專利名稱：等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備的載板傳輸控制方法及系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及生產(chǎn)線設(shè)備控制的技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種等離子體化學(xué)氣相沉積 設(shè)備的載板傳輸控制方法、一種等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備的載板傳輸控制系統(tǒng)及一種等 離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備。
背景技術(shù)：
目前，制備晶硅太陽(yáng)能電池多采用等離子化學(xué)氣相沉積(PECVD)工藝。而在晶硅 太陽(yáng)能電池制造設(shè)備中，PECVD設(shè)備多采用在線型鍍膜技術(shù)(In-line PECVD，在線鍍膜型等 離子化學(xué)氣相沉積設(shè)備)。參考圖1所示的In-line PECVD設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖，In-line PECVD設(shè)備一般包 括若干個(gè)真空密閉腔室，即圖中的預(yù)熱腔1、反應(yīng)腔2和冷卻腔3 ；該設(shè)備還包括用于傳輸?shù)?裝載臺(tái)4和卸載臺(tái)5，裝載臺(tái)4和卸載臺(tái)5可以升降，即可以處于高位和低位，并且只有在處 于高位時(shí)，才能與相鄰的腔室進(jìn)行傳輸操作。這種In-line PECVD設(shè)備進(jìn)行載板傳輸?shù)倪^(guò) 程主要包括以下步驟步驟S11、將硅片放置于載板上，將載板放置于處于低位的裝載臺(tái)4上；步驟S12、裝載臺(tái)4從低位升至高位，準(zhǔn)備將載板向預(yù)熱腔1進(jìn)行傳輸；步驟S13、載板被搬運(yùn)到預(yù)熱腔1中，在預(yù)熱腔1進(jìn)行載板5的預(yù)熱處理流程，加熱 載板和硅片；然后將載板搬運(yùn)到工藝腔2中，進(jìn)行沉積工藝。反應(yīng)完成后將載板搬運(yùn)到冷卻 腔3中進(jìn)行冷卻處理，然后將載板搬運(yùn)到處于高位的卸載臺(tái)5上，將加工完成的硅片取走；步驟S14、卸載臺(tái)5從高位降至低位，載板5通過(guò)載板回收裝置(圖中未示出，通常 為多個(gè)伺服電機(jī))返回裝載臺(tái)4。在實(shí)際生產(chǎn)環(huán)境中，上述傳輸過(guò)程是循環(huán)往復(fù)的，即裝載臺(tái)4升至高位將載板a搬 運(yùn)到預(yù)熱腔1后，會(huì)降至低位裝載下一塊載板b ；載板a順序在預(yù)熱腔1、工藝腔2、冷卻腔 3完成相應(yīng)工藝后(與此同時(shí)，載板b也在載板a的后一個(gè)傳輸周期順序在各腔室中完成 相應(yīng)工藝，如當(dāng)前載板a在工藝腔2中，載板b在預(yù)熱腔1中；或如，當(dāng)前載板a在冷卻腔3 中，載板b在工藝腔2中)，卸載臺(tái)5會(huì)升至高位取走載板a，然后降至低位進(jìn)行載板回收， 載板a回收完成后，卸載臺(tái)5又升至高位取走下一塊載板b，然后降至低位進(jìn)行載板b地回 收，如此循環(huán)往復(fù)。為了判斷載板每次傳輸是否到位，通常在裝載臺(tái)、預(yù)熱腔、工藝腔、冷卻腔和卸載 臺(tái)上均設(shè)置有位置傳感器，具體可以參考圖2所示的載板從裝載臺(tái)到預(yù)熱腔之間傳輸?shù)氖?例，其中，PSl是裝載臺(tái)判斷是否有載板的位置傳感器，PS2是預(yù)熱腔判斷載板是否到位的 位置傳感器，PS1、PS2的值為1表示在相應(yīng)位置檢測(cè)到有載板，PSl、PS2的值為0表示在相 應(yīng)位置檢測(cè)到無(wú)載板。裝載臺(tái)從低位裝載載板a后，升至高位準(zhǔn)備進(jìn)行載板傳輸，此時(shí)PSl檢測(cè)到的值為 1，表示當(dāng)前裝載臺(tái)上裝載有載板a ；然后裝載臺(tái)傳出載板a至預(yù)熱腔，此時(shí)PSl檢測(cè)到的值 為0，表示當(dāng)前裝載臺(tái)上沒(méi)有載板；在PSl為0情況下，就可以觸發(fā)裝載臺(tái)降至低位的操作，即裝載臺(tái)將從高位降至低位以裝載下一塊載板b。當(dāng)然，在實(shí)際中，對(duì)于裝載臺(tái)降至低位操 作的觸發(fā)，往往可能設(shè)置有其它條件(跟實(shí)際生產(chǎn)環(huán)境相關(guān)，如裝載臺(tái)的伺服電機(jī)是否停 轉(zhuǎn)等)，則只要在PSl為0的情況下滿足這些條件，就可以觸發(fā)裝載臺(tái)降至低位的操作。具體還可以參考圖3所示的載板從冷卻腔到卸載臺(tái)之間傳輸?shù)氖纠?，其中，PS3是 卸載臺(tái)判斷是否有載板的位置傳感器，PS3的值為1表示在相應(yīng)位置檢測(cè)到有載板，PS3的 值為0表示在相應(yīng)位置檢測(cè)到無(wú)載板。卸載臺(tái)升至高位取走載板a后，此時(shí)PS3檢測(cè)到的值為1，表示當(dāng)前卸載臺(tái)上裝載 有載板a ；在PS3為1情況下，就可以觸發(fā)卸載臺(tái)降至低位的操作，即卸載臺(tái)將從高位降至 低位以執(zhí)行載板b的回收過(guò)程。當(dāng)然，在實(shí)際中，對(duì)于卸載臺(tái)降至低位操作的觸發(fā)，往往也 可能設(shè)置有其它條件(跟實(shí)際生產(chǎn)環(huán)境相關(guān)，如卸載臺(tái)的伺服電機(jī)是否停轉(zhuǎn)等)，則只要在 PS3為1的情況下滿足這些條件，就可以觸發(fā)卸載臺(tái)降至低位的操作。然而，位置傳感器對(duì)于有無(wú)載板的檢測(cè)不一定是絕對(duì)準(zhǔn)確的，在實(shí)際中，位置傳感 器可能會(huì)出現(xiàn)失效的情形，即其往往將實(shí)際中有載板的狀態(tài)判斷為無(wú)載板的狀態(tài)(值為 0)，或者，將實(shí)際中無(wú)載板的狀態(tài)判斷為有載板的狀態(tài)(值為1)。結(jié)合圖2所示的例子，如果此時(shí)載板還未完全從裝載臺(tái)傳出，位于裝載臺(tái)和預(yù)熱 腔之間，而裝載臺(tái)的位置傳感器PSl失效，將當(dāng)前有載板的狀態(tài)判斷為無(wú)載板的狀態(tài)，于是 觸發(fā)了裝載臺(tái)降至低位的操作，這時(shí)載板將會(huì)從高處摔落，從而造成損壞；結(jié)合圖3所示的 例子，如果此時(shí)載板還未完全傳入卸載臺(tái)，位于冷卻腔和卸載臺(tái)之間，而卸載臺(tái)的位置傳感 器PS3失效，將當(dāng)前無(wú)載板的狀態(tài)判斷為有載板的狀態(tài)，于是觸發(fā)了卸載臺(tái)降至低位的操 作，這時(shí)載板也會(huì)從高處摔落，從而造成損壞。因此，目前需要本領(lǐng)域技術(shù)人員迫切解決的一個(gè)技術(shù)問(wèn)題就是如何能夠創(chuàng)新地 提出一種等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備的載板傳輸控制機(jī)制，用以防止載板摔落，提高載板 傳輸?shù)陌踩裕瑥亩行Ы档蜕a(chǎn)成本，提高生產(chǎn)效率。