專(zhuān)利名稱(chēng)：：鋁合金厚板的制造方法及鋁合金厚板的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及鋁合金厚板的制造方法及鋁合金厚板。
背景技術(shù)：
：通常，鋁合金厚板等鋁合金材料，除了底部基板、輸送裝置、真空裝置用容器等半導(dǎo)體關(guān)聯(lián)裝置之外，還在電機(jī)電子零件和其制造裝置、生活用品、機(jī)械零件等各種各樣的用途中使用。這種鋁合金材料，通常是將作為原料的鋁合金進(jìn)行溶解、鑄造，制造鑄錠，根據(jù)需要進(jìn)行均質(zhì)化處理后，將該鑄錠軋制到規(guī)定的厚度，由此制造而成(例如，參照專(zhuān)利文獻(xiàn)l)。另外，作為用于沖壓用模型的模型原材，在批量生產(chǎn)中使用鋼鐵、鑄鋼等，另外作為試制用，使用鋅合金鑄造材、鋁合金鑄造材等。另外，近年，從多品種少量化的傾向，作為中小批量生產(chǎn)用，正在普及鋁合金的軋制或鍛造材等的延展性材。專(zhuān)利文獻(xiàn)l:特開(kāi)2005-344173號(hào)公報(bào)(段落00370045)但是，在上述軋制的鋁合金材料的制造方法中，存在如下的問(wèn)題。在鑄造后進(jìn)行軋制的方法中，軋制板的表面狀態(tài)及平坦度(尤其是長(zhǎng)度方向的平坦度)的控制只用軋制輥進(jìn)行，另外，熱軋制導(dǎo)致軋制板表面形成厚氧化皮膜，存在難以控制表面狀態(tài)及平坦度的問(wèn)題。另外，用軋制輥難以控制板厚，存在板厚精度惡化的問(wèn)題。在板厚方向中心部，金屬間化合物的尺寸變大，由此，在氧化鋁膜處理的情況下，存在板厚方向截面的表面產(chǎn)生不均勻的問(wèn)題。另外，在軋制鑄錠的場(chǎng)合，由于軋制次數(shù)的增加作業(yè)工序增加，由此，存在成本增大的問(wèn)題。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明是為解決上述問(wèn)題而幵發(fā)的，其目的在于提供生產(chǎn)性?xún)?yōu)異、容易控制表面狀態(tài)及平坦度、提高板厚精度的鋁合金厚板的制造方法及通過(guò)該制造方法得到的鋁合金厚板。為解決上述課題，本發(fā)明第一方面提供一種鋁合金厚板的制造方法，其特征在于，按順序進(jìn)行以下工序溶解鋁合金的溶解工序；從所述溶解工序溶解的鋁合金中除去氫的脫氫氣工序；從所述脫氫氣工序除去了氫氣的鋁合金中除去夾雜物的過(guò)濾工序；鑄造在所述過(guò)濾工序除去了夾雜物的鋁合金，從而制造鑄錠的鑄造工序；及將所述鑄錠切片成規(guī)定的厚度的切片工序。根據(jù)這種制造方法，通過(guò)將鋁合金厚板的Mn含量及規(guī)定元素的含量限定在規(guī)定范圍內(nèi)，增強(qiáng)鋁合金厚板的金屬間化合物的微細(xì)化及強(qiáng)度。另外，通過(guò)脫氫氣工序除去氫氣，由此，限定鑄錠中的氫濃度，且即使鑄錠中的晶粒粗大化，鑄錠表面附近的晶界的氫也不會(huì)集聚、濃化，而能夠抑制鑄錠的氣孔及氣孔引起的鋁合金厚板的起皮，并且，能夠抑制作為厚板的表面缺陷表現(xiàn)的厚板表面的潛在的缺陷。另外，提高鋁合金厚板的強(qiáng)度。另外，通過(guò)過(guò)濾工序，能夠從鋁合金中除去氧化物和非金屬等夾雜物。另外，通過(guò)將鑄錠切片，氧化皮厚度減少，并且，提高鋁合金厚板的表面狀態(tài)、平坦度及板厚精度，另外，提高生產(chǎn)性。優(yōu)選所述鋁合金的組成含有Mn:0.3質(zhì)量％以上1.6質(zhì)量％以下，還含有Si:0.7質(zhì)量％以下、Fe:0.8質(zhì)量％以下、Cu:0.5質(zhì)量％以下、Mg:1.5質(zhì)量％以下、Cr:0.3質(zhì)量％以下、Zn:0.4質(zhì)量％以下、Ti:0.1質(zhì)量％以下、Zr:0.3質(zhì)量％以下中的至少一種以上，且余量由A1及不可避免的雜質(zhì)構(gòu)成。該情況下，優(yōu)選在所述鑄造工序后，將鑄錠實(shí)施40063(TC保持1小時(shí)以上的熱處理。根據(jù)這種制造方法，能夠去除鋁合金的內(nèi)部應(yīng)力，另外，內(nèi)部組織均一化。優(yōu)選所述鋁合金的組成含有Mg:1.5質(zhì)量％以上12.0質(zhì)量％以下，還含有Si:0.7質(zhì)量％以下、Fe:0.8質(zhì)量％以下、Cu:0.6質(zhì)量％以下、Mn:1.0質(zhì)量。/o以下、Cr:0.5質(zhì)量％以下、Zn:0.4質(zhì)量％以下、Ti:0.1質(zhì)量M以下、-Zr:0.3質(zhì)量％以下中的至少一種以上，且余量由A1及不可避免的雜質(zhì)構(gòu)成。該情況下，優(yōu)選在所述鑄造工序后，將鑄錠在40(TC低于融點(diǎn)溫度實(shí)施保持1小時(shí)以上的熱處理。根據(jù)這種制造方法，能夠去除鋁合金的內(nèi)部應(yīng)力，另外，內(nèi)部組織均一化。優(yōu)選所述鋁合金的組成含有Si:0.2質(zhì)量％以上1.6質(zhì)量％以下、Mg:0.3質(zhì)量％以上1.5質(zhì)量％以下，還含有Fe:0.8質(zhì)量°/。以下、Cu:1.0質(zhì)量％以下、Mn:0.6質(zhì)量％以下、Cr:0.5質(zhì)量％以下、Zn:0.4質(zhì)量％以下、Ti:0.1質(zhì)量％以下、Zr:0.3質(zhì)量％以下中的至少一種以上，且余量由A1及不可避免的雜質(zhì)構(gòu)成。該情況下，優(yōu)選在所述鑄造工序后，將鑄錠在40(TC低于融點(diǎn)溫度實(shí)施保持1小時(shí)以上的熱處理。根據(jù)這種制造方法，能夠去除鋁合金的內(nèi)部應(yīng)力，另外，內(nèi)部組織均一化。優(yōu)選所述鋁合金的組成含有Mg:0.4質(zhì)量％以上4.0質(zhì)量％以下，Zn-3.0質(zhì)量％以上9.0質(zhì)量％以下，還含有Si:0.7質(zhì)量％以下、Fe:0.8質(zhì)量%以下、Cu:3.0質(zhì)量％以下、Mn:0.8質(zhì)量％以下、Cr:0.5質(zhì)量％以下、Ti:0.1質(zhì)量％以下、Zr:0.25質(zhì)量°/。以下中的至少一種以上，且余量由Al及不可避免的雜質(zhì)構(gòu)成。該情況下，優(yōu)選在所述鑄造工序后，將鑄錠在35(TC低于融點(diǎn)溫度實(shí)施保持1小時(shí)以上的熱處理。根據(jù)這種制造方法，能夠去除鋁合金的內(nèi)部應(yīng)力，另外，內(nèi)部組織均一化。優(yōu)選在所述切片工序之后，對(duì)切片的規(guī)定厚度的鋁合金厚板的表面，再進(jìn)行表面平滑化處理。根據(jù)這種制造方法，進(jìn)一步提高鋁合金厚板的表面狀態(tài)及平坦度。另外，由于表面平滑化，厚板表面沒(méi)有氣體殘留。優(yōu)選進(jìn)行的表面平滑化處理是從切削法、磨削法及研磨法中選擇的至少一種以上的方法。根據(jù)這種制造方法，進(jìn)一步提高鋁合金厚板的表面狀態(tài)及平坦度。另外，由于厚板表面的平滑化，沒(méi)有氣體殘留。本發(fā)明第二方面提供一種利用所述鋁合金厚板的制造方法制造的鋁合金厚板，其特征在于，氫氣含量為0.2ml/100g以下，板厚截面的表面附近和板厚中央部的結(jié)晶物的面積率的差在10%以?xún)?nèi)。根據(jù)這種鋁合金厚板，提高鋁合金厚板的表面狀態(tài)、平坦度及板厚精度，另外，由于厚板表面的平滑化，沒(méi)有氣體殘留。