專利名稱：氣相納米制備儀的制作方法
技術領域：
本實用新型具體涉及一種用于制備納米材料的設備，特別涉及一種氣相納米制備 儀。
背景技術：
納米材料是近年來受到人們極大關注的新型領域，廣義地說，納米材料是指其中 任意一維的尺度小于IOOnm的晶體、非晶體、準晶體以及界面層結構的材料。當小粒子尺寸 加人納米量級時，其本身具有體積效應、表面效應、量子尺寸效應和宏觀量子隧道效應等。 從而使其具有奇異的力學、電學、光學、熱學、化學活性、催化和超導特性，使納米材料在各 種領域具有重要的應用價值。而納米技術通常是指在納米尺度范圍內研究物質和結構的形 成、運動、變化的科學以及對物質進行操縱、加工、處理的技術。納米技術使人類認識、改造 物質世界的手段和能力延伸到原子和分子，它從思維方式的概念表明生產和科研的對象將 向更小的尺寸、更深的層次發(fā)展，將從微米層次深入至納米層次。納米技術未來的目標是按 照需要，操縱原子、分子構建納米級的具有新穎的物理和化學特性的器件或產品。美國自 1991年開始把納米技術列入“政府關鍵技術”，2005年戰(zhàn)略技術。我國的自然科學基金、863 項目、973項目、“攀登計劃”以及國家重點實驗室都將納米材料列為鼓勵研究領域和重點研 究項目。納米材料將推動21世紀的信息技術、醫(yī)學、環(huán)境、自動化技術及能源科學的發(fā)展， 必將成為“21世紀最有前途的材料”，對生產力的發(fā)展產生深遠的影響。現(xiàn)有的制備納米材料的方法包括有真空冷授法、物理粉碎法、機械球磨法等物理 方法；溶膠凝膠法、沉淀法、徽乳液法、氣相沉積法、水熱法等化學方法。其中氣相法合成 納米材料反應速度快，能實現(xiàn)連續(xù)化生產，而且制造的納米粉體純度高、分散性好、團聚少、 表面活性大，特別適用精細陶瓷材料、催化劑材料、電子材料、生物材料等。從Gleiter等 (1951)首次應用惰性氣體凝聚(IGC)結合原位冷壓成型法(In-situ Com-Paction)在實驗 室制備出納米晶體樣品以來，氣相法得到了推進與發(fā)展。氣相法指直接利用氣體或者通過 各種手段將固態(tài)或液態(tài)物質變?yōu)闅怏w，使之在一定條件下發(fā)生物理或化學反應，最后在冷 卻過程中凝聚長大形成納米微粒的方法。氣相法合成技術包括物理氣相合成法和化學氣相 合成法，在合成過程中會涉及到氣相粒子成核、晶核長大、凝聚等一系列粒子生長的基本過 程。氣相法可分為蒸發(fā)法、化學氣相沉淀法、化學氣相凝聚法和濺射法等。蒸發(fā)法是在某種氣體中將金屬、合金或陶瓷蒸發(fā)氣化，然后與惰性氣體沖突、冷 卻、凝結而形成納米微粒。該方法制備的顆粒主要具有表面清潔、粒徑分布窄、粒度均勻、容 易控制的優(yōu)點?；瘜W氣相沉淀法(CVD)，是利用揮發(fā)性的金屬化合物的蒸汽或高溫使原料分解為 氣態(tài)物質，通過化學反應合成所需的物質，在后驅物氣體環(huán)境下快速冷卻，從而制備產物的 納米微粒。濺射法，是在惰性氣氛下在陽極或陰極蒸發(fā)材料間，加上幾百伏的直流電壓，發(fā)生 放電過程時離子撞擊陰極的蒸發(fā)材料靶，靶材的原子就會由其表面蒸發(fā)出來，蒸發(fā)的原子