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備的載板傳輸 控制方法、系統(tǒng)及一種等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備，用以防止載板摔落，提高載板傳輸?shù)陌?全性，從而有效降低生產(chǎn)成本，提高生產(chǎn)效率。為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明實(shí)施例公開(kāi)了一種等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備的 載板傳輸控制方法，所述等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備包括傳輸模塊和反應(yīng)腔室，所述的方 法包括；傳輸模塊升至高位與相鄰的反應(yīng)腔室進(jìn)行當(dāng)前載板傳輸，關(guān)閉所述傳輸模塊降至 低位的操作功能；檢測(cè)當(dāng)前載板是否正常傳輸?shù)街付ㄎ恢?，若是，則開(kāi)啟所述傳輸模塊降至低位的 操作功能；在所述傳輸模塊降至低位的操作功能開(kāi)啟的條件下，執(zhí)行傳輸模塊降至低位的操作。優(yōu)選的，所述傳輸模塊為裝載臺(tái)，所述反應(yīng)腔室為預(yù)熱腔，所述預(yù)熱腔設(shè)置有位置 傳感器；所述檢測(cè)當(dāng)前載板是否正常傳輸?shù)街付ㄎ恢玫牟襟E包括
由所述預(yù)熱腔的位置傳感器檢測(cè)當(dāng)前載板是否傳輸?shù)筋A(yù)熱腔的指定位置，若是， 則判定當(dāng)前載板正常傳輸?shù)街付ㄎ恢?。?yōu)選的，所述傳輸模塊為裝載臺(tái)，所述反應(yīng)腔室為預(yù)熱腔，所述裝載臺(tái)和預(yù)熱腔分 別設(shè)置有相應(yīng)的位置傳感器；所述檢測(cè)當(dāng)前載板是否正常傳輸?shù)街付ㄎ恢玫牟襟E包括由所述裝載臺(tái)的位置傳感器檢測(cè)當(dāng)前載板是否傳出裝載臺(tái)，并且，由所述預(yù)熱腔 的位置傳感器檢測(cè)當(dāng)前載板是否傳輸?shù)筋A(yù)熱腔的指定位置，若是，則判定當(dāng)前載板正常傳 輸?shù)街付ㄎ恢?。?yōu)選的，所述傳輸模塊為裝載臺(tái)，所述反應(yīng)腔室為預(yù)熱腔，所述裝載臺(tái)設(shè)置有位置 傳感器；所述檢測(cè)當(dāng)前載板是否正常傳輸?shù)街付ㄎ恢玫牟襟E包括由所述裝載臺(tái)的位置傳感器檢測(cè)當(dāng)前載板是否傳出裝載臺(tái)，若是，則判定當(dāng)前載 板正常傳輸?shù)街付ㄎ恢?。?yōu)選的，所述傳輸模塊為卸載臺(tái)，所述反應(yīng)腔室為冷卻腔，所述卸載臺(tái)設(shè)置有位置 傳感器；所述檢測(cè)當(dāng)前載板是否正常傳輸?shù)街付ㄎ恢玫牟襟E包括由所述卸載臺(tái)的位置傳感器檢測(cè)當(dāng)前載板是否傳輸?shù)叫遁d臺(tái)的指定位置，若是， 則判定當(dāng)前載板正常傳輸?shù)街付ㄎ恢?。?yōu)選的，所述傳輸模塊為卸載臺(tái)，所述反應(yīng)腔室為冷卻腔，所述卸載臺(tái)和冷卻腔分 別設(shè)置有位置傳感器；所述檢測(cè)當(dāng)前載板是否正常傳輸?shù)街付ㄎ恢玫牟襟E包括由所述冷卻腔的位置傳感器檢測(cè)當(dāng)前載板是否傳出冷卻腔，并且，由所述卸載臺(tái) 的位置傳感器檢測(cè)當(dāng)前載板是否傳輸?shù)叫遁d臺(tái)的指定位置，若是，則判定當(dāng)前載板正常傳 輸?shù)街付ㄎ恢谩?yōu)選的，所述的方法，還包括若檢測(cè)當(dāng)前載板未正常傳輸?shù)街付ㄎ恢?，則維持所述傳輸模塊降至低位的操作功 能的關(guān)閉狀態(tài)。優(yōu)選的，所述傳輸模塊降至低位的操作功能的開(kāi)啟和關(guān)閉采用邏輯開(kāi)關(guān)控制。本發(fā)明實(shí)施例還公開(kāi)了一種等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備的載板傳輸控制系統(tǒng)，所 述等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備包括傳輸模塊和反應(yīng)腔室，所述的系統(tǒng)包括；低位功能關(guān)閉模塊，用于在傳輸模塊升至高位與相鄰的反應(yīng)腔室進(jìn)行當(dāng)前載板傳 輸時(shí)，關(guān)閉所述傳輸模塊降至低位的操作功能；傳輸檢測(cè)模塊，用于檢測(cè)當(dāng)前載板是否正常傳輸?shù)街付ㄎ恢?，若是，則觸發(fā)低位功 能開(kāi)啟模塊；低位功能開(kāi)啟模塊，用于開(kāi)啟所述傳輸模塊降至低位的操作功能；低位操作模塊，用于在所述傳輸模塊降至低位的操作功能開(kāi)啟的條件下，執(zhí)行傳 輸模塊降至低位的操作。優(yōu)選的，所述傳輸模塊為裝載臺(tái)，所述反應(yīng)腔室為預(yù)熱腔，所述預(yù)熱腔設(shè)置有位置 傳感器；所述傳輸檢測(cè)模塊包括第一檢測(cè)子模塊，用于由所述預(yù)熱腔的位置傳感器檢測(cè)當(dāng)前載板是否傳輸?shù)筋A(yù)熱 腔的指定位置，若是，則判定當(dāng)前載板正常傳輸?shù)街付ㄎ恢?。?yōu)選的，所述傳輸模塊為裝載臺(tái)，所述反應(yīng)腔室為預(yù)熱腔，所述裝載臺(tái)和預(yù)熱腔分 別設(shè)置有相應(yīng)的位置傳感器；所述傳輸檢測(cè)模塊包括
第二檢測(cè)子模塊，用于由所述裝載臺(tái)的位置傳感器檢測(cè)當(dāng)前載板是否傳出裝載 臺(tái)，并且，由所述預(yù)熱腔的位置傳感器檢測(cè)當(dāng)前載板是否傳輸?shù)筋A(yù)熱腔的指定位置，若是， 則判定當(dāng)前載板正常傳輸?shù)街付ㄎ恢?。?yōu)選的，所述傳輸模塊為裝載臺(tái)，所述反應(yīng)腔室為預(yù)熱腔，所述裝載臺(tái)設(shè)置有位置 傳感器；所述傳輸檢測(cè)模塊包括第三檢測(cè)子模塊，用于由所述裝載臺(tái)的位置傳感器檢測(cè)當(dāng)前載板是否傳出裝載 臺(tái)，若是，則判定當(dāng)前載板正常傳輸?shù)街付ㄎ恢?。?yōu)選的，所述傳輸模塊為卸載臺(tái)，所述反應(yīng)腔室為冷卻腔，所述卸載臺(tái)設(shè)置有位置 傳感器；所述傳輸檢測(cè)模塊包括第四檢測(cè)子模塊，用于由所述卸載臺(tái)的位置傳感器檢測(cè)當(dāng)前載板是否傳輸?shù)叫遁d 臺(tái)的指定位置，若是，則判定當(dāng)前載板正常傳輸?shù)街付ㄎ恢?。?yōu)選的，所述傳輸模塊為卸載臺(tái)，所述反應(yīng)腔室為冷卻腔，所述卸載臺(tái)和冷卻腔分 別設(shè)置有位置傳感器；所述傳輸檢測(cè)模塊包括第五檢測(cè)子模塊，用于由所述冷卻腔的位置傳感器檢測(cè)當(dāng)前載板是否傳出冷卻 腔，并且，由所述卸載臺(tái)的位置傳感器檢測(cè)當(dāng)前載板是否傳輸?shù)叫遁d臺(tái)的指定位置，若是， 則判定當(dāng)前載板正常傳輸?shù)街付ㄎ恢?。?yōu)選的，所述傳輸模塊降至低位的操作功能的開(kāi)啟和關(guān)閉采用邏輯開(kāi)關(guān)控制。