根據(jù)本發(fā)明的鋁合金厚板的制造方法，通過(guò)從溶解的具有規(guī)定組成的鋁合金中除去氫氣、氧化物、非金屬等夾雜物，能夠防止鋁合金厚板的表面缺陷，并且，能夠提高強(qiáng)度，另外，能夠在鑄造工序中制作高品質(zhì)的鑄錠。另外，將鑄錠進(jìn)行切片而制造鋁合金，因此，不需要通過(guò)現(xiàn)有的鋁合金的熱軋制減少厚度，能夠?qū)崿F(xiàn)作業(yè)工序的省略化，能夠提高生產(chǎn)性。另外，可以消除厚板端面的表面不均勻，能夠容易地控制表面狀態(tài)及平坦度，可以提高板厚精度。另外，通過(guò)對(duì)鑄錠實(shí)施熱處理，能夠?qū)崿F(xiàn)鋁合金厚板的內(nèi)部應(yīng)力的去除、內(nèi)部組織的均一化。因此，能夠提高表面狀態(tài)和平坦度，另外，可以防止鋁合金厚板切削時(shí)的變形，因此，能夠提高切削性。另外，對(duì)切片的鋁合金厚板的表面進(jìn)行表面平滑化處理，因此，能夠進(jìn)一步提高鋁合金厚板的表面狀態(tài)及平坦度。另外，由于表面的平滑化，沒(méi)有氣體殘留，因此使用于真空裝置用容器的情況，能夠提高容器的真空度。另外，鋁合金厚板的表面狀態(tài)、平坦度及板厚精度良好，另外，表面平滑化，由此，能夠制作沒(méi)有氣體殘留、高品質(zhì)的鋁合金厚板。另外，在板厚截面的氧化鋁膜處理后的表面外觀難以產(chǎn)生不均勻。因此，可以用于各種各樣的用途，另外，也可以是其它用途的再利用。圖1是表示鋁合金厚板的制作方法的流程圖。符號(hào)說(shuō)明Sl溶解工序S2脫氫氣工序S3過(guò)濾工序S4鑄造工序S5熱處理工序S6切片工序S7表面平滑化處理工序具體實(shí)施例方式第一實(shí)施方式下面，參照附圖對(duì)本發(fā)明的鋁合金厚板的制造方法及鋁合金厚板進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。另外，在參照的附圖中，圖1是表示鋁合金厚板的制造方法的流程的圖。如圖1所示，鋁合金厚板(下面，適宜稱(chēng)為"厚板")的制造方法按順序進(jìn)行溶解工序(Sl)、脫氫氣工序(S2)、過(guò)濾工序(S3)、鑄造工序(S4)、切片工序(S6)。另外，根據(jù)需要，在鑄造工序(S4)之后，也可以包括熱處理工序(S5)，在切片工序(S6)之后，也可以包括表面平滑化處理工序(S7)。在該制造方法中，首先，通過(guò)溶解工序(Sl)溶解原料即鋁合金。溶解工序(1)溶解的鋁合金在脫氫氣工序(S2)除去氫氣，在過(guò)濾工序(S3)除去氧化物和非金屬等夾雜物。接著，該鋁合金在鑄造工序(S4)進(jìn)行鑄造而制成鑄錠，該鑄錠根據(jù)需要在熱處理工序(S5)進(jìn)行熱處理，之后，在切片工序(S6)切成規(guī)定的厚度。另外，根據(jù)需要，也可以在切片工序(S6)之后，通過(guò)表面平滑化處理工序(S7)，進(jìn)行表面平滑化處理。下面，對(duì)鋁合金厚板的制造方法中的各工序進(jìn)行說(shuō)明?！慈芙夤ば颉等芙夤ば?Sl)是溶解鋁合金的工序，該鋁合金含有規(guī)定的Mn量，還含有規(guī)定量的Si、Fe、Cu、Mg、Cr、Zn、Ti中至少一種以上，且，余量由Al及不可避免的雜質(zhì)構(gòu)成。下面，對(duì)限定各成分含量的數(shù)值的理由進(jìn)行說(shuō)明。Mn具有固溶于鋁合金中且提高強(qiáng)度的效果。Mn的含量低于0.3質(zhì)量%時(shí)，其效果小，另一方面，Mn含量超過(guò)1.6質(zhì)量。/。時(shí)，產(chǎn)生粗大的金屬間化合物，容易在氧化鋁膜處理后的表面外觀產(chǎn)生不均勻。因此，Mn含量設(shè)定為0.3質(zhì)量％以上1.6質(zhì)量％以下。作為鋁合金的必要成分，含有上述的Mn，還含有以下的Si、Fe、Cu、Mg、Cr、Zn、Ti中至少一種以上。Si具有提高鋁合金強(qiáng)度的效果。Si通常作為母材雜質(zhì)混入鋁合金中，在鑄造工序(S4)等中，在鑄錠中與Mn及Fe相互結(jié)合生成Al-(Fe)-(Mn)-Si系金屬間化合物。Si含量超過(guò)0.7質(zhì)量％時(shí)，在鑄錠中產(chǎn)生粗大的金屬間化合物，容易在氧化鋁膜處理后的表面外觀產(chǎn)生不均勻。因此，Si含量設(shè)定為0.7質(zhì)量％以下。Fe具有使鋁合金的晶粒微細(xì)化、穩(wěn)定化，并且，提高強(qiáng)度的效果。Fe通常也是作為母材雜質(zhì)混入鋁合金中，在鑄造工序(S4)等，在鑄錠中與Mn及Si相互結(jié)合生成Al-Fe-(Mn)-(Si)系金屬間化合物。Fe含量超過(guò)0.8質(zhì)量％時(shí)，在鑄錠中產(chǎn)生粗大的金屬間化合物，容易在氧化鋁膜處理后的表面外觀產(chǎn)生不均勻。因此，F(xiàn)e含量設(shè)定為0.8質(zhì)量e/。以下。Cu具有提高鋁合金板強(qiáng)度的效果。但是，要確保作為厚板使用時(shí)耐受的強(qiáng)度，Cu含量為0.5質(zhì)量％已足夠。因此，01含量設(shè)定為0.5質(zhì)量％以下。Mg具有提高鋁合金的強(qiáng)度的效果。但是，要確保作為厚板使用時(shí)耐受的強(qiáng)度，Mg含量1.5質(zhì)量％就足夠。因此，Mg含量設(shè)定為1.5質(zhì)量％以下。[Cr:0.3質(zhì)量°/。以下]Cr在鑄造工序(S4)及熱處理工序(S5)中，具有作為微細(xì)的化合物析出、抑制晶粒成長(zhǎng)的效果。Cr含量超過(guò)0.3質(zhì)量。/。時(shí)，作為初晶產(chǎn)生粗大的Al-Cr系金屬間化合物，容易在氧化鋁膜處理后的表面外觀產(chǎn)生不均勻。因此，0含量設(shè)定為0.3質(zhì)量％以下。Ti具有細(xì)化鑄錠的晶粒的效果。Ti含量超過(guò)0.1質(zhì)量％其效果也已飽和。因此，Ti含量設(shè)定為0.1質(zhì)量。/。以下。[Zr:0.3質(zhì)量％以下]Zr具有細(xì)化鋁合金的結(jié)晶顆粒，并且穩(wěn)定化的效果。Zr的含量超過(guò)0.3質(zhì)量％時(shí)，產(chǎn)生粗大晶體析出物，容易在氧化鋁膜處理后的表面外觀產(chǎn)生不均勻。因此，Zr含量設(shè)定為0.3質(zhì)量y。以下。另外，作為不可避免的雜質(zhì)V、B等的含量，只要分別在0.01質(zhì)量°/。以下，就不影響本發(fā)明的鋁合金厚板的特性?！疵摎錃夤ば颉得摎錃夤ば?S2)是從溶解工序(Sl)溶解的鋁合金中除去氫氣的工序。氫氣是由燃料中的氫及附著于原料金屬等的水分、其它有機(jī)物等產(chǎn)生的。氫氣含量多時(shí)，成為產(chǎn)生氣孔的原因，制品強(qiáng)度降低。另外，在制品的表面附近的晶界上集聚、濃化氫原子，作為鋁合金厚板時(shí)發(fā)生起泡現(xiàn)象(blister),并且，產(chǎn)生作為厚板的表面缺陷出現(xiàn)的厚板表面的潛在的缺陷。因此，優(yōu)選氫氣在鋁合金100§中為0.21111以下，更優(yōu)選0.1ml以下。在脫氫氣工序中氫氣的除去，通過(guò)將金屬熔融液進(jìn)行稀釋工序(fluxingprocess)、氯化物精煉、或聯(lián)機(jī)精煉(inline)等可以良好地進(jìn)行，但是，在脫氫氣裝置中用SNIF(SNIF(spinningNozzleInertFlotetion))和多孔塞吹氣精煉法(porousplug;參照特開(kāi)2002-146447號(hào)公報(bào))進(jìn)行時(shí)，能夠更好地除去。在此，對(duì)于鑄錠的氫氣的濃度而言，例如從均質(zhì)化熱處理前的鑄錠上切出試樣，用乙醇和丙酮進(jìn)行超聲波清洗，例如通過(guò)惰性氣體氣流融解熱傳導(dǎo)法(LISA06-1993)求出。