3被惰性氣體冷卻而凝結或與活性氣體反應而形成納米微粒。其特點為靶材放置靈活，蒸發(fā) 面積大，可制備高熔點金屬納米材料，也可形成納米微粒薄膜。盡管氣相法合成法具有生成納米材料反應速度快，能實現(xiàn)連續(xù)化生產，而且制造 的納米粉體純度高、分散性好、團聚少、表面活性大的優(yōu)點，但氣相合成反應是在高溫下瞬 間完成，要求反應物料在極短的時間內達到氣態(tài)及微觀上的均勻混合，對反應器的型式、設 備的材質、加熱方式、進料方式均有很高的要求。其中化學氣相沉淀法對設備材質要求高， 投入較大，對于有機氣體而言，該裝置若氣密性不好可能會發(fā)生爆炸，危機及操作人員 ’產 量低、不能連續(xù)生產，不容易工業(yè)化。濺射法采用的金屬大多是貴金屬，成本較高，反應原理 復雜、不易控；產量低、不能連續(xù)生產，僅適于實驗室科研采用，不容易工業(yè)化，產物易被污染。
發(fā)明內容本實用新型提供一種氣相納米制備儀，目的是解決現(xiàn)有技術問題，提供一種可以 采用氣相法進行連續(xù)化工業(yè)生產納米材料的制備儀，該制備儀操作簡單、安全，而且生成的 納米產品符合要求。本實用新型解決問題采用的技術方案是氣相納米制備儀，包括有復合加熱器和復合反應器。復合加熱器包括有環(huán)形加熱 器，環(huán)形加熱器內部設有殼夾加熱器和物料升華器，殼夾加熱器和物料升華器之間通過輸 氣管相連通。所述殼夾加熱器包括有內外兩層殼體，內外殼體之間形成密閉空間，該密閉空 間的進口端通過進氣管依次與干燥過濾罐、前驅氣體氣瓶相連通，出口端通過輸氣管與物 料升華器相連通。沿外層殼體至內層殼體上開設有數(shù)個導流孔，該導流孔包括通孔和導流 板，通孔使內殼體內部與外界相連通，同時保持密閉空間的密閉性，導流板夾設在內外兩層 殼體之間，導流板底端側邊固定在通孔壁上，且導流板軸線與水平線具有夾角，所有導流孔 中的導流板設置方向相同。升華器底端設有加料口，加料器通過加料口置入升華器底端，使 升華器底端密閉。復合反應器包括有環(huán)形加熱器，環(huán)形加熱器內部設有殼夾加熱器和物料 反應器，殼夾加熱器進口端與后驅物氣態(tài)加熱罐相連通，出口端通過輸氣管與反應混合噴 射器的后驅物氣體進口端連接。物料升華器的頂端連接有輸氣管，該輸氣管的出口端與反 應混合噴射器的前驅物氣體進口端相連接。所述反應混合噴射器設置在物料反應器的頂 端，其混合噴射器的下端與物料反應器頂端相連通。噴射器具有噴射器殼體，殼體上設有前 驅物氣體進口端、出口端和后驅物氣體進口端、出口端，前驅物氣體出口端外周至少設有兩 個后驅物氣體出口端，且前驅物氣體出口端位于后驅物氣體出口端之間。物料反應器的下 端與冷卻水套相連通，冷卻水套的下端通過輸氣管與納米收集器相連通。所述納米收集器 包括有密閉的收集器本體，收集器本體外周設有冷卻管，冷卻管同外部的制冷壓縮機相連。 收集器本體底端連接進氣管，上端通過出氣管同真空泵相連接。收集器本體內底部為除酸 冷卻室，上部為收集室，冷卻室內放置有堿性溶液，收集室內設有收集網，在除酸冷卻室和 收集室之間設有多層凝集阻隔板，凝集阻隔板為具有多個通孔的平面板。導流板軸線與水平線的夾角為20° -45°。殼夾加熱器和物料升華器之間的輸氣管其出口端延伸至升華器的底部。