本發(fā)明實(shí)施例還公開(kāi)了一種等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備，包括傳輸模塊和反應(yīng)腔 室，所述的設(shè)備還包括；邏輯開(kāi)關(guān)模塊，與傳輸模塊連接，用于在傳輸模塊升至高位與相鄰的反應(yīng)腔室進(jìn) 行當(dāng)前載板傳輸時(shí)，關(guān)閉所述傳輸模塊降至低位的操作功能；以及，在檢測(cè)到當(dāng)前載板正常 傳輸?shù)街付ㄎ恢脮r(shí)，開(kāi)啟所述傳輸模塊降至低位的操作功能；低位操作模塊，用于在所述傳輸模塊降至低位的操作功能開(kāi)啟的條件下，執(zhí)行傳 輸模塊降至低位的操作。優(yōu)選的，所述傳輸模塊為裝載臺(tái)，所述反應(yīng)腔室為預(yù)熱腔；和/或，所述傳輸模塊 為卸載臺(tái)，所述反應(yīng)腔室為冷卻腔。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn)首先，本發(fā)明針對(duì)等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備中，由于傳輸異常，如傳輸模塊的位 置傳感器失效引起的載板摔落的情況，增加針對(duì)傳輸模塊降至低位操作功能的開(kāi)啟/關(guān)閉 控制機(jī)制，即在載板傳輸?shù)倪^(guò)程中，關(guān)閉傳輸模塊的降至低位的操作功能；只有在載板正常 傳輸?shù)街付ㄎ恢煤?，才開(kāi)啟傳輸模塊降至低位的操作功能；并且，只有當(dāng)前傳輸模塊降至低 位的操作功能開(kāi)啟的條件下，才能執(zhí)行將傳輸模塊降至低位的操作。應(yīng)用本發(fā)明，如果當(dāng)前 載板沒(méi)有正常傳輸?shù)街付ㄎ恢茫瑒t傳輸模塊降至低位的操作功能總會(huì)處于關(guān)閉狀態(tài)(只有 在當(dāng)前載板正常傳輸?shù)街付ㄎ恢脮r(shí)，才開(kāi)啟傳輸模塊降至低位的操作功能)，由于只有在傳 輸模塊降至低位的操作功能開(kāi)啟的條件下，才能執(zhí)行傳輸模塊降至低位的操作，所以一旦 載板傳輸出現(xiàn)異常情況，傳輸模塊降至低位的操作功能就不會(huì)被開(kāi)啟，將會(huì)一直處于關(guān)閉 狀態(tài)，使傳輸模塊無(wú)法執(zhí)行從高位降至低位的操作，從而不會(huì)導(dǎo)致載板從高處摔落的情形 出現(xiàn)，因而本發(fā)明實(shí)施例提高了載板傳輸?shù)陌踩?，降低了生產(chǎn)成本，提高了生產(chǎn)效率。再者，本發(fā)明在載板傳輸正常時(shí)，傳輸模塊降至低位的操作功能會(huì)被開(kāi)啟，在傳輸模塊降至低位的操作功能開(kāi)啟狀態(tài)下，并不會(huì)影響傳輸模塊降至低位的操作，因而本發(fā)明 并不會(huì)影響或干擾正常的載板傳輸過(guò)程。并且，本發(fā)明無(wú)需增加硬件，占用資源較少，且易于實(shí)現(xiàn)。


圖1是一種In-line PECVD設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是在In-line PECVD設(shè)備中載板從裝載臺(tái)到預(yù)熱腔之間進(jìn)行傳輸?shù)氖疽鈭D；圖3是在In-line PECVD設(shè)備中載板從冷卻腔到卸載臺(tái)之間進(jìn)行傳輸?shù)氖疽鈭D；圖4是本發(fā)明的一種等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備的載板傳輸控制方法實(shí)施例1的 步驟流程圖；圖5是本發(fā)明的一種等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備的載板傳輸控制方法實(shí)施例2的 步驟流程圖；圖6是本發(fā)明的一種等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備的載板傳輸控制方法實(shí)施例3的 步驟流程圖；圖7是本發(fā)明的本發(fā)明的一種等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備的載板傳輸控制系統(tǒng) 實(shí)施例的結(jié)構(gòu)框圖；圖8是本發(fā)明的一種等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備的結(jié)構(gòu)框圖。
具體實(shí)施例方式為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖和具體實(shí) 施方式對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說(shuō)明。本發(fā)明可用于眾多通用或?qū)Ｓ玫挠?jì)算系統(tǒng)環(huán)境或配置中。例如多處理器系統(tǒng)、服 務(wù)器、網(wǎng)絡(luò)PC、小型計(jì)算機(jī)、大型計(jì)算機(jī)、包括以上任何系統(tǒng)或設(shè)備的分布式計(jì)算環(huán)境等等。本發(fā)明可以在由計(jì)算機(jī)執(zhí)行的計(jì)算機(jī)可執(zhí)行指令的一般上下文中描述，例如程序 單元。一般地，程序單元包括執(zhí)行特定任務(wù)或?qū)崿F(xiàn)特定抽象數(shù)據(jù)類型的例程、程序、對(duì)象、組 件、數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu)等等。也可以在分布式計(jì)算環(huán)境中實(shí)踐本發(fā)明，在這些分布式計(jì)算環(huán)境中，由 通過(guò)通信網(wǎng)絡(luò)而被連接的遠(yuǎn)程處理設(shè)備來(lái)執(zhí)行任務(wù)。在分布式計(jì)算環(huán)境中，程序單元可以 位于包括存儲(chǔ)設(shè)備在內(nèi)的本地和遠(yuǎn)程計(jì)算機(jī)存儲(chǔ)介質(zhì)中。本發(fā)明實(shí)施例的核心構(gòu)思之一在于，增加針對(duì)傳輸模塊降至低位的操作功能的開(kāi) 啟/關(guān)閉控制機(jī)制，即在載板傳輸?shù)倪^(guò)程中，關(guān)閉傳輸模塊的降至低位的操作功能；只有在 載板正常傳輸?shù)街付ㄎ恢煤螅砰_(kāi)啟傳輸模塊降至低位的操作功能；并且，只有當(dāng)前傳輸模 塊降至低位的操作功能開(kāi)啟的條件下，才能執(zhí)行將傳輸模塊降至低位的操作。參考圖4，示出了本發(fā)明的一種等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備的載板傳輸控制方法 實(shí)施例1的步驟流程圖，其中，所述等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備包括傳輸模塊和反應(yīng)腔室， 本實(shí)施例具體可以包括以下步驟步驟401、傳輸模塊升至高位與相鄰的反應(yīng)腔室進(jìn)行當(dāng)前載板傳輸，關(guān)閉所述傳輸 模塊降至低位的操作功能；步驟402、檢測(cè)當(dāng)前載板是否正常傳輸?shù)街付ㄎ恢?，若是，則開(kāi)啟所述傳輸模塊降 至低位的操作功能；