另外，對(duì)于鋁合金厚板的氫濃度而言，例如可以從鋁合金厚板上切出試樣，NaOH浸漬后，用硝酸去除表面的氧化皮膜，用乙醇和丙酮進(jìn)行超聲波清洗，通過(guò)真空加熱抽出容量法(LISA06-1993)求出?！催^(guò)濾工序〉過(guò)濾工序(S3)是通過(guò)過(guò)濾裝置從鋁合金中去除主要的氧化物和非金屬夾雜物的工序。在過(guò)濾裝置中，設(shè)置有例如應(yīng)用lmm左右的粒子的氧化鋁的陶瓷管，從這通過(guò)熔液，由此能夠除去上述的氧化物和夾雜物。通過(guò)脫氫氣及過(guò)濾工序，在鑄造工序(S4)能夠?qū)⒋_保高品質(zhì)的鋁合金制成鑄錠。另外，能夠抑制氧化物堆積物(dross)的堆積，因此，能夠降低除去浮渣的工數(shù)?！磋T造工序〉鑄造工序(S4)，例如，是用含有水冷鑄型構(gòu)成的鑄造裝置，使鋁合金的熔液形成長(zhǎng)方體形狀等規(guī)定的形狀后固化從而制造鑄錠的工序。作為鑄造方法，可以采用半連續(xù)鑄造法。半連續(xù)鑄造法是在底部開(kāi)放的金屬制的水冷鑄型上，由上方注入熔液，由水冷鑄型的底部連續(xù)地取出凝固的金屬，得到規(guī)定厚度的鑄錠。另外，半連續(xù)鑄造法可以在縱向、橫向任意方向進(jìn)行?！辞衅ば颉登衅ば?S6)是將由鑄造工序(S4)鑄造的鑄錠切成規(guī)定的厚度的工序。作為切片方法，可以采用板坯切片法。板坯切片法是將用上述的半連續(xù)鑄造法制造的鑄錠，通過(guò)帶鋸切斷機(jī)等切片，由此在鑄造方向切斷鑄錠的方法，由此，能夠制造規(guī)定厚度的鋁合金厚板。在此，鋁合金厚板的厚度優(yōu)選15200mm，但沒(méi)有特別的限定，根據(jù)鋁合金厚板的用途可進(jìn)行適當(dāng)?shù)淖兏?。作為切片的方法，?yōu)選使用帶鋸，但沒(méi)有特別的限定，也可以利用圓鋸切斷機(jī)。另外，也可以利用激光和水壓等切斷。這樣，通過(guò)將鑄錠進(jìn)行切片，與軋制材料比較，可得到表面狀態(tài)、平坦度、板厚精度等優(yōu)異的鋁合金厚板，例如，可得到在平坦性的評(píng)價(jià)中，使鑄造方向每lm的平坦度(翹曲量)為0.4mm以下/lm長(zhǎng)度、使板厚精度為土100ym以下的厚板。將上述鑄造工序(S4)制造的鑄錠進(jìn)行切片前，適宜根據(jù)需要，可實(shí)施以去除內(nèi)部應(yīng)力、內(nèi)部組織均一化為目的的熱處理?！礋崽幚砉ば颉禑崽幚砉ば?S5)是將鑄造工序(S4)中制造的鑄錠迸行熱處理(均質(zhì)化熱處理)的工序。均質(zhì)化熱處理根據(jù)常規(guī)方法，通過(guò)在處理溫度40063(TC保持1小時(shí)以上而進(jìn)行。均質(zhì)化熱處理的處理溫度低于40(TC時(shí)，內(nèi)部應(yīng)力的除去量小，鑄造中偏析的溶質(zhì)元素的均質(zhì)化也不充分，特意實(shí)施了熱處理的效果小。因此，處理溫度設(shè)定于40(TC以上。另外，處理溫度超過(guò)630。C時(shí)，產(chǎn)生鑄錠表面的一部分溶解的稱(chēng)為氧化(burning)的現(xiàn)象，容易成為鋁合金厚板的表面缺陷的原因。因此，處理溫度設(shè)定為63(TC以下。另外，處理時(shí)間低于1小時(shí)時(shí)，金屬間化合物的固溶不充分且容易析出。因此，處理時(shí)間設(shè)定為1小時(shí)以上。用上述制造方法制造的鋁合金厚板，適宜根據(jù)需要，為除去形成于厚板表面的結(jié)晶物和氧化物，另外為可消除厚板表面的氣體殘留，也可以進(jìn)行表面平滑化處理?！幢砻嫫交幚砉ば颉当砻嫫交幚砉ば?S7)是使通過(guò)切片工序(S6)切片后的鋁合金厚板的表面平滑化的工序。作為表面平滑化處理法，可以采用立銑切削和金剛石刀片切削等切削法、用磨石等磨削表面的磨削法、拋光輪研磨等研磨法等，但不局限于這些。在此，鋁合金厚板的一種用途即真空裝置用容器在減壓成高真空時(shí)，由于來(lái)自容器的內(nèi)側(cè)表面的吸附氣體的釋放和固溶于厚板的氣體原子向表面的釋放，真空度降低。因此，到達(dá)目標(biāo)真空度的時(shí)間變長(zhǎng)，生產(chǎn)效率低下。因此，用于容器的鋁合金厚板尋求吸附于位于容器的內(nèi)側(cè)部分的厚板表面的氣體少、即使成為真空時(shí)固溶于厚板的氣體原子也會(huì)不釋放。因此，將鋁合金厚板作為容器使用的情況下，進(jìn)行平滑化處理特別有效。通過(guò)上述的制造方法得到的鋁合金厚板如上所述，表面狀態(tài)、平坦度及板厚精度良好。因此，除底部基板、輸送裝置、真空裝置用的容器等半導(dǎo)體關(guān)聯(lián)裝置之外，可以用于電機(jī)電子零件和其制造裝置、生活用品、機(jī)械零件等各種各樣的用途，另外，也可以是其它用途的再利用。下面，對(duì)本發(fā)明的鋁合金厚板進(jìn)行說(shuō)明?！翠X合金厚板〉鋁合金厚板由上述的鋁合金(Al-Mn類(lèi)合金)構(gòu)成，設(shè)定合金中的氫濃度為0.2ml/100g以下，且板厚截面的表面附近和板厚中央部的金屬間化合物(結(jié)晶物)的面積率的差為10%以?xún)?nèi)。另外，氫濃度的控制也可以通過(guò)上述記載的制造方法進(jìn)行。在此，由于Al-Fe-Mn系結(jié)晶物的面積率，氧化鋁膜后的色調(diào)變化，因此，面積率的差超過(guò)10%時(shí)，氧化鋁膜后的色調(diào)不均勻(irregularityofcolortone)產(chǎn)生。另一方面，若在10%以?xún)?nèi)，不會(huì)產(chǎn)生色調(diào)不均勻。艮口，軋制材料的情況下，在板厚方向中心部，金屬間化合物的尺寸變大，因此，在氧化鋁的情況，截面產(chǎn)生色調(diào)不均勻，但是，在由鑄錠切片的情況下，金屬間化合物的分布狀態(tài)平均化，表面附近和板厚中央部的結(jié)晶物的面積率的差小，因此，不會(huì)產(chǎn)生色調(diào)不均勻。作為這種面積率的測(cè)定方法，通過(guò)測(cè)定板厚截面的板厚表面附近(例如，定義為板厚1/8位置)和板厚中央部(例如，定義為板厚1/2位置)的結(jié)晶物的面積率進(jìn)行。具體而言，在板厚截面，用SEM的組成像進(jìn)行圖像處理，由此將觀察倍率設(shè)為1000倍，使視野為20視野以上，通過(guò)求Al-Fe-Mn系結(jié)晶物的面積率進(jìn)行。另外，對(duì)耐蝕性來(lái)說(shuō)，底部基板用和輸送裝置用的在清潔室內(nèi)使用，因此，通常不需要耐蝕性。另外，在真空裝置用容器中使用的情況下，因?yàn)槭歉g性氣體暴露少的環(huán)境，因此，也不需要優(yōu)異的耐蝕性。以上，對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行了說(shuō)明，但是，本發(fā)明并不局限于上述實(shí)施方式。下面，對(duì)于滿足本發(fā)明的權(quán)利要求范圍的實(shí)施例的效果，與本發(fā)明的權(quán)利要求范圍以外的比較例進(jìn)行比較后進(jìn)行具體說(shuō)明。[實(shí)施例1]首先，溶解具有表1所示組成的鋁合金，進(jìn)行了脫氫氣處理、過(guò)濾后，進(jìn)行鑄造，從而制造板厚500mm的鑄錠。將制造好的鑄錠在580'C加熱4小時(shí)，進(jìn)行均質(zhì)化熱處理。將該鑄錠進(jìn)行切片或熱軋制，制造厚度20mm的鋁合金厚板(切片材料、熱軋制材料)。對(duì)該切片材料及熱軋制材料進(jìn)行以下的試驗(yàn)?！