所述凝集阻隔板的通孔從下至上為倒錐形。[0014]所述凝集阻隔板的通孔其橫截面?zhèn)冗吪c阻隔板下表面的夾角角度為20° -50°。所述混合噴射器中沿前驅物氣體出口端外周一周設有后驅物氣體出口端。沿前驅物氣體出口端外周一周設有的后驅物氣體出口端相互連通。所述導流孔具有三個，沿殼夾加熱器一周均勻分布。所述夾殼加熱器的內外殼體問的間距與外殼體高度比為1 200。所述收集器本體還連接有壓力變送器。本實用新型的有益效果本實用新型中通過復合加熱器同時對前驅氣體和前驅物 質進行加熱，使前驅氣體和升華后的前驅物氣體保持溫度相同，有利于后續(xù)的納米反應物 的生成。而復合反應器中的環(huán)形加熱器同時對后驅物氣體及進行反應中的前驅物氣體進行 加熱，從而保證前驅物氣體和后驅物氣體反應時溫度能夠保持高溫，有利于合格納米產物 的生成?；旌蠂娚淦鞯慕Y構特征使前驅物氣體在與后驅物氣體進行反應時保證其兩者的充 分接觸，產生符合要求的納米產品。而收集器通過除酸冷卻室、凝集阻隔板將納米氣體中大 量的酸和水分除去，方便了收集，減少環(huán)境的污染，同時用壓力變送器對設備內的壓力進行 調節(jié)，不會對設備產生很大的壓力，降低了生產過程的危險。整套設備通過計算機控制系統(tǒng) 進行控制，可實現(xiàn)連續(xù)自動化生產。

圖1是本實用新型的結構整體示意圖；圖2是殼夾加熱器的剖視圖；圖3是混合噴射器結構示意圖；圖4是收集器的結構示意圖；圖5是凝集阻隔板的俯視圖；圖6是圖4中的A向視圖。
具體實施方式
以下結合附圖和具體實施例對本實用新型作進一步說明。如圖1、圖2、圖3、圖4、圖5、圖6中所示的氣相納米制備儀，包括有復合加熱器100 和復合反應器200。復合加熱器100包括有環(huán)形加熱器1，環(huán)形加熱器內部設有殼夾加熱器 2和物料升華器3，殼夾加熱器2和物料升華器3之間通過輸氣管相連通。所述殼夾加熱器 2包括有內層殼體21和外層殼體22，內外殼體21、22之間形成密閉空間20，該密閉空間20 的進口端通過進氣管依次與干燥過濾罐4、前驅氣體氣瓶5相連通，出口端通過輸氣管27與 物料升華器3相連通。沿外層殼體22至內層殼體21上開設有數(shù)個導流孔6，該導流孔6包 括通孔61和導流板62，通孔61使內殼體內部210與外界相連通，同時保持密閉空間20的 密閉性，導流板62夾設在內外兩層殼體21、22之間，導流板62底端側邊固定在通孔壁610 上，且導流板軸線與水平線具有夾角,A，所有導流孔6中的導流板62設置方向相同。升華 器3底端設有加料口 7，加料器8通過加料口 7置入升華器3底端，使升華器3底端密閉。 復合反應器200包括有環(huán)形加熱器1，環(huán)形加熱器1內部設有殼夾加熱器2和物料反應器 9，殼夾加熱器2進口端與后驅物氣態(tài)加熱罐10相連通，出口端通過輸氣管與反應混合噴射 器11的后驅物氣體進口端12連接。物料升華器3的頂端連接有輸氣管，該輸氣管的出口端與反應混合噴射器11的前驅物氣體進口端13相連接。所述反應混合噴射器11設置在 物料反應器9的頂端，其混合噴射器11的下端與物料反應器9頂端相連通。