專利名稱：平板集熱條帶臥式鍍膜機的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種真空鍍膜設(shè)備，特別是一種平板集熱條帶臥式鍍膜機。
背景技術(shù)：
現(xiàn)在國內(nèi)市場最常見的太陽能平板集熱器可用多種方法來制備，如噴涂方法、化學(xué)方法、電化學(xué)方法、真空蒸發(fā)方法、真空磁控濺射方法等。方法很多，整體生產(chǎn)質(zhì)量水平不高。國外先進的是采用真空磁控濺射鍍膜方法鍍制太陽能平板集熱條帶。而真正做到采用真空磁控濺射鍍膜方法連續(xù)鍍制高質(zhì)量太陽能平板集熱條帶產(chǎn)業(yè)化在我國目前還是一個空白！高質(zhì)量的平板集熱器條帶仍然依賴從國外進口。作為太陽能熱利用的核心吸熱元件，集熱板表面的選擇性吸收膜層的鍍制質(zhì)量與性能以及耐氣候性，是決定整個太陽能熱利用的關(guān)鍵技術(shù)。而平板集熱條帶鍍膜方法及鍍膜機又是實現(xiàn)這項關(guān)鍵技術(shù)的關(guān)鍵。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的是提供一種結(jié)構(gòu)合理、質(zhì)量可靠、使用維護方便的平板集熱條帶臥式鍍膜機，以滿足鍍制高質(zhì)量太陽能平板集熱器條帶吸收膜層的需要。本發(fā)明的技術(shù)方案是一種平板集熱條帶臥式鍍膜機，由放卷室、多個工藝模塊室和收卷室三大部分串聯(lián)組成，工藝段模塊室為標準的、具有可互換性的真空箱體。本發(fā)明進一步的技術(shù)方案是放卷室位于本發(fā)明左端，其一面與鍍膜工藝段的第一功能模塊室連接，并通過過帶窄縫相通，其前面有一個長方型密封門，便于放卷室內(nèi)各部件安裝、維護及卷材的上料，長方型密封門包括門架、電機、減速機、滾輪、軌道、支板和支柱，長方型密封門的頂部通過連接塊與門架的底部連接，電機、減速機和滾輪裝在門架上， 滾輪位于軌道上，并通過減速機與電機聯(lián)結(jié)，軌道的一端通過支板安裝在放卷室上，另一端通過支柱坐落在地基上，長方型密封門與放卷室的貼合處有密封圈；放卷室內(nèi)從左到右依次安裝有卷筒、張力控制裝置和糾偏機構(gòu)，卷筒采用斜楔倒拉式脹縮卷筒，用螺紋傳動脹縮，脹縮范圍Φ48(ΓΦ520πιπι，脹縮卷筒與真空旋轉(zhuǎn)密封軸為同軸整體結(jié)構(gòu)，通過法蘭密封安裝在放卷室的后法蘭上，真空旋轉(zhuǎn)密封軸的室外端連接附加減速箱，并與帶另一減速器的交流同步電機連接，脹縮卷筒與真空旋轉(zhuǎn)密封軸在室外組成一體，從室體后壁法蘭孔(大于Φ480πιπι)插入放卷室內(nèi)，真空旋轉(zhuǎn)密封軸法蘭與室體法蘭螺栓壓緊，脹縮卷筒便呈懸臂輥安裝在放卷室的后壁上；收卷室的大小尺寸與放卷室一樣，兩者左、右對稱，其一面與鍍膜工藝段的第十功能模塊室連接，并通過過帶窄縫相通，不同之處是張力控制裝置和糾偏機構(gòu)左、右順序?qū)φ{(diào)，收卷室增加一套在線光學(xué)性能(檢測α和ε η)檢測裝置。本發(fā)明再進一步的技術(shù)方案是鍍膜工藝段由十個工藝段模塊室組成，第一工藝段模塊室為離子源刻蝕室，該室底裝一個或多個條型離子源，完成真空狀態(tài)下的刻蝕清洗， 以保證鍍膜與基材的結(jié)合牢固；第二工藝段模塊室為高真空“阱”——氣體隔離室，以消除相鄰工藝段模塊室的竄氣，達到各工藝段模塊室的氣氛獨立控制的要求，相鄰工藝段模塊室返擴散的氣體，通過該室迅速排出，如同氣體“陷阱”，確保鍍膜質(zhì)量；第三工藝段模塊室為鍍膜室，以卷鋁帶或無氧銅卷帶作基材，鍍超低發(fā)射比高選擇性吸收膜，在室體下蓋上安裝有兩個向上濺射的矩形平面磁控濺射靶，或者在室體后壁安裝兩個磁控濺射圓柱靶， DC濺射電源按靶數(shù)配備；第四工藝段模塊室與第二工藝段模塊室相同；第五、六、七工藝段模塊室與第三工藝段模塊室相同；在第六工藝段模塊室與第七工藝段模塊室之間為機列速度輥室，該室內(nèi)主要包括前、后導(dǎo)向輥和有動力的速度輥，以保證速度輥有160° -170° 