雌教剐栽u(píng)價(jià)試驗(yàn)〉平坦性評(píng)價(jià)是對(duì)于切片材料測(cè)定鑄造方向每lm的翹曲量(平坦度)、對(duì)于熱軋制材料測(cè)定軋制方向每lm的翹曲量(平坦度)。將平坦度為0.4mm/lm長(zhǎng)度以下的認(rèn)定為合格(〇)，將平坦度超過(guò)0.4mm/lm長(zhǎng)度的認(rèn)定為不合格(X)。表2表示該結(jié)果?！磸?qiáng)度試驗(yàn)〉強(qiáng)度試驗(yàn)是利用鋁合金厚板制造JIS5號(hào)試驗(yàn)片后進(jìn)行抗拉試驗(yàn)，通過(guò)測(cè)定抗拉強(qiáng)度、0.2%屈服強(qiáng)度而進(jìn)行。抗拉強(qiáng)度為90N/mm2以上的認(rèn)定為合格(〇)，抗拉強(qiáng)度低于90N/mm2的認(rèn)定為不合格(X)?！囱趸X膜性評(píng)價(jià)試驗(yàn)〉氧化鋁膜性評(píng)價(jià)通過(guò)觀察鋁合金厚板的表面及截面的外觀進(jìn)行。在鋁合金厚板(切片材料、熱軋制材料)的表面及截面，經(jīng)過(guò)硫酸氧化鋁膜處理(15%硫酸、20°C、電流密度2A/cm2)形成厚度為10um的氧化鋁膜。觀察該厚板的表面及截面的外觀，外觀上沒(méi)有不均勻的認(rèn)為合格(〇)，有不均勻的認(rèn)為不合格(X)。另外，板厚截面的表面附近和厚板中央部的結(jié)晶物的面積率的差對(duì)氧化鋁膜性造成影響，因此，求表面附近和厚板中央部的結(jié)晶物的面積率。作為面積率的測(cè)定方法，在板厚截面上，用SEM的組成像通過(guò)圖像處理，將觀察倍率設(shè)為1000倍，使視野為20個(gè)視野以上，通過(guò)測(cè)定板厚表面附近(1/8的位置)和板厚中央部(1/2位置)的結(jié)晶物的面積率進(jìn)行。表2表示該結(jié)果。首先，溶解具有表1所示的序號(hào)2組成的鋁合金(合金成分2)，進(jìn)行脫氫氣處理、過(guò)濾后，進(jìn)行鑄造，從而制造板厚500mm的鑄錠。將制造的鑄錠在表3所示的條件下，進(jìn)行均質(zhì)化熱處理。將該鑄錠進(jìn)行切片，制造厚度20mm的鋁合金厚板(切片材料)。對(duì)該切片材料進(jìn)行平坦性評(píng)價(jià)試驗(yàn)?！雌教剐栽u(píng)價(jià)試驗(yàn)〉平坦性評(píng)價(jià)，測(cè)定鑄造方向每lm的翹曲量(平坦度)。將平坦度為0.4mm/lm長(zhǎng)度以下的認(rèn)定為合格(〇)，將平坦度為0.25mm/lm長(zhǎng)度以下的認(rèn)定良好(〇)。表3表示該結(jié)果。<table>tableseeoriginaldocumentpage15</column></row><table>[表2]<table>tableseeoriginaldocumentpage16</column></row><table>S51截面的板厚表面附近和ft^中央部的結(jié)晶物的面積率的差<formula>formulaseeoriginaldocumentpage16</formula>A:板厚表面附近U/8的位置)的結(jié)晶物的面積率B:板厚中央都(1/2位置)的結(jié)晶物的面積率[表3]<table>tableseeoriginaldocumentpage17</column></row><table>如表2所示，對(duì)于切片材料(合金成分114)而言，加工變形少，翹曲小。即，平坦度良好。在合金成分6中，Mn含量低于下限值，因此強(qiáng)度不足。對(duì)于合金成分16、10、11、13、14而言，在鋁合金厚板的氧化鋁膜處理后的表面的外觀上未產(chǎn)生不均勻。對(duì)于合金成分7、8、9、12而言，分別是Mn、Si、Fe、Cr的含量超過(guò)上限值，因此，產(chǎn)生金屬間化合物，在氧化鋁膜處理后的表面的外觀上產(chǎn)生了不均勻。對(duì)于合金成分114，在鋁合金厚板的氧化鋁膜處理后的截面的外觀上未產(chǎn)生不均勻(irregularity)。另一方面，對(duì)于熱軋制材料(合金成分114)，積累加工變形，軋制方向翹曲大。即平坦度不良。在合金成分6中，Mn含量低于下限值，因此強(qiáng)度不足。對(duì)于合金成分7、8、9、12而言，分別是Mn、Si、Fe、Cr的含量超過(guò)上限值，因此，產(chǎn)生金屬間化合物，在氧化鋁膜處理后的表面的外觀上產(chǎn)生了不均勻?qū)τ诤辖鸪煞?14而言，在鋁合金厚板的氧化鋁膜處理后的截面的外觀上產(chǎn)生不均勻。另外，在熱軋制的熱軋制材料中，板厚截面的板厚表面附近和厚板中央部的結(jié)晶物的面積率的差超過(guò)了10%。另外，對(duì)于切片材料的合金成分10、11、13、14而言，分別是Cu、Mg、Zn、Ti的含量超過(guò)上限值，其效果飽和，經(jīng)濟(jì)性差。如表3所示，在實(shí)施例1、2中，均質(zhì)化熱處理的條件滿足本發(fā)明的范圍，因此，平坦度良好。在實(shí)施例3中，未進(jìn)行均質(zhì)化熱處理，因此，平坦度是合格值，但是，與進(jìn)行了均質(zhì)化熱處理的相比，稍微差一些。在實(shí)施例4中，均質(zhì)化熱處理的處理溫度低于400。C，因此，平坦度是合格值，但是與滿足處理溫度條件的相比，稍微差一些。在實(shí)施例5中，均質(zhì)化熱處理的處理溫度超過(guò)630。C，因此，產(chǎn)生氧化，不能制造。第二實(shí)施方式如圖1所示，本發(fā)明第二實(shí)施方式的厚板的制造方法按順序進(jìn)行溶解工序(Sl)、脫氫氣工序(S2)、過(guò)濾工序(S3)、鑄造工序(S4)、切片工序(S6)。另外，根據(jù)需要，在鑄造工序(S4)之后，也可以包括熱處理工序(S5)，在切片工序(S6)之后，也可以包括表面平滑化處理工序(S7)。在這些工序中，脫氫氣工序(S2)、過(guò)濾工序(S3)、鑄造工序(S4)、切片工序(S6)及表面平滑化處理工序(S7)和上述第一實(shí)施方式的制造方法是同樣的，因此，省略說(shuō)明。下面，對(duì)溶解工序(SO和熱處理工序(S5)進(jìn)行說(shuō)明?！慈芙夤ば颉等芙夤ば?Sl)是將含有規(guī)定量的Mg，還含有規(guī)定量的Si、Fe、Cu、Mn、Cr、Zn、Ti中至少一種以上，且余量由Al及不可避免的雜質(zhì)構(gòu)成的鋁合金溶解的工序。下面，對(duì)限定各成分含量的數(shù)值的理由進(jìn)行說(shuō)明。[Mg:1.5質(zhì)量％以上12.0質(zhì)量％以下]Mg具有提高鋁合金的強(qiáng)度的效果。Mg的含量低于1.5質(zhì)量。/。時(shí)，該效果小，另一方面，Mg含量超過(guò)12.0質(zhì)量％時(shí)，鑄造性能顯著降低，不可能制造制品。作為鋁合金的必要成分，含有上述的Mg，還含有以下的Si、Fe、Cu、Mn、Cr、Zn、Ti中至少一種以上。[Si:0.7質(zhì)量％以下]Si具有提高鋁合金強(qiáng)度的效果。Si通常作為母材雜質(zhì)混入鋁合金中，在鑄造工序(S4)等中，在鑄錠中與Mn及Fe相互結(jié)合生成Al-(Fe)-(Mn)-Si系金屬間化合物。Si含量超過(guò)0.7質(zhì)量％時(shí)，在鑄錠中產(chǎn)生粗大的金屬間化合物，容易在氧化鋁膜處理后的表面外觀產(chǎn)生不均勻。因此，Si含量設(shè)定為0.7質(zhì)量％以下。[Fe:0.8質(zhì)量％以下]Fe具有使鋁合金的晶粒微細(xì)化、穩(wěn)定化，并且提高強(qiáng)度的效果。