噴射器11具 有噴射器本體110，本體110上設有前驅物氣體進口端13、出口端131和后驅物氣體進口端 12、出口端121，前驅物氣體出口端131外周至少設有兩個后驅物氣體出口端121，且前驅物 氣體出口端131位于后驅物氣體出口端121之間。物料反應器9的下端與冷卻水套14相 連通，冷卻水套14的下端通過輸氣管與納米收集器15相連通。所述納米收集器15包括有 密閉的收集器本體150，收集器本體150外周設有冷卻管16，冷卻管16同外部的制冷壓縮 機17相連。收集器本體150底端連接進氣管，上端通過出氣管同真空泵18相連接。收集 器本體150內底部為除酸冷卻室19，上部為收集室23，冷卻室19內放置有堿性溶液，收集 室23內設有收集網24，在除酸冷卻室19和收集室23之間設有多層凝集阻隔板25，凝集阻 隔板25為具有多個通孔250的平面板。進行納米產品生產時，先將前驅物放入加料器8內，再將加料器8通過加料口 7放 入升華器3內，將升華器3密閉，而后驅物(如水、氨氣、胼、乙醇等)放置在后驅物氣態(tài) 加熱罐10內。本實用新型中設置加料器8和加料口 7的目的就是在不流失前驅物升華氣 體的同時方便將前驅物放入到升華器3內進行升華。然后分別將前驅氣體氣瓶5、后驅物 氣態(tài)加熱罐10打開，將前驅氣體和加熱后升華的后驅物氣體分別通入到各自相連通的殼 夾加熱器2、2中，在通氣的同時復合加熱器100和復合反應器200內的環(huán)形加熱器1、1開 始加熱，對前驅氣體、后驅物氣體和前驅物進行加熱。由于本實施例中環(huán)形加熱器1采用特 殊材質制成，加熱時會產生強光，因此還具有光輻射作用，前驅氣體進入到殼夾加熱器2之 前，先經過干燥過濾罐4進行過濾干燥，以保證前驅氣體不含有水分。前驅氣體通過進氣管進入到殼夾加熱器2的密閉空間20內加熱，而在殼夾加熱器 2上開設有導流孔6，導流孔6包括通孔61和導流板62，其中通孔61使內層殼體內部210 和外界相通，通過通孔61將外界的熱量傳入內層殼體內部210，使經過密閉空間20內的前 驅氣體能迅速加熱。而將導流板62設置為傾斜的目的是為了使經過的氣體的溫度能上升 的更高。當驅動氣體經過導流孔6時，由于前驅氣體要繞過通孔61，而傾斜設置的導流板 62阻擋了前驅氣體垂直上升的路徑，因此前驅氣體的上升路徑發(fā)生改變，需要沿導流板62 下側面傾斜上升，導致前驅氣體在空間20內沿夾殼壁旋轉上升，其路徑增長，使其加熱過 程增加，經多次試驗證明，當導流板軸線與水平線的夾角Z A為20° -45°時，其氣體上升 的溫度較高，其中夾角Z A優(yōu)選45°。其中導流孔6的個數(shù)如果太少不能具有良好的傳熱 效果，使前驅氣體不能快速升溫，若太多制造不方便，因此本實施例中選擇三個導流孔6，并 沿殼夾加熱器2 —周均勻分布。后驅物氣體在相應的殼夾加熱器2中的加熱過程與前述相 同。同時本實施例中為使前驅氣體和前驅物氣體能夠加熱至足夠高的溫度，其內殼體21和 外殼體22間的間距與外殼體22高度比為1 200，目的是使前驅氣體具有足夠的路徑進行 升溫。經過上述升溫過程，前驅氣體和后驅物氣體可以升溫至400°C以上。其中復合加熱器 和復合反應器加熱時，其加熱的溫度分別進行控制，即加熱溫度不同。在前驅氣體和后驅物氣體升溫的同時，前驅物在升華器3中通過環(huán)形加熱器1被 加熱升華，前驅氣體升溫后通過輸氣管27進入到升華器3內。