步驟403、在所述傳輸模塊降至低位的操作功能開(kāi)啟的條件下，執(zhí)行傳輸模塊降至 低位的操作。應(yīng)用本發(fā)明，如果當(dāng)前載板沒(méi)有正常傳輸?shù)街付ㄎ恢?，則傳輸模塊降至低位的操 作功能總會(huì)處于關(guān)閉狀態(tài)(只有在當(dāng)前載板正常傳輸?shù)街付ㄎ恢脮r(shí)，才開(kāi)啟傳輸模塊降至 低位的操作功能)，由于只有在傳輸模塊降至低位的操作功能開(kāi)啟的條件下，才能執(zhí)行傳輸 模塊降至低位的操作，所以一旦載板傳輸出現(xiàn)異常情況，傳輸模塊降至低位的操作功能就 不會(huì)被開(kāi)啟，將會(huì)一直處于關(guān)閉狀態(tài)，使傳輸模塊無(wú)法執(zhí)行從高位降至低位的操作，從而不 會(huì)導(dǎo)致載板從高處摔落的情形出現(xiàn)，因而本發(fā)明實(shí)施例提高了載板傳輸?shù)陌踩裕档土?生產(chǎn)成本，提高了生產(chǎn)效率。參考圖5，示出了本發(fā)明的一種等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備的載板傳輸控制方法 實(shí)施例2的步驟流程圖，其中，所述等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備包括裝載臺(tái)和預(yù)熱腔，所述 裝載臺(tái)和預(yù)熱腔分別設(shè)置有位置傳感器，本實(shí)施例具體可以包括以下步驟步驟501、裝載臺(tái)升至高位與預(yù)熱腔進(jìn)行當(dāng)前載板傳輸，關(guān)閉所述裝載臺(tái)降至低位 的操作功能；步驟502、檢測(cè)當(dāng)前載板是否正常傳輸?shù)街付ㄎ恢茫羰?，則執(zhí)行步驟503 ；否則， 執(zhí)行步驟504 ；步驟503、開(kāi)啟所述裝載臺(tái)降至低位的操作功能；步驟504、維持所述裝載臺(tái)降至低位的操作功能的關(guān)閉狀態(tài)；步驟505、在所述裝載臺(tái)降至低位的操作功能開(kāi)啟的條件下，執(zhí)行裝載臺(tái)降至低位 的操作。在本實(shí)施例中，所述檢測(cè)當(dāng)前載板是否正常傳輸?shù)街付ㄎ恢玫姆椒ㄓ腥缦聨追N方法1 由所述預(yù)熱腔的位置傳感器檢測(cè)當(dāng)前載板是否傳輸?shù)筋A(yù)熱腔的指定位置，若是， 則判定當(dāng)前載板正常傳輸?shù)街付ㄎ恢?。例如，結(jié)合圖2所示的載板從裝載臺(tái)到預(yù)熱腔之間傳輸?shù)氖纠?，?dāng)裝載臺(tái)從低位 裝載載板a后，升至高位將載板a傳輸至預(yù)熱腔，此時(shí)，預(yù)熱腔的位置傳感器PS2檢測(cè)到載 板a正常傳輸?shù)狡渲付ㄎ恢?，即PS2 = 1，則開(kāi)啟所述裝載臺(tái)降至低位的操作功能；在這種 情況下，如無(wú)其它低位操作條件，裝載臺(tái)就可以降至低位裝載下一塊載板b。方法2 由所述裝載臺(tái)的位置傳感器檢測(cè)當(dāng)前載板是否傳出裝載臺(tái)，并且，由所述預(yù)熱腔 的位置傳感器檢測(cè)當(dāng)前載板是否傳輸?shù)筋A(yù)熱腔的指定位置，若是，則判定當(dāng)前載板正常傳 輸?shù)街付ㄎ恢谩＠?，結(jié)合圖2所示的載板從裝載臺(tái)到預(yù)熱腔之間傳輸?shù)氖纠?，?dāng)裝載臺(tái)從低位 裝載載板a后，升至高位將載板a傳輸至預(yù)熱腔，此時(shí)，如果裝載臺(tái)的位置傳感器PSl檢測(cè) 到載板a已傳出裝載臺(tái)，即PSl = 0 ；并且，預(yù)熱腔的位置傳感器PS2檢測(cè)到載板a正常傳 輸?shù)狡渲付ㄎ恢?，即PS2 = 1，則開(kāi)啟所述裝載臺(tái)降至低位的操作功能；在這種情況下，如無(wú) 其它低位操作條件，裝載臺(tái)就可以降至低位裝載下一塊載板b。方法3 由所述裝載臺(tái)的位置傳感器檢測(cè)當(dāng)前載板是否傳出裝載臺(tái)，若是，則判定當(dāng)前載板正常傳輸?shù)街付ㄎ恢?。例如，結(jié)合圖2所示的載板從裝載臺(tái)到預(yù)熱腔之間傳輸?shù)氖纠?，?dāng)裝載臺(tái)從低位 裝載載板a后，升至高位將載板a傳輸至預(yù)熱腔，此時(shí)，如果裝載臺(tái)的位置傳感器PSl檢測(cè) 到載板a已傳出裝載臺(tái)，即PSl = 0，則開(kāi)啟所述裝載臺(tái)降至低位的操作功能；在這種情況 下，如無(wú)其它低位操作條件，裝載臺(tái)就可以降至低位裝載下一塊載板b。在具體實(shí)現(xiàn)中，對(duì)于裝載臺(tái)降至低位操作的觸發(fā)，往往可能設(shè)置有其它低位操作 條件，為使本領(lǐng)域技術(shù)人員更好地理解本發(fā)明，以下提供一種實(shí)際生產(chǎn)環(huán)境中應(yīng)用本發(fā)明 實(shí)施例的具體示例。結(jié)合圖2所示的載板從裝載臺(tái)到預(yù)熱腔之間傳輸?shù)氖纠?，圖2中所示Ml、M2是驅(qū) 動(dòng)裝載臺(tái)上載板傳動(dòng)的伺服電機(jī)；M3、M4是驅(qū)動(dòng)預(yù)熱腔上載板傳動(dòng)的伺服電機(jī)；PSl是裝 載臺(tái)檢測(cè)有無(wú)載板的位置傳感器；PS2是預(yù)熱腔判斷載板是否到達(dá)其指定位置的位置傳感 器，位置傳感器的值為1表示在相應(yīng)位置檢測(cè)到有載板，為0表示在相應(yīng)位置檢測(cè)到無(wú)載 板。當(dāng)載板從裝載臺(tái)傳至預(yù)熱腔時(shí)，M1、M2、M3、M4四個(gè)伺服電機(jī)將順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)，從而帶 動(dòng)載板從左至右傳至預(yù)熱腔，傳輸是否到位的判斷是以PS2為1為標(biāo)志，即PS2為1表示載 板正常從裝載臺(tái)傳輸?shù)筋A(yù)熱腔，在載板正常傳輸?shù)轿粫r(shí)，M1、M2、M3、M4四個(gè)伺服電機(jī)將停止轉(zhuǎn)動(dòng)。PS2為0表示載板未正常從裝載臺(tái)傳輸?shù)筋A(yù)熱腔。在實(shí)際生產(chǎn)中，對(duì)于載板在 In-line PECVD設(shè)備各個(gè)模塊之間的傳輸都分別設(shè)置有超時(shí)控制機(jī)制，如果在規(guī)定的時(shí)間 內(nèi)載板沒(méi)有正常傳輸?shù)轿?，設(shè)備將會(huì)發(fā)出超時(shí)報(bào)警信號(hào)。例如，假設(shè)設(shè)置載板從裝載臺(tái)至預(yù) 熱腔的傳輸時(shí)間為30秒，如果經(jīng)過(guò)30秒后，PS2仍為0，則會(huì)觸發(fā)超時(shí)報(bào)警信號(hào)。在這種情 況下，M1、M2、M3、M4四個(gè)伺服電機(jī)也將停止轉(zhuǎn)動(dòng)?；谶@種生產(chǎn)環(huán)境，應(yīng)用本發(fā)明實(shí)施例將載板從裝載臺(tái)傳輸至預(yù)熱腔的具體過(guò)程 為步驟S31、裝載臺(tái)升至高位準(zhǔn)備向預(yù)熱腔傳輸載板，此時(shí)關(guān)閉控制裝載臺(tái)下降的邏 輯開(kāi)關(guān)，以禁止裝載臺(tái)降至低位；步驟S32、啟動(dòng)裝載臺(tái)和預(yù)熱腔的伺服電機(jī)M1、M2、M3和M4，開(kāi)始進(jìn)行載板傳輸；步驟S33、預(yù)熱腔的位置傳感器PS2是否為1 (載板是否在預(yù)置時(shí)間內(nèi)傳輸至指定 位置)，若為1，則執(zhí)行步驟S34 ；若為0，則執(zhí)行步驟S35 ；步驟S34、停止伺服電機(jī)Ml、 、M3和M4，并且，打開(kāi)控制裝載臺(tái)下降的邏輯開(kāi)關(guān)；步驟S35、發(fā)出超時(shí)報(bào)警信息，停止伺服電機(jī)M1、M2、M3和M4，保持控制裝載臺(tái)下降 的邏輯開(kāi)關(guān)的關(guān)閉狀態(tài)；步驟S36、判斷PSl是否為0，且PS2是否為1 ；若是，則執(zhí)行下一步驟；否則，不執(zhí) 行裝載臺(tái)降至低位的操作；步驟S37、判斷裝載臺(tái)的伺服電機(jī)Ml和M2是否停止，若是，則執(zhí)行下一步驟；否 則，不執(zhí)行裝載臺(tái)降至低位的操作；步驟S38、判斷控制裝載臺(tái)下降的邏輯開(kāi)關(guān)是否打開(kāi)，若是，則執(zhí)行步驟S39;否 則，不執(zhí)行裝載臺(tái)降至低位的操作；步驟S39、將裝載臺(tái)降至低位以裝載下一塊載板。