Fe通常也是作為母材雜質(zhì)混入鋁合金中，在鑄造工序(S4)等中，在鑄錠中與Mn及Si相互結(jié)合生成Al-Fe-(Mn)-(Si)系金屬間化合物。Fe含量超過(guò)0.8質(zhì)量％時(shí)，在鑄錠中產(chǎn)生粗大的金屬間化合物，容易在氧化鋁膜處理后的表面外觀上產(chǎn)生不均勻。因此，F(xiàn)e含量設(shè)定為0.8質(zhì)量。/。以下。Cu具有提高鋁合金板強(qiáng)度的效果。但是，要確保作為厚板使用時(shí)耐受的強(qiáng)度，Cu含量為0.6質(zhì)量。/。已足夠。因此，Cu含量設(shè)定為0.6質(zhì)量％以下。Mn具有固溶于鋁合金中且提高強(qiáng)度的效果。另一方面，Mn含量超過(guò)1.0質(zhì)量％時(shí)，產(chǎn)生粗大的金屬間化合物，容易在氧化鋁膜處理后的表面外觀上產(chǎn)生不均勻。因此，Mn含量設(shè)定為1.0質(zhì)量％以下。[Cr:0.5質(zhì)量％以下]Cr在鑄造工序(S4)及熱處理工序(S5)中，具有作為微細(xì)的化合物析出、抑制晶粒成長(zhǎng)的效果。Cr含量超過(guò)0.5質(zhì)量。/。時(shí)，作為初晶產(chǎn)生粗大的Al-Cr系金屬間化合物，容易在氧化鋁膜處理后的表面外觀上產(chǎn)生不均勻。因此，Cr含量設(shè)定為0.5質(zhì)量n/。以下。Zn具有提高鋁合金的強(qiáng)度的效果。但是，要確保作為厚板使用時(shí)耐受的強(qiáng)度，Zn含量為0.4質(zhì)量。/。已足夠。因此，Zn含量設(shè)定為0.4質(zhì)量％以下。Ti具有細(xì)化鑄錠的晶粒的效果。Ti含量超過(guò)0.1質(zhì)量％其效果也已飽和。因此，Ti含量設(shè)定為0.1質(zhì)量°/。以下。[Zn0.3質(zhì)量％以下]Zr具有細(xì)化鋁合金的結(jié)晶顆粒，并且穩(wěn)定化的效果。Zr的含量超過(guò)0.3質(zhì)量％時(shí)，產(chǎn)生粗大晶體析出物，容易在氧化鋁膜處理后的表面外觀上產(chǎn)生不均勻。因此，Zr含量設(shè)定為0.3質(zhì)量n/。以下。另外，作為不可避免的雜質(zhì)V、B等的含量，只要分別在0.01質(zhì)量％以下，就不影響本發(fā)明的鋁合金厚板的特性?！礋崽幚砉ば颉禑崽幚砉ば?S5)是將在鑄造工序(S4)制造的鑄錠進(jìn)行熱處理(均質(zhì)化熱處理)的工序。均質(zhì)化熱處理根據(jù)常規(guī)法，通過(guò)自處理溫度400低于融點(diǎn)的溫度保持1小時(shí)以上而進(jìn)行。均質(zhì)化熱處理的處理溫度低于40(TC時(shí)，內(nèi)部應(yīng)力的除去量小，鑄造中偏析的溶質(zhì)元素的均質(zhì)化也不充分，特意實(shí)施了熱處理的效果小。因此，處理溫度設(shè)定于40(TC以上。另外，處理溫度超過(guò)融點(diǎn)時(shí)，產(chǎn)生鑄錠表面的一部分溶解的稱(chēng)為氧化的現(xiàn)象，容易成為鋁合金厚板的表面缺陷的原因。因此，處理溫度設(shè)定為融點(diǎn)以下。另外，處理時(shí)間低于l小時(shí)時(shí)，金屬間化合物的固溶不充分且容易析出。因此，處理時(shí)間設(shè)定為1小時(shí)以上。下面，對(duì)本發(fā)明的第二實(shí)施方式的鋁合金厚板進(jìn)行說(shuō)明?！翠X合金厚板〉鋁合金厚板由上述的鋁合金(Al-Mg類(lèi)合金)構(gòu)成，設(shè)定合金中的氫濃度為0.2ml/100g以下，且板厚截面的表面附近和板厚中央部的金屬間化合物(結(jié)晶物)的面積率的差為10%以?xún)?nèi)。另外，氫濃度的控制也可以通過(guò)上述記載的制造方法進(jìn)行。在此，由于Al-Fe-Mn系結(jié)晶物的面積率，氧化鋁膜后的色調(diào)變化，因此，面積率的差超過(guò)10%時(shí)，氧化鋁膜后的色調(diào)不均勻(irregularityofcolortone)產(chǎn)生。另一方面，若在10%以?xún)?nèi)，不會(huì)產(chǎn)生色調(diào)不均勻。艮P，軋制材料的情況下，在板厚方向中心部，金屬間化合物的尺寸變大，因此，在產(chǎn)生了氧化鋁的情況下，截面產(chǎn)生色調(diào)不均勻，但是，在由鑄錠切片的情況下，金屬間化合物的分布狀態(tài)平均化，表面附近和板厚中央部的結(jié)晶物的面積率的差小，因此，不會(huì)產(chǎn)生色調(diào)不均勻。作為這種面積率的測(cè)定方法，通過(guò)測(cè)定板厚截面的板厚表面附近(例如，定義為板厚1/8位置)和板厚中央部(例如，定義為板厚1/2位置)的結(jié)晶物的面積率進(jìn)行。具體而言，在板厚截面，用SEM的組成像通過(guò)圖像處理，將觀察倍率設(shè)為1000倍，使視野為20視野以上，通過(guò)求Al-Fe-Mn系結(jié)晶物的面積率進(jìn)行。另外，對(duì)耐蝕性來(lái)說(shuō)，底部基板用和輸送裝置用的在清潔室內(nèi)使用，因此，通常不需要耐蝕性。另外，在真空裝置用容器中使用的情況，因?yàn)槭歉g性氣體暴露少的環(huán)境，因此，不需要優(yōu)異的耐蝕性。以上，對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行了說(shuō)明，但是，本發(fā)明并不局限于上述實(shí)施方式。下面，對(duì)滿足本發(fā)明的權(quán)利要求范圍的實(shí)施例的效果，和本發(fā)明的權(quán)利要求范圍以外的比較例進(jìn)行比較后進(jìn)行具體說(shuō)明。[實(shí)施例3]首先，溶解具有表4所示組成的鋁合金，進(jìn)行了脫氫氣處理、過(guò)濾后，進(jìn)行鑄造從而制造板厚500mm的鑄錠。將制造的鑄錠在50(TC加熱4小時(shí)，進(jìn)行均質(zhì)化熱處理。將該鑄錠進(jìn)行切片或熱軋制，制造厚度20mm的鋁合金厚板(切片材料、熱軋制材料)。對(duì)該切片材料及熱軋制材料進(jìn)行平坦性評(píng)價(jià)試驗(yàn)、強(qiáng)度試驗(yàn)、氧化鋁膜性評(píng)價(jià)試驗(yàn)。對(duì)于各試驗(yàn)，如上述第一實(shí)施方式說(shuō)明的那樣，因此，在此省略說(shuō)明。但是，在強(qiáng)度試驗(yàn)中，抗拉強(qiáng)度為180N/mmS以上的認(rèn)定為合格(〇)，抗拉強(qiáng)度低于180N/mn^的認(rèn)定為不合格(X)。表5表示其結(jié)果。首先，溶解具有表4所示的序號(hào)3組成的鋁合金(合金成分3)，進(jìn)行脫氫氣處理、過(guò)濾后，進(jìn)行鑄造從而制造板厚500mm的鑄錠。將制造的鑄錠在表6所示的條件下，進(jìn)行均質(zhì)化熱處理。將該鑄錠進(jìn)行切片，制造厚度20mm的鋁合金厚板(切片材料)。對(duì)該切片材料進(jìn)行平坦性評(píng)價(jià)試驗(yàn)。對(duì)于該試驗(yàn)，如上述第一實(shí)施方<table>tableseeoriginaldocumentpage22</column></row><table>[表5]<table>tableseeoriginaldocumentpage23</column></row><table>[表6]<table>tableseeoriginaldocumentpage24</column></row><table>如表5所示，對(duì)于切片材料(合金成分113、1521)而言，加工變形少，翹曲小。即，平坦度良好。