本實施例中將輸氣管的出 口端26延伸至升華器3的底部，其目的是將加熱后的前驅氣體通入到升華器3底部，由于 氣體是從下向上走，因此可以充分驅動升華器3底部升華后的前驅物氣體向上升，在前驅氣體和前驅物氣體上升過程中，兩者的溫度保持一致，同時在上升過程中，還會繼續(xù)被環(huán)形 加熱器1加熱。本實施例中將輸氣管27的管徑限定為5-20mm，使其管徑較小，目的是使前 驅氣體經過輸氣管27后壓力變大，從輸氣管的出口端26輸出時，其輸出的沖力比較大，能 更充分的驅動升華器3底部升華后的前驅物氣體向上升，經實踐證明輸氣管27的管徑優(yōu)選 15mm0前驅氣體帶動前驅物氣體通過出氣管進入混合噴射器前驅物進口端13，此時加熱 后的后驅物氣體進入到混合噴射器后驅氣體進口端12。本實施例中的混合噴射器11，具有 噴射器本體110，本體110包括三個套設在一起的套筒，S卩外層套筒51、中間層套筒52、內層 套筒53，且外層套筒51和中間層套筒52之間形成空間30，中間層套筒52和內層套筒53 之間形成空間40，前驅物氣體進氣管60及后驅物氣體進氣管70分別穿過三個套筒，且前 驅物氣體進氣管60在位于空間40處的部分開設有前驅物氣體出口 71，后驅物氣體進氣管 70分別在位于空間30處的部分及內層套筒53內部空間50的部分上開設有后驅物氣體出 氣口 72，從而使空間40的出口端為前驅物氣體出口端131，空間30的出口端及內層套筒內 部空間50的出口端為后驅物氣體出口端121。當前驅物氣體從前驅物氣體出口端131沖出 時，后驅物氣體從位于該前驅物氣體出口端131內層和外層的后驅物氣體出口端121沖出， 將前驅物氣體包圍在內，使兩者進行充分的反應，以保證形成符合要求的納米產品。其中混合噴射器11除了上述描述的結構外，還包括其他結構，如最簡單的是將三 根進氣管并列排在一起，其中中間的進氣管為前驅物氣體進氣管，兩側的進氣管為后驅物 氣體進氣管。前驅物氣體從中間的前驅物氣體進口端進入，后驅物氣體從兩側的后驅物氣 體進口端進入。當前驅物氣體從前驅物進氣管的出口端沖出時，后驅物氣體從兩側的后驅 物氣體出口端沖出，前驅物氣體被后驅物氣體包圍，使其能充分進行反應，以保證形成符合 要求的納米產品?；蛘咴谝粋€前驅物出氣口端外周一周都設有后驅物氣體出氣口端。上述 3個噴射器的具體結構只是該混合噴射器多種結構中的一部分，本實用新型中混合噴射器 保護的結構并不僅局限于這幾種，只要保證前驅物氣體出口端位于后驅物氣體出口端之間 即可。混合噴射器11下端與反應器9的上端相通，前驅物氣體和后驅物氣體進入到反應 器9內，在反應器9內進行反應，反應后生成納米氣體。納米氣體在真空泵18負壓的作用 下，通過與反應器9下端相連接的冷水套14進入到收集器內。將納米氣體先通過冷水套14 的目的是將納米氣體降溫，由于納米氣體溫度很高，如果不事先進行降溫處理，則不能很好 的對納米產品進行收集。納米氣體在進行冷水套14的降溫后其溫度還是比較高，進入到收 集器內的除酸冷卻室19內后，由于制冷壓縮機17工作，將除酸冷卻室19內的溫度降低到 2-5°C左右。由于納米氣體的溫度超過400°C，溫度很高，不會因為制冷壓縮機17的制冷而 迅速將溫度降低，因此高溫納米氣體從冷卻室19內的堿性溶液(如碳酸氫鈉、碳酸鈉等) 穿過時，在堿性溶液表面會形成氣泡。