參考圖6，示出了本發(fā)明的一種等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備的載板傳輸控制方法 實(shí)施例3的步驟流程圖，其中，所述等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備包括卸載臺(tái)和冷卻腔，所述 卸載臺(tái)和冷卻腔分別設(shè)置有位置傳感器，本實(shí)施例具體可以包括以下步驟步驟601、卸載臺(tái)升至高位與冷卻腔進(jìn)行當(dāng)前載板傳輸，關(guān)閉所述卸載臺(tái)降至低位 的操作功能；步驟602、檢測(cè)當(dāng)前載板是否正常傳輸?shù)街付ㄎ恢茫羰?，則執(zhí)行步驟603 ；否則， 執(zhí)行步驟604 ；步驟603、開(kāi)啟所述卸載臺(tái)降至低位的操作功能；步驟604、維持所述卸載臺(tái)降至低位的操作功能的關(guān)閉狀態(tài)；步驟605、在所述卸載臺(tái)降至低位的操作功能開(kāi)啟的條件下，執(zhí)行卸載臺(tái)降至低位 的操作。在本實(shí)施例中，所述檢測(cè)當(dāng)前載板是否正常傳輸?shù)街付ㄎ恢玫姆椒ㄓ腥缦聨追N方法1:由所述卸載臺(tái)的位置傳感器檢測(cè)當(dāng)前載板是否傳輸?shù)叫遁d臺(tái)的指定位置，若是， 則判定當(dāng)前載板正常傳輸?shù)街付ㄎ恢?。例如，結(jié)合圖3所示的載板從冷卻腔到卸載臺(tái)之間傳輸?shù)氖纠?dāng)卸載臺(tái)從高位 取到載板a后，如果卸載臺(tái)的位置傳感器PS3檢測(cè)到載板a正常傳輸?shù)狡渲付ㄎ恢?，即PS3 =1，則開(kāi)啟所述卸載臺(tái)降至低位的操作功能；在這種情況下，如無(wú)其它低位操作條件，卸 載臺(tái)就可以降至低位裝載下一塊載板b。方法2:由所述冷卻腔的位置傳感器檢測(cè)當(dāng)前載板是否傳出冷卻腔，并且，由所述卸載臺(tái) 的位置傳感器檢測(cè)當(dāng)前載板是否傳輸?shù)叫遁d臺(tái)的指定位置，若是，則判定當(dāng)前載板正常傳 輸?shù)街付ㄎ恢?。例如，結(jié)合圖3所示的載板從裝載臺(tái)到預(yù)熱腔之間傳輸?shù)氖纠?dāng)載板a從冷卻腔 傳出，再傳入位于高位的卸載臺(tái)后，如果冷卻腔的位置傳感器PS4檢測(cè)到載板a已傳出裝 載臺(tái)，即PS4 = 0 ；并且，卸載臺(tái)的位置傳感器PS3檢測(cè)到載板a正常傳輸?shù)狡渲付ㄎ恢?，?PS3 = 1，則開(kāi)啟所述卸載臺(tái)降至低位的操作功能；在這種情況下，如無(wú)其它低位操作條件， 卸載臺(tái)就可以降至低位裝載下一塊載板b。在實(shí)際中，對(duì)于卸載臺(tái)降至低位操作的觸發(fā)，往往可能設(shè)置有其它低位操作條件， 為使本領(lǐng)域技術(shù)人員更好地理解本發(fā)明，以下提供一種實(shí)際生產(chǎn)環(huán)境中應(yīng)用本發(fā)明實(shí)施例 的具體示例。結(jié)合圖3所示的載板從冷卻腔到卸載臺(tái)之間傳輸?shù)氖纠?，圖3中所示M5、M6是驅(qū) 動(dòng)冷卻腔上載板傳動(dòng)的伺服電機(jī)；M7、M8是驅(qū)動(dòng)卸載臺(tái)上載板傳動(dòng)的伺服電機(jī)；PS3是卸 載臺(tái)檢測(cè)有無(wú)載板的位置傳感器；PS4是冷卻腔判斷載板是否到達(dá)其指定位置的位置傳感 器，位置傳感器的值為1表示在相應(yīng)位置檢測(cè)到有載板，為0表示在相應(yīng)位置檢測(cè)到無(wú)載 板。當(dāng)載板從冷卻腔傳至卸載臺(tái)時(shí)，M5、M6、M7、M8四個(gè)伺服電機(jī)將順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)，從而帶 動(dòng)載板從左至右傳至卸載臺(tái)，傳輸是否到位的判斷是以PS3為1為標(biāo)志，即PS3為1表示載 板正常從冷卻腔傳輸?shù)叫遁d臺(tái)，在載板正常傳輸?shù)轿粫r(shí)，M5、M6、M7、M8四個(gè)伺服電機(jī)將停止轉(zhuǎn)動(dòng)。PS3為0表示載板未正常從冷卻腔傳輸?shù)叫遁d臺(tái)。在實(shí)際生產(chǎn)中，對(duì)于載板在 In-line PECVD設(shè)備各個(gè)模塊之間的傳輸都分別設(shè)置有超時(shí)控制機(jī)制，如果在規(guī)定的時(shí)間 內(nèi)載板沒(méi)有正常傳輸?shù)轿?，設(shè)備將會(huì)發(fā)出超時(shí)報(bào)警信號(hào)。例如，假設(shè)設(shè)置載板從冷卻腔至卸 載臺(tái)的傳輸時(shí)間為30秒，如果經(jīng)過(guò)30秒后，PS3仍為0，則會(huì)觸發(fā)超時(shí)報(bào)警信號(hào)。在這種情 況下，M5、M6、M7、M8四個(gè)伺服電機(jī)也將停止轉(zhuǎn)動(dòng)。基于這種生產(chǎn)環(huán)境，應(yīng)用本發(fā)明實(shí)施例將載板從冷卻腔傳輸至卸載臺(tái)的具體過(guò)程 為步驟S41、卸載臺(tái)升至高位準(zhǔn)備接收冷卻腔傳出的載板，此時(shí)關(guān)閉控制卸載臺(tái)下降 的邏輯開(kāi)關(guān)，以禁止卸載臺(tái)降至低位；步驟S42、啟動(dòng)冷卻腔和卸載臺(tái)的伺服電機(jī)M5、M6、M7和M8，開(kāi)始進(jìn)行載板傳輸；步驟S43、卸載臺(tái)的位置傳感器PS3是否為1 (載板是否在預(yù)置時(shí)間內(nèi)傳輸至指定 位置)，若為1，則執(zhí)行步驟S44 ；若為0，則執(zhí)行步驟S45 ；步驟S44、停止伺服電機(jī)M5、M6、M7和M8，并且，打開(kāi)控制卸載臺(tái)下降的邏輯開(kāi)關(guān)；步驟S45、發(fā)出超時(shí)報(bào)警信息，停止伺服電機(jī)M5、M6、M7和M8，保持控制卸載臺(tái)下降 的邏輯開(kāi)關(guān)的關(guān)閉狀態(tài)；步驟S46、判斷PS4是否為0，且PS3是否為1 ；若是，則執(zhí)行下一步驟；否則，不執(zhí) 行卸載臺(tái)降至低位的操作；步驟S47、判斷卸載臺(tái)的伺服電機(jī)M7和M8是否停止，若是，則執(zhí)行下一步驟；否 則，不執(zhí)行卸載臺(tái)降至低位的操作；步驟S48、判斷控制卸載臺(tái)下降的邏輯開(kāi)關(guān)是否打開(kāi)，若是，則執(zhí)行步驟S49;否 則，不執(zhí)行卸載臺(tái)降至低位的操作；步驟S49、將卸載臺(tái)降至低位以接收下一塊載板。