包角，獲得足夠的摩擦力，確保輥速度與帶速的一致性，也就是機列速度達到工藝所需的設(shè)定線速度；速度輥是電機通過減速機并經(jīng)室體后壁上的真空旋轉(zhuǎn)密封軸將動力傳遞給速度輥的，機列速度動力輥穩(wěn)定控制條帶設(shè)定行進速度，收、放卷則通過張力控制與機列速度相匹配，行進精度更高質(zhì)量更有保證；當檢測張力大于設(shè)定張力時放卷機則加速、收卷機則減速；反之，當檢測張力小于設(shè)定張力時放卷機則減速、收卷機則加速，以保證條帶的行進速度與機列速度動力輥設(shè)定的行進速度相一致；第八工藝段模塊室與第二工藝段模塊室相同；第九、十工藝段模塊室與第三工藝段模塊室相同。本發(fā)明采用如上技術(shù)方案，與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有如下特點
1、標準的模塊式結(jié)構(gòu)可以根據(jù)工藝要求進行真空室功能拼裝與增減，有利于滿足不同工藝所需要求，各功能室也可作拼裝調(diào)整，該結(jié)構(gòu)新穎、簡單、實用性強。2、設(shè)置高真空“阱”，消除相鄰工藝室的竄氣，達到各功能室的氣氛獨立精確控制，確保鍍膜質(zhì)量。3、機列速度動力輥穩(wěn)定控制條帶設(shè)定行進速度，收、放卷則通過張力控制與機列速度相匹配，行進精度更高質(zhì)量更有保證。4、行進中糾偏機構(gòu)糾偏精度高、安裝維護方便、質(zhì)量可靠；
5、放、收卷室前面是一個電動長方型門，便于室內(nèi)各部件安裝、維護及卷材的上下料， 室外配有可移動的電動升降的卷材上下料車，結(jié)構(gòu)合理、質(zhì)量可靠、使用維護方便。以下結(jié)合附圖和具體實施方式
對本發(fā)明的詳細內(nèi)容作進一步描述。


圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖2為本發(fā)明放、收卷室密封門的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖3為圖2的左視圖。
具體實施例方式
如圖1所示一種平板集熱條帶臥式鍍膜機，包括一個長方型箱體放卷室(1)、收卷室 (2)和由十個工藝段模塊室組成的鍍膜工藝段串聯(lián)組成；放卷室(1)位于本發(fā)明左端，其一面與鍍膜工藝段的第一功能模塊室連接，并通過過帶窄縫相通，其前面有一個長方型密封門(11)，便于放卷室(1)內(nèi)各部件安裝、維護及卷材的上料，長方型密封門(11)包括門架 (12)、電機(13)、減速機(14)、滾輪(15)、軌道(16)、支板(17)和支柱(18)，長方型密封門 (11)的頂部通過連接塊(19 )與門架(12 )的底部連接，電機(13 )、減速機(14 )和滾輪(15 ) 安裝在門架(12)上，滾輪(15)位于軌道(16)上，并通過減速機(14)與電機(13)聯(lián)結(jié)，軌道(16)的一端通過支板(17)安裝在放卷室(1)上，另一端通過支柱(18)坐落在地基上， 