在合金成分14中，Mg超過(guò)上限，因此，發(fā)生鑄造裂紋，不可能制造。在合金成分13中，Mg的含量低于下限值，因此強(qiáng)度不足。對(duì)于合金成分113、17、20、21而言，在鋁合金厚板的氧化鋁膜處理后的表面的外觀上未產(chǎn)生不均勻。對(duì)于合金成分15、16、18、19而言，分別是Si、Fe、Mn、Cr的含量超過(guò)上限值，因此，產(chǎn)生金屬間化合物，在氧化鋁膜處理后的表面的外觀上產(chǎn)生了不均勻。在合金成分113、1521中，在鋁合金厚板的氧化鋁膜處理后的截面的外觀上未產(chǎn)生不均勻。另一方面，對(duì)于熱軋制材料(合金成分113、1521)，積累加工變形，軋制方向翹曲大。即平坦度不良。在合金成分14中，Mg超過(guò)上限，因此，發(fā)生鑄造裂紋，不可能制造。在合金成分13中，Mg含量低于下限值，因此強(qiáng)度不足。對(duì)于合金成分15、16、18、19而言，分別是Si、Fe、Mn、Cr的含量超過(guò)上限值，因此，產(chǎn)生金屬間化合物，在氧化鋁膜處理后的表面的外觀上產(chǎn)生了不均勻?qū)τ谠诤辖鸪煞?13、1521而言，在鋁合金厚板的氧化鋁膜處理后的截面的外觀上產(chǎn)生不均勻。另外，在熱軋制的熱軋制材料中，板厚截面的板厚表面附近和厚板中央部的結(jié)晶物的面積率的差超過(guò)了10%。另外，對(duì)于切片材料的合金成分17、20、21而言，分別是Cu、Zn、Ti的含量超過(guò)上限值，其效果飽和，經(jīng)濟(jì)性差。如表6所示，在實(shí)施例1、2中，均質(zhì)化熱處理的條件滿足本發(fā)明的范圍，因此，平坦度良好。在實(shí)施例3中，未進(jìn)行均質(zhì)化熱處理，因此，平坦度是合格值，但是，與進(jìn)行了均質(zhì)化熱處理的相比，稍微差一些。在實(shí)施例4中，均質(zhì)化熱處理的處理溫度低于40(TC，因此，平坦度是合格值，但是與滿足處理溫度條件的相比，稍微差一些。在實(shí)施例5中，產(chǎn)生氧化，不能制造。第三實(shí)施方式如圖1所示，本發(fā)明第三實(shí)施方式的厚板的制造方法，按順序進(jìn)行溶解工序(Sl)、脫氫氣工序(S2)、過(guò)濾工序(S3)、鑄造工序(S4)、切片工序(S6)。另外，根據(jù)需要，在鑄造工序(S4)之后，也可以包括熱處理工序(S5)，在切片工序(S6)之后，也可以包括表面平滑化處理工序(S7)。在這些工序中，脫氫氣工序(S2)、過(guò)濾工序(S3)、鑄造工序(S4)、切片工序(S6)及表面平滑化處理工序(S7)和上述第一實(shí)施方式的制造方法是同樣的，因此，省略說(shuō)明。下面，對(duì)溶解工序(Sl)和熱處理工序(S5)進(jìn)行說(shuō)明?！慈芙夤ば颉等芙夤ば?Sl)是溶解含有規(guī)定量的Si、Mg，還含有規(guī)定量的Fe、Cu、Mn、Cr、Zn、Ti中至少一種以上，且，余量由Al及不可避免的雜質(zhì)構(gòu)成的鋁合金的工序。下面，對(duì)限定各成分含量的數(shù)值的理由進(jìn)行說(shuō)明。[Si:0.2質(zhì)量％以上1.6質(zhì)量％以下]Si具有提高鋁合金強(qiáng)度的效果。Si通常作為母材雜質(zhì)混入鋁合金中，在鑄造工序(S4)等中，在鑄錠中生成Al-Fe-Si系和Si的金屬間化合物。Si的含量低于0.2質(zhì)量。/。時(shí)，提高強(qiáng)度的效果小。另一方面，Si含量超過(guò)1.6質(zhì)量％時(shí)，在鑄錠中產(chǎn)生粗大的Si系金屬間化合物，容易在氧化鋁膜處理后的表面外觀產(chǎn)生不均勻。因此，Si含量設(shè)定為0.2質(zhì)量％以上1.6質(zhì)量％以下。Mg和Si共存形成Mg2Si，具有提高鋁合金強(qiáng)度的效果。Mg的含量低于0.3質(zhì)量％時(shí)，其效果小，另一方面，Mg含量超過(guò)1.5質(zhì)量。/。時(shí)，強(qiáng)度提高的效果飽和。因此，Mg含量設(shè)定為0.3質(zhì)量％以上1.5質(zhì)量％以下。作為鋁合金的必要成分，含有上述的Si、Mg，還含有以下的Fe、Cu、Mn、Cr、Zn、Ti中至少一種以上。Fe具有使鋁合金的晶粒微細(xì)化、穩(wěn)定化，并且，提高強(qiáng)度的效果。Fe通常也是作為母材雜質(zhì)混入鋁合金中，在鑄造工序(S4)等中，在鑄錠中生成Al-Fe系金屬間化合物。Fe含量超過(guò)0.8質(zhì)量％時(shí)，在鑄錠中產(chǎn)生粗大的金屬間化合物，容易在氧化鋁膜處理后的表面外觀上產(chǎn)生不均勻。因此，F(xiàn)e含量設(shè)定為0.8質(zhì)量％以下。Cu具有提高鋁合金板強(qiáng)度的效果。Cu含量超過(guò)1.0質(zhì)量％時(shí)，耐蝕性降低。因此，Cu含量設(shè)定為1.0質(zhì)量％以下。[Mn:0.6質(zhì)量％以下]Mn固溶于鋁合金中且具有提高強(qiáng)度的效果。Mn含量超過(guò)0.6質(zhì)量％時(shí)，產(chǎn)生粗大的金屬間化合物，容易在氧化鋁膜處理后的表面外觀上產(chǎn)生不均勻。因此，Mn含量設(shè)定為0.6質(zhì)量％以下。[Cr:0.5質(zhì)量％以下]Cr在鑄造工序(S4)及熱處理工序(S5)中，具有作為微細(xì)的化合物析出、抑制晶粒成長(zhǎng)的效果。0含量超過(guò)0.5質(zhì)量％時(shí)，作為初晶產(chǎn)生粗大的Al-Cr系金屬間化合物，容易在氧化鋁膜處理后的表面外觀上產(chǎn)生不均勻。因此，Cr含量設(shè)定為0.5質(zhì)量y。以下。Zn具有提高鋁合金的強(qiáng)度的效果。超過(guò)0.4質(zhì)量％時(shí)耐蝕性降低。因此，Zn含量設(shè)定為0.4質(zhì)量。/。以下。[Ti:0.1質(zhì)量％以下]Ti具有細(xì)化鑄錠的晶粒的效果。Ti含量超過(guò)O.l質(zhì)量％其效果也已飽和。因此，Ti含量設(shè)定為0.1質(zhì)量。/。以下。[Zr:0.3質(zhì)量％以下]Zr具有細(xì)化鋁合金的結(jié)晶顆粒，并且穩(wěn)定化的效果。Zr的含量超過(guò)0.3質(zhì)量％時(shí)，產(chǎn)生粗大晶體析出物，容易在氧化鋁膜處理后的表面外觀上產(chǎn)生不均勻。因此，Zr含量設(shè)定為0.3質(zhì)量n/。以下。另外，作為不可避免的雜質(zhì)的V、B等的含量，只要分別在0.01質(zhì)量%以下，就不影響本發(fā)明的鋁合金厚板的特性。〈熱處理工序〉熱處理工序(S5)是將在鑄造工序(S4)制造的鑄錠進(jìn)行熱處理(均質(zhì)化熱處理)的工序。均質(zhì)化熱處理根據(jù)常規(guī)法，以處理溫度40(TC低于融點(diǎn)保持1小時(shí)以上而進(jìn)行。均質(zhì)化熱處理的處理溫度低于40(TC時(shí)，鑄錠中偏析的溶質(zhì)元素的均質(zhì)化不充分，熱處理的效果小。因此，處理溫度設(shè)定于40(TC以上。另外，處理溫度超過(guò)融點(diǎn)時(shí)，產(chǎn)生鑄錠表面的一部分溶解的稱(chēng)為氧化的現(xiàn)象，容易成為鋁合金厚板的表面缺陷的原因。因此，處理溫度設(shè)定為融點(diǎn)以下。另外，處理時(shí)間低于l小時(shí)時(shí)，金屬間化合物的固溶不充分且容易析出。因此，處理時(shí)間設(shè)定為1小時(shí)以上。下面，對(duì)本發(fā)明的第三實(shí)施方式的鋁合金厚板進(jìn)行說(shuō)明。