在實(shí)際中，對(duì)于In-line PECVD設(shè)備中的裝載臺(tái)和卸載臺(tái)而言，可以分別對(duì)其降至 低位的操作功能進(jìn)行控制，如針對(duì)裝載臺(tái)降至低位的操作功能配置第一邏輯開(kāi)關(guān)，針對(duì)卸 載臺(tái)降至低位的操作功能配置第二邏輯開(kāi)關(guān)，在載板傳輸過(guò)程中，通過(guò)該第一邏輯開(kāi)關(guān)和 第二邏輯開(kāi)關(guān)，分別對(duì)裝載臺(tái)降至低位的操作功能和卸載臺(tái)降至低位的操作功能進(jìn)行關(guān)閉 /開(kāi)啟控制。在本發(fā)明實(shí)施例中，對(duì)于所述傳輸模塊的降至低位的操作功能的開(kāi)啟和關(guān)閉可以 采用實(shí)際中任一種方法，例如，除上述設(shè)置邏輯開(kāi)關(guān)的方法外，還可以通過(guò)設(shè)置可用狀態(tài)或 和不可用狀態(tài)進(jìn)行控制，即將傳輸模塊的降至低位的操作功能置為不可用狀態(tài)則關(guān)閉所述 降至低位的操作功能，將傳輸模塊的降至低位的操作功能置為可用狀態(tài)則開(kāi)啟所述降至低 位的操作功能，本發(fā)明對(duì)此無(wú)需加以限制。需要說(shuō)明的是，本說(shuō)明書(shū)中的各個(gè)方法實(shí)施例均采用遞進(jìn)的方式描述，每個(gè)實(shí)施 例重點(diǎn)說(shuō)明的都是與其他實(shí)施例的不同之處，各個(gè)實(shí)施例之間相同相似的部分互相參見(jiàn)即 可。并且，對(duì)于前述的各方法實(shí)施例，為了簡(jiǎn)單描述，故將其都表述為一系列的動(dòng)作組合，但 是本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該知悉，本發(fā)明并不受所描述的動(dòng)作順序的限制，因?yàn)橐罁?jù)本發(fā)明，某 些步驟可以采用其他順序或者同時(shí)進(jìn)行。其次，本領(lǐng)域技術(shù)人員也應(yīng)該知悉，說(shuō)明書(shū)中所描 述的實(shí)施例均屬于優(yōu)選實(shí)施例，所涉及的動(dòng)作和單元并不一定是本發(fā)明所必須的。
參考圖7，示出了本發(fā)明的一種等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備的載板傳輸控制系統(tǒng) 實(shí)施例的結(jié)構(gòu)框圖，其中，所述等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備包括傳輸模塊和反應(yīng)腔室，本實(shí) 施例具體可以包括以下模塊；低位功能關(guān)閉模塊71，用于在傳輸模塊升至高位與相鄰的反應(yīng)腔室進(jìn)行當(dāng)前載板 傳輸時(shí)，關(guān)閉所述傳輸模塊降至低位的操作功能；傳輸檢測(cè)模塊72，用于檢測(cè)當(dāng)前載板是否正常傳輸?shù)街付ㄎ恢?，若是，則觸發(fā)低位 功能開(kāi)啟模塊73;低位功能開(kāi)啟模塊73，用于開(kāi)啟所述傳輸模塊降至低位的操作功能；低位操作模塊74，用于在所述傳輸模塊降至低位的操作功能開(kāi)啟的條件下，執(zhí)行 傳輸模塊降至低位的操作。作為一種具體應(yīng)用的示例，所述傳輸模塊可以為裝載臺(tái)，所述反應(yīng)腔室可以為預(yù) 熱腔，所述預(yù)熱腔設(shè)置有位置傳感器；在這種情況下，所述傳輸檢測(cè)模塊可以包括以下子模 塊第一檢測(cè)子模塊，用于由所述預(yù)熱腔的位置傳感器檢測(cè)當(dāng)前載板是否傳輸?shù)筋A(yù)熱 腔的指定位置，若是，則判定當(dāng)前載板正常傳輸?shù)街付ㄎ恢?。作為另一種具體應(yīng)用的示例，所述傳輸模塊可以為裝載臺(tái)，所述反應(yīng)腔室可以為 預(yù)熱腔，所述裝載臺(tái)和預(yù)熱腔分別設(shè)置有相應(yīng)的位置傳感器；在這種情況下，所述傳輸檢測(cè) 模塊可以包括以下子模塊第二檢測(cè)子模塊，用于由所述裝載臺(tái)的位置傳感器檢測(cè)當(dāng)前載板是否傳出裝載 臺(tái)，并且，由所述預(yù)熱腔的位置傳感器檢測(cè)當(dāng)前載板是否傳輸?shù)筋A(yù)熱腔的指定位置，若是， 則判定當(dāng)前載板正常傳輸?shù)街付ㄎ恢谩Ｗ鳛榱硪环N具體應(yīng)用的示例，所述傳輸模塊可以為裝載臺(tái)，所述反應(yīng)腔室可以為 預(yù)熱腔，所述裝載臺(tái)設(shè)置有位置傳感器；在這種情況下，所述傳輸檢測(cè)模塊可以包括以下子 模塊第三檢測(cè)子模塊，用于由所述裝載臺(tái)的位置傳感器檢測(cè)當(dāng)前載板是否傳出裝載 臺(tái)，若是，則判定當(dāng)前載板正常傳輸?shù)街付ㄎ恢?。作為另一種具體應(yīng)用的示例，所述傳輸模塊可以為卸載臺(tái)，所述反應(yīng)腔室可以為 冷卻腔，所述卸載臺(tái)設(shè)置有位置傳感器；在這種情況下，所述傳輸檢測(cè)模塊可以包括以下子 模塊第四檢測(cè)子模塊，用于由所述卸載臺(tái)的位置傳感器檢測(cè)當(dāng)前載板是否傳輸?shù)叫遁d 臺(tái)的指定位置，若是，則判定當(dāng)前載板正常傳輸?shù)街付ㄎ恢?。作為另一種具體應(yīng)用的示例，所述傳輸模塊可以為為卸載臺(tái)，所述反應(yīng)腔室可以 為冷卻腔，所述卸載臺(tái)和冷卻腔分別設(shè)置有位置傳感器；在這種情況下，所述傳輸檢測(cè)模塊 可以包括以下子模塊第五檢測(cè)子模塊，用于由所述冷卻腔的位置傳感器檢測(cè)當(dāng)前載板是否傳出冷卻 腔，并且，由所述卸載臺(tái)的位置傳感器檢測(cè)當(dāng)前載板是否傳輸?shù)叫遁d臺(tái)的指定位置，若是， 則判定當(dāng)前載板正常傳輸?shù)街付ㄎ恢谩Ｔ诰唧w實(shí)現(xiàn)中，所述傳輸模塊降至低位的操作功能的開(kāi)啟和關(guān)閉可以采用邏輯開(kāi) 關(guān)控制。
由于本發(fā)明的系統(tǒng)實(shí)施例基本相應(yīng)于前述方法實(shí)施例，故上述系統(tǒng)實(shí)施例中的描 述未詳盡之處，可以參見(jiàn)前述方法實(shí)施例中的相關(guān)說(shuō)明，在此就不贅述了。參考圖8，示出了本發(fā)明的一種等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備的結(jié)構(gòu)框圖，具體可以 包括傳輸模塊801和反應(yīng)腔室802 ；邏輯開(kāi)關(guān)模塊803，與傳輸模塊801連接，用于在傳輸模塊升至高位與相鄰的反應(yīng) 腔室進(jìn)行當(dāng)前載板傳輸時(shí)，關(guān)閉所述傳輸模塊降至低位的操作功能；以及，在檢測(cè)到當(dāng)前載 板正常傳輸?shù)街付ㄎ恢脮r(shí)，開(kāi)啟所述傳輸模塊降至低位的操作功能；低位操作模塊804，用于在所述傳輸模塊降至低位的操作功能開(kāi)啟的條件下，執(zhí)行 傳輸模塊降至低位的操作。