有支撐盤，在支撐盤上面分別設(shè)有磨盤，在磨盤上放置有芯片壓盤，在機(jī)架后部設(shè)有具有兩個(gè)輸出軸端的驅(qū)動(dòng)裝置，驅(qū)動(dòng)裝置的一個(gè)輸出軸端通過(guò)皮帶或鏈條傳動(dòng)機(jī)構(gòu)與主軸連接，在機(jī)架上位于主軸和驅(qū)動(dòng)裝置之間鉸接有擺動(dòng)架，在擺動(dòng)架的上端鉸接有擺軸，在擺軸上對(duì)應(yīng)每個(gè)磨盤處分別套裝有推桿，推桿前部分別通過(guò)插銷壓在對(duì)應(yīng)的芯片壓盤的中心孔內(nèi)，驅(qū)動(dòng)裝置的另一個(gè)輸出軸端通過(guò)曲柄連桿機(jī)構(gòu)與擺動(dòng)架的中部連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多工位自動(dòng)磨角機(jī)，其特征是在立板上端固定有漿槽，所述的主軸上部分別貫穿漿槽且支撐盤和磨盤分別位于漿槽內(nèi)，在機(jī)架內(nèi)放置有砂漿桶，在漿槽底面均布有分別插入到砂漿桶內(nèi)的排漿管。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的多工位自動(dòng)磨角機(jī)，其特征是在機(jī)架上固定有支架，在支架上支撐有加漿管，在加漿管上均布連接有閥門和注漿軟管，在砂漿桶內(nèi)設(shè)有水泵，水泵與加漿管通過(guò)上水管連通。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多工位自動(dòng)磨角機(jī)，其特征是在支撐盤上表面的中心和靠近邊緣處分別設(shè)有一個(gè)卡銷，支撐盤與磨盤通過(guò)插入支撐盤內(nèi)的卡銷傳動(dòng)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多工位自動(dòng)磨角機(jī)，其特征是所述的曲柄連桿機(jī)構(gòu)是由固定在所述驅(qū)動(dòng)裝置的另一個(gè)輸出軸端的連接座和通過(guò)鉸軸與連接座偏心鉸接的連桿構(gòu)成， 連桿的另一端與固定在擺動(dòng)架中部的銷軸鉸接，在連接座的上表面沿徑向設(shè)有燕尾槽，所述的鉸軸下端固定在燕尾槽內(nèi)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多工位自動(dòng)磨角機(jī)，其特征是在推桿的外端分別設(shè)有配重。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種多工位自動(dòng)磨角機(jī)，包括一個(gè)機(jī)架，其特殊之處是在機(jī)架上前部設(shè)有立板，在立板上均布有多根垂直布置的主軸，在主軸上端分別設(shè)有支撐盤，在支撐盤上面分別設(shè)有磨盤，在磨盤上放置有芯片壓盤，在機(jī)架后部設(shè)有具有兩個(gè)輸出軸端的驅(qū)動(dòng)裝置，其中一個(gè)輸出軸端通過(guò)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)與主軸連接，在機(jī)架上鉸接有上端橫穿有擺軸的擺動(dòng)架，在擺軸上對(duì)應(yīng)每個(gè)磨盤處分別套有推桿，推桿前部通過(guò)插銷壓在對(duì)應(yīng)的芯片壓盤的中心孔內(nèi)，驅(qū)動(dòng)裝置的另一個(gè)輸出軸端通過(guò)曲柄連桿機(jī)構(gòu)與擺動(dòng)架連接。優(yōu)點(diǎn)是實(shí)現(xiàn)了機(jī)械自動(dòng)化加工，工作效率高，成品率高，加工質(zhì)量好；對(duì)工人能力要求較低，每人可同時(shí)操作四臺(tái)設(shè)備，減少了工人數(shù)量，降低了生產(chǎn)成本。
文檔編號(hào)B24B9/06GK202088048SQ201120164449
公開(kāi)日2011年12月28日 申請(qǐng)日期2011年5月23日 優(yōu)先權(quán)日2011年5月23日
發(fā)明者康春華, 王文學(xué), 鄭錦春 申請(qǐng)人:錦州市錦利電器有限公司