〈鋁合金厚板〉鋁合金厚板由上述的鋁合金(Al-Mg-Si系合金)構(gòu)成，設(shè)定合金中的氫濃度為0.2ml/100g以下，且，板厚截面的表面附近和板厚中央部的金屬間化合物(結(jié)晶物)的面積率的差為10°/。以?xún)?nèi)。另外，氫濃度的控制也可以通過(guò)上述記載的制造方法進(jìn)行。在此，由于A1-Fe-Si系結(jié)晶物的面積率，氧化鋁膜后的色調(diào)變化，因此，面積率的差超過(guò)10%時(shí)，產(chǎn)生氧化鋁膜后的色調(diào)不均勻。另一方面，若在10%以?xún)?nèi)，不會(huì)產(chǎn)生色調(diào)不均勻。艮口，軋制材料的情況下，在板厚方向中心部，金屬間化合物的尺寸變大，因此，在產(chǎn)生了氧化鋁的情況下，截面產(chǎn)生色調(diào)不均勻，但是，在由鑄錠切片的情況下，金屬間化合物的分布狀態(tài)平均化，表面附近和板厚中央部的結(jié)晶物的面積率的差小，因此，不會(huì)產(chǎn)生色調(diào)不均勻。作為這種面積率的測(cè)定方法，通過(guò)測(cè)定板厚截面的板厚表面附近(例如，定義為板厚l/8位置)和板厚中央部(例如，定義為板厚l/2位置)的結(jié)晶物的面積率進(jìn)行。具體而言，在板厚截面，用SEM的組成像通過(guò)圖像處理，將觀察倍率設(shè)為1000倍，使視野為20視野以上，通過(guò)求A1-Fe-Si系結(jié)晶物的面積率進(jìn)行。另外，對(duì)耐蝕性來(lái)說(shuō)，底部基板用和輸送裝置用的在清潔室內(nèi)使用，因此，通常不需要耐蝕性。另外，使用于容器的情況下，因?yàn)槭歉g性氣體暴露少的環(huán)境，因此，不需要特別的耐蝕性。以上，對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行了說(shuō)明，但本發(fā)明并不局限于上述實(shí)施方式。下面，對(duì)于滿足本發(fā)明的權(quán)利要求范圍的實(shí)施例的效果而言，和本發(fā)明的權(quán)利要求范圍以外的比較例進(jìn)行比較后進(jìn)行具體說(shuō)明。[實(shí)施例5]首先，溶解具有表7所示組成的鋁合金，進(jìn)行了脫氫氣處理后，使氫氣濃度為0.2ml/100g以下。接著，進(jìn)行過(guò)濾后，鑄造從而制造板厚500mm的鑄錠。將制造的鑄錠在52(TC加熱8小時(shí)，將該鑄錠進(jìn)行切片或熱軋制，制造厚度20mm的鋁合金厚板(切片材料、熱軋制材料)。將得到的厚板在520。C進(jìn)行固溶化處理，在175"C實(shí)施8小時(shí)的時(shí)效處理。對(duì)該切片材料及熱軋制材料進(jìn)行強(qiáng)度試驗(yàn)、氧化鋁膜性評(píng)價(jià)試驗(yàn)。對(duì)于各試驗(yàn)，如上述第一實(shí)施方式說(shuō)明的那樣，因此，在此省略說(shuō)明。但是，在強(qiáng)度試驗(yàn)中，抗拉強(qiáng)度為200N/mm2以上且0.2%屈服強(qiáng)度為150N/mm2以上的認(rèn)定為合格(〇)，抗拉強(qiáng)度低于200N/mm2且0.2%屈服強(qiáng)度低于150N/mm2的認(rèn)定為不合格(X)。表8表示其結(jié)果。[表7]<table>tableseeoriginaldocumentpage29</column></row><table>級(jí)1.截面的板厚表面附近和板厚中央部的結(jié)晶物的面積率的巻=然，■{(A-B)/((A+B)/2>x,A,板厚表面附近(1/Sfi位罷2^鏡憂S婦耍積率B:板厚中央部(1/2位置)的結(jié)晶物的面積率如表8所示，對(duì)于切片材料，在合金成分6、8中，Si、Mg的含量低于下限值，因此強(qiáng)度不足。對(duì)于合金成分16、8而言，在鋁合金厚板的氧化鋁膜處理后的表面的外觀上未產(chǎn)生不均勻。對(duì)于合金成分7、911而言，分別是Si、Fe、Mn、Cr的含量超過(guò)上限值，因此，產(chǎn)生金屬間化合物，在氧化鋁膜處理后的表面的外觀上產(chǎn)生了不均勻。對(duì)于在合金成分111而言，在鋁合金厚板的氧化鋁膜處理后的截面的外觀上未產(chǎn)生不均勻。另一方面，對(duì)于熱軋制材料而言，在合金成分6、8中，Si、Mg含量低于下限值，因此強(qiáng)度不足。對(duì)于合金成分16、8而言，在鋁合金厚板的氧化鋁膜處理后的表面的外觀上未產(chǎn)生不均勻。對(duì)于合金成分7、911而言，分別是Si、Fe、Mn、Cr的含量超過(guò)上限值，因此，產(chǎn)生金屬間化合物，在氧化鋁膜處理后的表面的外觀上產(chǎn)生了不均勻。對(duì)于合金成分111而言，在鋁合金厚板的氧化鋁膜處理后的截面的外觀上產(chǎn)生不均勻。另外，在進(jìn)行熱軋制的熱軋制材料中，板厚截面的板厚表面附近和厚板中央部的結(jié)晶物的面積率的差超過(guò)了10%。第四實(shí)施方式如圖1所示，本發(fā)明第四實(shí)施方式的厚板的制造方法，按順序進(jìn)行溶解工序(Sl)、脫氫氣工序(S2)、過(guò)濾工序(S3)、鑄造工序(S4)、切片工序(S6)。另外，根據(jù)需要，在鑄造工序(S4)之后，也可以包括熱處理工序(S5)，在切片工序(S6)之后，也可以包括表面平滑化處理工序(S7)。在這些工序中，脫氫氣工序(S2)、過(guò)濾工序(S3)、鑄造工序(S4)、切片工序(S6)及表面平滑化處理工序(S7)和上述第一實(shí)施方式的制造方法是同樣的，因此，省略說(shuō)明。下面，對(duì)溶解工序(Sl)和熱處理工序(S5)進(jìn)行說(shuō)明?！慈芙夤ば颉等芙夤ば?Sl)是溶解含有規(guī)定量的Mg、Zn，還含有規(guī)定量的Si、Fe、Cu、Mn、Cr、Ti、Zr中至少一種以上，且，余量由A1及不可避免的雜質(zhì)構(gòu)成的鋁合金的工序。下面，對(duì)限定各成分含量的數(shù)值的理由進(jìn)行說(shuō)明。Mg具有提高鋁合金強(qiáng)度的效果。Mg的含量低于0.4質(zhì)量M時(shí)，其效果小，另一方面，Mg含量超過(guò)4.0質(zhì)量n/。時(shí)，耐SCC(耐應(yīng)力腐蝕裂紋)性降低。因此，Mg含量設(shè)定為0.4質(zhì)量。/。以上4.0質(zhì)量。/。以下。Zn具有提高鋁合金的強(qiáng)度的效果。Zn含量低于3.0質(zhì)量。/。時(shí)，其效果小，另一方面，Zn含量超過(guò)9.0質(zhì)量。/。時(shí)耐SCC(耐應(yīng)力腐蝕裂紋)性降低。因此，Zn含量設(shè)定為3.0質(zhì)量％以上9.0質(zhì)量％以下。作為鋁合金的必要成分，含有上述的Mg、Zn，還含有以下的Si、Fe、Cu、Mn、Cr、Ti、Zr中至少一種以上。[Si:0.7質(zhì)量％以下]Si通常作為母材雜質(zhì)混入鋁合金中的，在鑄造工序(S4)等中，在鑄錠中生成Al-Fe-Si系金屬間化合物。Si含量超過(guò)0.7質(zhì)量。/。時(shí)，在鑄錠中產(chǎn)生粗大的Al-Fe-Si系金屬間化合物，容易在氧化鋁膜處理后的表面外觀產(chǎn)生不均勻。因此，Si含量設(shè)定為0.7質(zhì)量M以下。Fe通常也是作為母材雜質(zhì)混入鋁合金中，在鑄造工序(S4)等中，在鑄錠中生成Al-Fe系金屬間化合物。Fe含量超過(guò)0.8質(zhì)量。/。時(shí)，在鑄錠中產(chǎn)生粗大的Al-Fe系金屬間化合物，容易在氧化鋁膜處理后的表面外觀上產(chǎn)生不均勻。因此，F(xiàn)e含量設(shè)定為0.8質(zhì)量y。以下。