在具體實(shí)現(xiàn)中，若檢測(cè)到當(dāng)前載板未能正常傳輸?shù)街付ㄎ恢茫壿嬮_(kāi)關(guān)模塊將維 持所述傳輸模塊降至低位的操作功能的關(guān)閉狀態(tài)。對(duì)于In-I ine PECVD設(shè)備而言，所述傳輸模塊可以為裝載臺(tái)，所述反應(yīng)腔室可以為 預(yù)熱腔，所述裝載臺(tái)和預(yù)熱腔均設(shè)置有位置傳感器，在這種情況下，邏輯開(kāi)關(guān)模塊開(kāi)啟裝載 臺(tái)降至低位的操作功能所依賴的條件檢測(cè)當(dāng)前載板是否正常傳輸?shù)街付ㄎ恢?，則可以采 用如下幾種方法確定方法1 由所述預(yù)熱腔的位置傳感器檢測(cè)當(dāng)前載板是否傳輸?shù)筋A(yù)熱腔的指定位 置，若是，則判定當(dāng)前載板正常傳輸?shù)街付ㄎ恢?；方? 由所述裝載臺(tái)的位置傳感器檢測(cè)當(dāng)前載板是否傳出裝載臺(tái)，并且，由所述 預(yù)熱腔的位置傳感器檢測(cè)當(dāng)前載板是否傳輸?shù)筋A(yù)熱腔的指定位置，若是，則判定當(dāng)前載板 正常傳輸?shù)街付ㄎ恢茫环椒?:由所述裝載臺(tái)的位置傳感器檢測(cè)當(dāng)前載板是否傳出裝載臺(tái)，若是，則判定 當(dāng)前載板正常傳輸?shù)街付ㄎ恢?。?duì)于In-I ine PECVD設(shè)備而言，所述傳輸模塊還可以為卸載臺(tái)，所述反應(yīng)腔室還可 以為冷卻腔，所述冷卻腔和卸載臺(tái)均設(shè)置有位置傳感器；在這種情況下，邏輯開(kāi)關(guān)模塊開(kāi)啟 卸載臺(tái)降至低位的操作功能所依賴的條件檢測(cè)當(dāng)前載板是否正常傳輸?shù)街付ㄎ恢?，則可 以采用如下幾種方法確定方法4:由所述卸載臺(tái)的位置傳感器檢測(cè)當(dāng)前載板是否傳輸?shù)叫遁d臺(tái)的指定位 置，若是，則判定當(dāng)前載板正常傳輸?shù)街付ㄎ恢?。方? 由所述冷卻腔的位置傳感器檢測(cè)當(dāng)前載板是否傳出冷卻腔，并且，由所述 卸載臺(tái)的位置傳感器檢測(cè)當(dāng)前載板是否傳輸?shù)叫遁d臺(tái)的指定位置，若是，則判定當(dāng)前載板 正常傳輸?shù)街付ㄎ恢?。?duì)于上述裝置實(shí)施例而言，由于其與方法實(shí)施例基本相似，所以描述的比較簡(jiǎn)單， 相關(guān)之處參見(jiàn)方法實(shí)施例的部分說(shuō)明即可。最后，還需要說(shuō)明的是，在本文中，諸如第一和第二等之類的關(guān)系術(shù)語(yǔ)僅僅用來(lái)將 一個(gè)實(shí)體或者操作與另一個(gè)實(shí)體或操作區(qū)分開(kāi)來(lái)，而不一定要求或者暗示這些實(shí)體或操作 之間存在任何這種實(shí)際的關(guān)系或者順序。而且，術(shù)語(yǔ)“包括”、“包含”或者其任何其他變體 意在涵蓋非排他性的包含，從而使得包括一系列要素的過(guò)程、方法、物品或者設(shè)備不僅包括 那些要素，而且還包括沒(méi)有明確列出的其他要素，或者是還包括為這種過(guò)程、方法、物品或者設(shè)備所固有的要素。在沒(méi)有更多限制的情況下，由語(yǔ)句“包括一個(gè)......”限定的要素，
并不排除在包括所述要素的過(guò)程、方法、物品或者設(shè)備中還存在另外的相同要素。
以上對(duì)本發(fā)明所提供的一種等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備的載板傳輸控制方法、一 種等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備的載板傳輸控制系統(tǒng)及一種等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備進(jìn) 行了詳細(xì)介紹，本文中應(yīng)用了具體個(gè)例對(duì)本發(fā)明的原理及實(shí)施方式進(jìn)行了闡述，以上實(shí)施 例的說(shuō)明只是用于幫助理解本發(fā)明的方法及其核心思想；同時(shí)，對(duì)于本領(lǐng)域的一般技術(shù)人 員，依據(jù)本發(fā)明的思想，在具體實(shí)施方式
及應(yīng)用范圍上均會(huì)有改變之處，綜上所述，本說(shuō)明 書(shū)內(nèi)容不應(yīng)理解為對(duì)本發(fā)明的限制。
權(quán)利要求
一種等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備的載板傳輸控制方法，其特征在于，所述等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備包括傳輸模塊和反應(yīng)腔室，所述的方法包括；傳輸模塊升至高位與相鄰的反應(yīng)腔室進(jìn)行當(dāng)前載板傳輸，關(guān)閉所述傳輸模塊降至低位的操作功能；檢測(cè)當(dāng)前載板是否正常傳輸?shù)街付ㄎ恢?，若是，則開(kāi)啟所述傳輸模塊降至低位的操作功能；在所述傳輸模塊降至低位的操作功能開(kāi)啟的條件下，執(zhí)行傳輸模塊降至低位的操作。
2.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述傳輸模塊為裝載臺(tái)，所述反應(yīng)腔室為預(yù) 熱腔，所述預(yù)熱腔設(shè)置有位置傳感器；所述檢測(cè)當(dāng)前載板是否正常傳輸?shù)街付ㄎ恢玫牟襟E 包括由所述預(yù)熱腔的位置傳感器檢測(cè)當(dāng)前載板是否傳輸?shù)筋A(yù)熱腔的指定位置，若是，則判 定當(dāng)前載板正常傳輸?shù)街付ㄎ恢谩?br> 3.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述傳輸模塊為裝載臺(tái)，所述反應(yīng)腔室為預(yù) 熱腔，所述裝載臺(tái)和預(yù)熱腔分別設(shè)置有相應(yīng)的位置傳感器；所述檢測(cè)當(dāng)前載板是否正常傳 輸?shù)街付ㄎ恢玫牟襟E包括由所述裝載臺(tái)的位置傳感器檢測(cè)當(dāng)前載板是否傳出裝載臺(tái)，并且，由所述預(yù)熱腔的位 置傳感器檢測(cè)當(dāng)前載板是否傳輸?shù)筋A(yù)熱腔的指定位置，若是，則判定當(dāng)前載板正常傳輸?shù)?指定位置。
4.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述傳輸模塊為裝載臺(tái)，所述反應(yīng)腔室為預(yù) 熱腔，所述裝載臺(tái)設(shè)置有位置傳感器；所述檢測(cè)當(dāng)前載板是否正常傳輸?shù)街付ㄎ恢玫牟襟E 包括由所述裝載臺(tái)的位置傳感器檢測(cè)當(dāng)前載板是否傳出裝載臺(tái)，若是，則判定當(dāng)前載板正 常傳輸?shù)街付ㄎ恢谩?br> 5.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述傳輸模塊為卸載臺(tái)，所述反應(yīng)腔室為冷 卻腔，所述卸載臺(tái)設(shè)置有位置傳感器；所述檢測(cè)當(dāng)前載板是否正常傳輸?shù)街付ㄎ恢玫牟襟E 包括由所述卸載臺(tái)的位置傳感器檢測(cè)當(dāng)前載板是否傳輸?shù)叫遁d臺(tái)的指定位置，若是，則判 定當(dāng)前載板正常傳輸?shù)街付ㄎ恢谩?br> 6.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述傳輸模塊為卸載臺(tái)，所述反應(yīng)腔室為冷 卻腔，所述卸載臺(tái)和冷卻腔分別設(shè)置有位置傳感器；所述檢測(cè)當(dāng)前載板是否正常傳輸?shù)街?定位置的步驟包括由所述冷卻腔的位置傳感器檢測(cè)當(dāng)前載板是否傳出冷卻腔，并且，由所述卸載臺(tái)的位 置傳感器檢測(cè)當(dāng)前載板是否傳輸?shù)叫遁d臺(tái)的指定位置，若是，則判定當(dāng)前載板正常傳輸?shù)?指定位置。