長方型密封門(11)與放卷室(1)的貼合處有密封圈00)；放卷室(1)內(nèi)從左到右依次安裝有卷筒(3)、張力控制裝置(4)和糾偏機構(gòu)(5)，卷筒(3)采用斜楔倒拉式脹縮卷筒，用螺紋傳動脹縮，脹縮范圍Φ48(ΓΦ520πιπι，脹縮卷筒與真空旋轉(zhuǎn)密封軸為同軸整體結(jié)構(gòu)，通過法蘭密封安裝在放卷室(1)的后法蘭上，真空旋轉(zhuǎn)密封軸的室外端連接附加減速箱，并與帶另一減速器的交流同步電機連接，脹縮卷筒與真空旋轉(zhuǎn)密封軸在室外組成一體，從室體后壁法蘭孔(大于Φ 480mm)插入放卷室(1)內(nèi)，真空旋轉(zhuǎn)密封軸法蘭與室體法蘭螺栓壓緊，脹縮卷筒便呈懸臂輥安裝在放卷室(1)的后壁上；收卷室O)的大小尺寸與放卷室(1) 一樣，兩者左、右對稱，其一面與鍍膜工藝段的第十功能模塊室連接，并通過過帶窄縫相通，不同之處是張力控制裝置(4)和糾偏機構(gòu)(5)左、右順序?qū)φ{(diào)，收卷室( 增加一套在線光學(xué)性能 (檢測α和ε η)檢測裝置(6)；鍍膜工藝段由十個工藝段模塊室組成，工藝段模塊室為標準的、具有可互換性的真空箱體；第一工藝段模塊室為離子源刻蝕室(71)，該室底裝一個或多個條型離子源，完成真空狀態(tài)下的刻蝕清洗，以保證鍍膜與基材的結(jié)合牢固；第二工藝段模塊室為高真空“阱”——氣體隔離室(72)，以消除相鄰工藝段模塊室的竄氣，達到各工藝段模塊室的氣氛獨立控制的要求，相鄰工藝段模塊室返擴散的氣體，通過該室迅速排出，如同氣體“陷阱”，確保鍍膜質(zhì)量；第三工藝段模塊室為鍍膜室(73)，以卷鋁帶或無氧銅卷帶作基材，鍍超低發(fā)射比高選擇性吸收膜，在室體下蓋上安裝有兩個向上濺射的矩形平面磁控濺射靶，或者在室體后壁安裝兩個磁控濺射圓柱靶，DC濺射電源按靶數(shù)配備；第四工藝段模塊室與第二工藝段模塊室相同；第五、六、七工藝段模塊室與第三工藝段模塊室相同； 在第六工藝段模塊室與第七工藝段模塊室之間為機列速度輥室(74)，該室內(nèi)主要包括前、 后導(dǎo)向輥和有動力的速度輥，以保證速度輥有160° -170°包角，獲得足夠的摩擦力，確保輥速度與帶速的一致性，也就是機列速度達到工藝所需的設(shè)定線速度；速度輥是電機通過減速機并經(jīng)室體后壁上的真空旋轉(zhuǎn)密封軸將動力傳遞給速度輥的，機列速度動力輥穩(wěn)定控制條帶設(shè)定行進速度，收、放卷則通過張力控制與機列速度相匹配，行進精度更高質(zhì)量更有保證；當檢測張力大于設(shè)定張力時放卷機則加速、收卷機則減速；反之，當檢測張力小于設(shè)定張力時放卷機則減速、收卷機則加速，以保證條帶的行進速度與機列速度動力輥設(shè)定的行進速度相一致；第八工藝段模塊室與第二工藝段模塊室相同；第九、十工藝段模塊室與第三工藝段模塊室相同。
權(quán)利要求
1.一種平板集熱條帶臥式鍍膜機，其特征是由放卷室、多個工藝模塊室和收卷室三大部分串聯(lián)組成，工藝段模塊室為標準的、具有可互換性的真空箱體。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平板集熱條帶臥式鍍膜機，其特征是放卷室位于本發(fā)明左端，其一面與鍍膜工藝段的第一功能模塊室連接，并通過過帶窄縫相通，其前面有一個長方型密封門，便于放卷室內(nèi)各部件安裝、維護及卷材的上料，長方型密封門包括門架、電機、減速機、滾輪、軌道、支板和支柱，長方型密封門的頂部通過連接塊與門架的底部連接，電機、 