納米氣體穿過堿性溶液后可以將帶有的酸氣除去。但 由于由于納米氣體原來的溫度很高，盡管產生的氣泡其表面溫度可以降下來，但氣泡內部 的溫度仍然不能大幅降低，而氣泡中還帶有大量的酸氣，所以納米氣體通過堿性溶液后，其 酸氣還是有部分不能去掉。本實施例中最下層的阻隔板25置于堿性液體的表面，氣泡在除酸冷卻室19中運 動時，形成的氣泡將在堿性液體內翻滾，由于堿性液體表面凝集阻隔板25的作用，當氣泡將要離開堿性液體時，氣泡被阻隔板25變成無數(shù)個小氣泡，溫度得到了進一步的降低，部 分酸氣再次被堿性溶液吸收。阻隔板25上具有通孔250，通過堿性溶液的納米氣體從通孔 250中通過繼續(xù)上升。其中阻隔板25的通孔250從下至上為倒錐形，即通孔250下表面的 面積大，上表面的面積小，目的是降低納米氣體通過的速度，延長通過時間，能有效的降低 納米氣體溫度，有利于酸氣的吸收和水分的凝結。凝結后的液體將掉落入除酸冷卻室19內 的堿性溶液中，完全解決了納米物質氣體的溫度、水分和酸氣的問題。納米氣體在經過最下 層的阻隔板25后，雖然把氣體的溫度降低了一些，也把酸氣吸收了一部分，但是氣體的溫 度還是很高，酸氣也很多。因此，納米氣體需要再經過多層的阻隔板25的阻隔，本實施例 中一共采用了四層阻隔板25，在經過最下層的阻隔板25后，再經過一、二、三級凝集阻隔板 25。實際上凝集阻隔板25的層數(shù)可以根據(jù)實際情況進行增減，本實施例中采用四層阻隔板 25是經過實踐得到的較好的結果，阻隔板25的層數(shù)少，會不能充分的除去酸氣和水分，若 層數(shù)多，則會有部分納米產物凝集在阻隔板25上，產生浪費。納米氣體經過四層阻隔板25的阻隔后，氣體內的酸氣和水分已被大部分除去，在 真空泵18負壓的作用下，納米氣體進入收集網24上聚集，收集網24上事先已放置濾膜。 收集網24可以設置多層，不同層的收集網上放置不同孔徑的濾膜，將收集到不同尺寸的納 米產品。真空泵18將把驅動納米氣體的空氣吸入到真空泵排到大氣中去，一個實驗過程結 束。實驗過程對環(huán)境沒有任何污染。在整個收集過程中，設備內部產生的壓力可以通過壓 力變送器28進行調節(jié)。上述整個制備過程通過計算機控制系統(tǒng)進行控制。
權利要求1.氣相納米制備儀，其特征在于包括有復合加熱器和復合反應器；復合加熱器包括 有環(huán)形加熱器，環(huán)形加熱器內部設有殼夾加熱器和物料升華器，殼夾加熱器和物料升華器 之間通過輸氣管相連通；所述殼夾加熱器包括有內外兩層殼體，內外殼體之間形成密閉空 間，該密閉空間的進口端通過進氣管依次與干燥過濾罐、前驅氣體氣瓶相連通，出口端通過 輸氣管與物料升華器相連通；沿外層殼體至內層殼體上開設有數(shù)個導流孔，該導流孔包括 通孔和導流板，通孔使內殼體內部與外界相連通，同時保持密閉空間的密閉性，導流板夾設 在內外兩層殼體之間，導流板底端側邊固定在通孔壁上，且導流板軸線與水平線具有夾角， 所有導流孔中的導流板設置方向相同；升華器底端設有加料口，加料器通過加料口置入升 華器底端，使升華器底端密閉；復合反應器包括有環(huán)形加熱器，環(huán)形加熱器內部設有殼夾加 