7.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，還包括若檢測(cè)當(dāng)前載板未正常傳輸?shù)街付ㄎ恢?，則維持所述傳輸模塊降至低位的操作功能的 關(guān)閉狀態(tài)。
8.如權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述傳輸模塊降至低位的操作功能的開(kāi)啟 和關(guān)閉采用邏輯開(kāi)關(guān)控制。
9.一種等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備的載板傳輸控制系統(tǒng)，其特征在于，所述等離子體 化學(xué)氣相沉積設(shè)備包括傳輸模塊和反應(yīng)腔室，所述的系統(tǒng)包括；低位功能關(guān)閉模塊，用于在傳輸模塊升至高位與相鄰的反應(yīng)腔室進(jìn)行當(dāng)前載板傳輸 時(shí)，關(guān)閉所述傳輸模塊降至低位的操作功能；傳輸檢測(cè)模塊，用于檢測(cè)當(dāng)前載板是否正常傳輸?shù)街付ㄎ恢?，若是，則觸發(fā)低位功能開(kāi) 啟模塊；低位功能開(kāi)啟模塊，用于開(kāi)啟所述傳輸模塊降至低位的操作功能；低位操作模塊，用于在所述傳輸模塊降至低位的操作功能開(kāi)啟的條件下，執(zhí)行傳輸模 塊降至低位的操作。
10.如權(quán)利要求9所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述傳輸模塊為裝載臺(tái)，所述反應(yīng)腔室為 預(yù)熱腔，所述預(yù)熱腔設(shè)置有位置傳感器；所述傳輸檢測(cè)模塊包括第一檢測(cè)子模塊，用于由所述預(yù)熱腔的位置傳感器檢測(cè)當(dāng)前載板是否傳輸?shù)筋A(yù)熱腔的 指定位置，若是，則判定當(dāng)前載板正常傳輸?shù)街付ㄎ恢谩?br> 11.如權(quán)利要求9所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述傳輸模塊為裝載臺(tái)，所述反應(yīng)腔室為 預(yù)熱腔，所述裝載臺(tái)和預(yù)熱腔分別設(shè)置有相應(yīng)的位置傳感器；所述傳輸檢測(cè)模塊包括第二檢測(cè)子模塊，用于由所述裝載臺(tái)的位置傳感器檢測(cè)當(dāng)前載板是否傳出裝載臺(tái)，并 且，由所述預(yù)熱腔的位置傳感器檢測(cè)當(dāng)前載板是否傳輸?shù)筋A(yù)熱腔的指定位置，若是，則判定 當(dāng)前載板正常傳輸?shù)街付ㄎ恢谩?br> 12.如權(quán)利要求9所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述傳輸模塊為裝載臺(tái)，所述反應(yīng)腔室為 預(yù)熱腔，所述裝載臺(tái)設(shè)置有位置傳感器；所述傳輸檢測(cè)模塊包括第三檢測(cè)子模塊，用于由所述裝載臺(tái)的位置傳感器檢測(cè)當(dāng)前載板是否傳出裝載臺(tái)，若 是，則判定當(dāng)前載板正常傳輸?shù)街付ㄎ恢谩?br> 13.如權(quán)利要求9所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述傳輸模塊為卸載臺(tái)，所述反應(yīng)腔室為 冷卻腔，所述卸載臺(tái)設(shè)置有位置傳感器；所述傳輸檢測(cè)模塊包括第四檢測(cè)子模塊，用于由所述卸載臺(tái)的位置傳感器檢測(cè)當(dāng)前載板是否傳輸?shù)叫遁d臺(tái)的 指定位置，若是，則判定當(dāng)前載板正常傳輸?shù)街付ㄎ恢谩?br> 14.如權(quán)利要求9所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述傳輸模塊為卸載臺(tái)，所述反應(yīng)腔室為 冷卻腔，所述卸載臺(tái)和冷卻腔分別設(shè)置有位置傳感器；所述傳輸檢測(cè)模塊包括第五檢測(cè)子模塊，用于由所述冷卻腔的位置傳感器檢測(cè)當(dāng)前載板是否傳出冷卻腔，并 且，由所述卸載臺(tái)的位置傳感器檢測(cè)當(dāng)前載板是否傳輸?shù)叫遁d臺(tái)的指定位置，若是，則判定 當(dāng)前載板正常傳輸?shù)街付ㄎ恢谩?br> 15.如權(quán)利要求9所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述傳輸模塊降至低位的操作功能的開(kāi)啟 和關(guān)閉采用邏輯開(kāi)關(guān)控制。
16.一種等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備，其特征在于，包括傳輸模塊和反應(yīng)腔室，所述的 設(shè)備還包括；邏輯開(kāi)關(guān)模塊，與傳輸模塊連接，用于在傳輸模塊升至高位與相鄰的反應(yīng)腔室進(jìn)行當(dāng) 前載板傳輸時(shí)，關(guān)閉所述傳輸模塊降至低位的操作功能；以及，在檢測(cè)到當(dāng)前載板正常傳輸 到指定位置時(shí)，開(kāi)啟所述傳輸模塊降至低位的操作功能；低位操作模塊，用于在所述傳輸模塊降至低位的操作功能開(kāi)啟的條件下，執(zhí)行傳輸模塊降至低位的操作。
17.如權(quán)利要求16所述的等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備，其特征在于，所述傳輸模塊為 裝載臺(tái)，所述反應(yīng)腔室為預(yù)熱腔；和/或，所述傳輸模塊為卸載臺(tái)，所述反應(yīng)腔室為冷卻腔。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備的載板傳輸控制方法，所述等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備包括傳輸模塊和反應(yīng)腔室，所述的方法包括；傳輸模塊升至高位與相鄰的反應(yīng)腔室進(jìn)行當(dāng)前載板傳輸，關(guān)閉所述傳輸模塊降至低位的操作功能；檢測(cè)當(dāng)前載板是否正常傳輸?shù)街付ㄎ恢?，若是，則開(kāi)啟所述傳輸模塊降至低位的操作功能；在所述傳輸模塊降至低位的操作功能開(kāi)啟的條件下，執(zhí)行傳輸模塊降至低位的操作。本發(fā)明可以防止載板摔落，提高載板傳輸?shù)陌踩裕瑥亩行Ы档蜕a(chǎn)成本，提高生產(chǎn)效率。
文檔編號(hào)C23C16/00GK101893879SQ20101019568
公開(kāi)日2010年11月24日 申請(qǐng)日期2010年6月1日 優(yōu)先權(quán)日2010年6月1日
發(fā)明者王永貴 申請(qǐng)人:北京北方微電子基地設(shè)備工藝研究中心有限責(zé)任公司