減速機和滾輪裝在門架上，滾輪位于軌道上，并通過減速機與電機聯(lián)結(jié)，軌道的一端通過支板安裝在放卷室上，另一端通過支柱坐落在地基上，長方型密封門與放卷室的貼合處有密封圈；放卷室內(nèi)從左到右依次安裝有卷筒、張力控制裝置和糾偏機構(gòu)，卷筒采用斜楔倒拉式脹縮卷筒，用螺紋傳動脹縮，脹縮范圍Φ48(ΓΦ520πιπι，脹縮卷筒與真空旋轉(zhuǎn)密封軸為同軸整體結(jié)構(gòu)，通過法蘭密封安裝在放卷室的后法蘭上，真空旋轉(zhuǎn)密封軸的室外端連接附加減速箱，并與帶另一減速器的交流同步電機連接，脹縮卷筒與真空旋轉(zhuǎn)密封軸在室外組成一體，從室體后壁法蘭孔(大于Φ480πιπι)插入放卷室內(nèi)，真空旋轉(zhuǎn)密封軸法蘭與室體法蘭螺栓壓緊，脹縮卷筒便呈懸臂輥安裝在放卷室的后壁上；收卷室的大小尺寸與放卷室一樣，兩者左、右對稱，其一面與鍍膜工藝段的第十功能模塊室連接，并通過過帶窄縫相通，不同之處是張力控制裝置和糾偏機構(gòu)左、右順序?qū)φ{(diào)，收卷室增加一套在線光學(xué)性能(檢測α和 ε η)檢測裝置。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的平板集熱條帶臥式鍍膜機，其特征是鍍膜工藝段由十個工藝段模塊室組成，第一工藝段模塊室為離子源刻蝕室，該室底裝一個或多個條型離子源， 完成真空狀態(tài)下的刻蝕清洗，以保證鍍膜與基材的結(jié)合牢固；第二工藝段模塊室為高真空 “阱”——氣體隔離室，以消除相鄰工藝段模塊室的竄氣，達到各工藝段模塊室的氣氛獨立控制的要求，相鄰工藝段模塊室返擴散的氣體，通過該室迅速排出，如同氣體“陷阱”，確保鍍膜質(zhì)量；第三工藝段模塊室為鍍膜室，以卷鋁帶或無氧銅卷帶作基材，鍍超低發(fā)射比高選擇性吸收膜，在室體下蓋上安裝有兩個向上濺射的矩形平面磁控濺射靶，或者在室體后壁安裝兩個磁控濺射圓柱靶，DC濺射電源按靶數(shù)配備；第四工藝段模塊室與第二工藝段模塊室相同；第五、六、七工藝段模塊室與第三工藝段模塊室相同；在第六工藝段模塊室與第七工藝段模塊室之間為機列速度輥室，該室內(nèi)主要包括前、后導(dǎo)向輥和有動力的速度輥，以保證速度輥有160° -170°包角，獲得足夠的摩擦力，確保輥速度與帶速的一致性，也就是機列速度達到工藝所需的設(shè)定線速度；速度輥是電機通過減速機并經(jīng)室體后壁上的真空旋轉(zhuǎn)密封軸將動力傳遞給速度輥的，機列速度動力輥穩(wěn)定控制條帶設(shè)定行進速度，收、放卷則通過張力控制與機列速度相匹配，行進精度更高質(zhì)量更有保證；當檢測張力大于設(shè)定張力時放卷機則加速、收卷機則減速；反之，當檢測張力小于設(shè)定張力時放卷機則減速、收卷機則加速，以保證條帶的行進速度與機列速度動力輥設(shè)定的行進速度相一致；第八工藝段模塊室與第二工藝段模塊室相同；第九、十工藝段模塊室與第三工藝段模塊室相同。
全文摘要
一種平板集熱條帶臥式鍍膜機，包括一個長方型箱體放卷室(1)、收卷室(2)和由十個工藝段模塊室組成的鍍膜工藝段串聯(lián)組成；放卷室(1)與鍍膜工藝段的第一功能模塊室連接，并通過過帶窄縫相通，其內(nèi)從左到右依次安裝有卷筒(3)、張力控制裝置(4)和糾偏機構(gòu)(5)；收卷室(2)的大小尺寸與放卷室(1)一樣，兩者左、右對稱，不同之處是張力控制裝置(4)和糾偏機構(gòu)(5)左、右順序?qū)φ{(diào)，收卷室(2)增加一套在線光學(xué)性能(檢測α和εn)檢測裝置(6)；鍍膜工藝段由十個工藝段模塊室組成，工藝段模塊室為標準的、具有可互換性的真空箱體。本發(fā)明由于采用如上設(shè)計，與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有結(jié)構(gòu)合理、質(zhì)量可靠、使用維護方便等特點。
文檔編號C23C14/56GK102230152SQ20111019438
公開日2011年11月2日 申請日期2011年7月12日 優(yōu)先權(quán)日2011年7月12日
發(fā)明者華冬輝, 李云松, 李云輝 申請人:衡陽市真空機電設(shè)備有限公司