熱器和物料反應器，殼夾加熱器進口端與后驅物氣態(tài)加熱罐相連通，出口端通過輸氣管與 反應混合噴射器的后驅物氣體進口端連接；物料升華器的頂端連接有輸氣管，該輸氣管的 出口端與反應混合噴射器的前驅物氣體進口端相連接；所述反應混合噴射器設置在物料反 應器的頂端，其混合噴射器的下端與物料反應器頂端相連通；噴射器具有噴射器殼體，殼體 上設有前驅物氣體進口端、出口端和后驅物氣體進口端、出口端，前驅物氣體出口端外周至 少設有兩個后驅物氣體出口端，且前驅物氣體出口端位于后驅物氣體出口端之間；物料反 應器的下端與冷卻水套相連通，冷卻水套的下端通過輸氣管與納米收集器相連通；所述納 米收集器包括有密閉的收集器本體，收集器本體外周設有冷卻管，冷卻管同外部的制冷壓 縮機相連；收集器本體底端連接進氣管，上端通過出氣管同真空泵相連接；收集器本體內 底部為除酸冷卻室，上部為收集室，冷卻室內放置有堿性溶液，收集室內設有收集網，在除 酸冷卻室和收集室之間設有多層凝集阻隔板，凝集阻隔板為具有多個通孔的平面板。
2.如權利要求1中所述的氣相納米制備儀，其特征在于導流板軸線與水平線的夾角 為 20° -45°。
3.如權利要求1中所述的氣相納米制備儀，其特征在于殼夾加熱器和物料升華器之 間的輸氣管其出口端延伸至升華器的底部。
4.如權利要求1中所述的氣相納米制備儀，其特征在于所述凝集阻隔板的通孔從下 至上為倒錐形。
5.如權利要求1中所述的氣相納米制備儀，其特征在于所述凝集阻隔板的通孔其橫 截面?zhèn)冗吪c阻隔板下表面的夾角角度為20° -50°。
6.如權利要求1中所述的氣相納米制備儀，其特征在于所述混合噴射器中沿前驅物 氣體出口端外周一周設有后驅物氣體出口端。
7.如權利要求6中所述的氣相納米制備儀，其特征在于沿前驅物氣體出口端外周一 周設有的后驅物氣體出口端相互連通。
8.如權利要求1中所述的氣相納米制備儀，其特征在于所述導流孔具有三個，沿殼夾 加熱器一周均勻分布。
9.如權利要求1中所述的氣相納米制備儀，其特征在于所述夾殼加熱器的內外殼體 間的間距與外殼體高度比為1 200。
10.如權利要求1中所述的氣相納米制備儀，其特征在于所述收集器本體還連接有壓 力變送器。
專利摘要氣相納米制備儀，其特征在于包括有復合加熱器和復合反應器，復合加熱器包括有環(huán)形加熱器、殼夾加熱器和物料升華器，殼夾加熱器依次與干燥過濾罐、前驅氣體氣瓶相連通。殼夾加熱器包括有內外兩層殼體，沿外層殼體至內層殼體上開設有數(shù)個導流孔，升華器底端設有加料口，加料器通過加料口置入升華器底端，使升華器底端密閉；復合反應器包括有環(huán)形加熱器、殼夾加熱器和物料反應器，殼夾加熱器分別與后驅物氣態(tài)加熱罐、反應混合噴射器相連通。物料反應器依次與冷卻水套、納米收集器、真空泵相連通。納米收集器包括有密閉的收集器本體，本體內分別設有除酸冷卻室，凝集阻隔板，設有收集網的收集室。該制備儀適用氣相法進行工業(yè)化生產納米材料。
文檔編號C23C16/448GK201864775SQ20102059596
公開日2011年6月15日 申請日期2010年11月3日 優(yōu)先權日2010年11月3日
發(fā)明者崔忠信, 陳明華 申請人:北京聯(lián)合創(chuàng)美科技發(fā)展有限公司