Cu具有提高鋁合金板強(qiáng)度的效果。01含量超過(guò)3.0質(zhì)量％時(shí)，耐蝕性降低。因此，Cu含量設(shè)定為1.0質(zhì)量％以下。[Mn:0.8質(zhì)量％以下]Mn具有使結(jié)晶組織微細(xì)化的效果。Mn含量超過(guò)0.8質(zhì)量。/。時(shí)，產(chǎn)生粗大的金屬間化合物，容易在氧化鋁膜處理后的表面外觀上產(chǎn)生不均勻。因此，Mn含量設(shè)定為0.8質(zhì)量％以下。[Cr:0.5質(zhì)量％以下]Cr在鑄造工序(S4)及熱處理工序(S5)中，具有作為微細(xì)的化合物析出、抑制晶粒成長(zhǎng)的效果。Cr含量超過(guò)0.5質(zhì)量。/。時(shí)，作為初晶產(chǎn)生粗大的Al-Cr系金屬間化合物，容易在氧化鋁膜處理后的表面外觀上產(chǎn)生不均勻。因此，Cr含量設(shè)定為0.5質(zhì)量％以下。Ti具有細(xì)化晶粒的效果。Ti含量超過(guò)OJ質(zhì)量％其效果也已飽和。因此，Ti含量設(shè)定為0.1質(zhì)量。/。以下。[Zr:0.25質(zhì)量％以下]Zr具有細(xì)化鋁合金的晶粒，并且穩(wěn)定化的效果。Zr的含量超過(guò)0.25質(zhì)量％時(shí)，產(chǎn)生粗大晶體析出物，容易在氧化鋁膜處理后的表面外觀上產(chǎn)生不均勻。因此，Zr含量設(shè)定為0.25質(zhì)量。/。以下。另外，作為不可避免的雜質(zhì)V、B等的含量，只要分別在0.01質(zhì)量％以下，就不影響本發(fā)明的鋁合金厚板的特性。〈熱處理工序〉熱處理工序(S5)是將在鑄造工序(S4)制造的鑄錠進(jìn)行熱處理(均質(zhì)化熱處理)的工序。通常，均質(zhì)化熱處理通過(guò)在處理溫度35(TC到低于融點(diǎn)的溫度保持1小時(shí)以上進(jìn)行。均質(zhì)化熱處理的處理溫度低于35(TC時(shí)，在鑄錠中偏析的溶質(zhì)元素的均質(zhì)化不充分，熱處理的效果小。因此，處理溫度設(shè)定為350。C以上。另外，處理溫度超過(guò)融點(diǎn)時(shí)，產(chǎn)生鑄錠表面的一部分溶解的稱(chēng)為氧化的現(xiàn)象，容易成為鋁合金厚板的表面缺陷的原因。因此，處理溫度設(shè)定為融點(diǎn)以下。另外，處理時(shí)間低于l小時(shí)時(shí)，金屬間化合物的固溶不充分且容易析出。因此，處理時(shí)間設(shè)定為1小時(shí)以上。下面，對(duì)本發(fā)明的鋁合金厚板進(jìn)行說(shuō)明?！翠X合金厚板〉鋁合金厚板由上述的鋁合金(Al-Zn-Mg系合金)構(gòu)成，設(shè)定合金中的氫濃度為0.2ml/100g以下，且，板厚截面的表面附近和板厚中央部的金屬間化合物(結(jié)晶物)的面積率的差為10%以?xún)?nèi)。另外，氫濃度的控制也可以通過(guò)上述記載的制造方法進(jìn)行。在此，由于Al-Fe-Si-(Cu)禾BAl-Zn-Mg-Cu系結(jié)晶物的面積率，氧化鋁膜后的色調(diào)發(fā)生變化，因此，面積率的差超過(guò)10%時(shí)，產(chǎn)生氧化鋁膜后的色調(diào)不均勻。另一方面，若在10%以?xún)?nèi)，不會(huì)產(chǎn)生色調(diào)不均勻。艮P，軋制材料的情況下，在板厚方向中心部，金屬間化合物的尺寸變大，因此，在產(chǎn)生了氧化鋁的情況下，截面產(chǎn)生色調(diào)不均勻，但是，在由鑄錠切片的情況下，金屬間化合物的分布狀態(tài)平均化，表面附近和板厚中央部的結(jié)晶物的面積率的差小，因此，不會(huì)產(chǎn)生色調(diào)不均勻。作為這種面積率的測(cè)定方法，通過(guò)測(cè)定板厚截面的板厚表面附近(例如，定義為板厚1/8位置)和板厚中央部(例如，定義為板厚1/2位置)的結(jié)晶物的面積率進(jìn)行。具體而言，在板厚截面，用SEM的組成像通過(guò)圖像處理，將觀察倍率設(shè)為1000倍，使視野為20個(gè)視野以上，通過(guò)求A1-Fe-Si系結(jié)晶物的面積率進(jìn)行。以上，對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行了說(shuō)明，但是，本發(fā)明不局限于上述實(shí)施方式。下面，對(duì)滿足本發(fā)明的權(quán)利要求范圍的實(shí)施例的效果，和本發(fā)明的權(quán)利要求范圍以外的比較例進(jìn)行比較后進(jìn)行具體說(shuō)明。[實(shí)施例6]首先，溶解具有表9所示組成的鋁合金，進(jìn)行了脫氫氣處理后，使氫氣濃度為0.2ml/100g以下。接著，進(jìn)行過(guò)濾后，鑄造從而制造板厚300mm的鑄錠。將制造的鑄錠在45(TC加熱8小時(shí)，進(jìn)行均質(zhì)化處理。將該鑄錠進(jìn)行切片或熱軋制，制造厚度20mm的鋁合金厚板(切片材料、熱軋制材料)。將得到的厚板在47(TC進(jìn)行固溶化處理，在12(TC實(shí)施48小時(shí)的時(shí)效處理。對(duì)該切片材料及熱軋制材料進(jìn)行強(qiáng)度試驗(yàn)及氧化鋁膜性評(píng)價(jià)試驗(yàn)。對(duì)于各試驗(yàn)，如上述第一實(shí)施方式說(shuō)明的那樣，因此，在此省略說(shuō)明。<table>tableseeoriginaldocumentpage34</column></row><table>如表10所示，對(duì)于切片材料，在合金成分6、7中，Mg、Zn的含量低于下限值，因此強(qiáng)度不足。對(duì)于合金成分17而言，在鋁合金厚板的氧化鋁膜處理后的表面的外觀上未產(chǎn)生不均勻。對(duì)于合金成分812而言，分別是Si、Fe、Mn、Cr、Zr的含量超過(guò)上限值，因此，產(chǎn)生金屬間化合物，在氧化鋁膜處理后的表面的外觀上產(chǎn)生了不均勻。對(duì)于合金成分112而言，在鋁合金厚板的氧化鋁膜處理后的截面的外觀上未產(chǎn)生不均勻。另一方面，對(duì)于熱軋制材料，在合金成分6、7中，Mg、Zn含量低于下限值，因此強(qiáng)度不足。對(duì)于合金成分17而言，在鋁合金厚板的氧化鋁膜處理后的表面的外觀上未產(chǎn)生不均勻。對(duì)于合金成分812而言，分別是Si、Fe、Mn、Cr、Zr的含量超過(guò)上限值，因此，產(chǎn)生金屬間化合物，在氧化鋁膜處理后的表面的外觀上產(chǎn)生了不均勻?qū)τ诤辖鸪煞?12而言，在鋁合金厚板的氧化鋁膜處理后的截面的外觀上產(chǎn)生不均勻。另外，在進(jìn)行熱軋制的熱軋制材料中，板厚截面的板厚表面附近和厚板中央部的結(jié)晶物的面積率的差超過(guò)了10%。以上，對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行了說(shuō)明，但是，本發(fā)明不局限于上述實(shí)施方式，在不脫離本發(fā)明范圍的范圍內(nèi)可以進(jìn)行變更。權(quán)利要求1、一種鋁合金厚板的制造方法，其特征在于，按下列順序進(jìn)行以下工序溶解鋁合金的溶解工序；從在所述溶解工序溶解的鋁合金中除去氫氣的脫氫氣工序；從在所述脫氫氣工序除去了氫氣的鋁合金中除去夾雜物的過(guò)濾工序；鑄造在所述過(guò)濾工序除去了夾雜物的鋁合金而制造鑄錠的鑄造工序；將所述鑄錠切片成規(guī)定的厚度的切片工序。2、如權(quán)利要求1所述的鋁合金厚板的制造方法，其特征在于，所述鋁合金的組成含有Mn:0.3質(zhì)量％以上1.6質(zhì)量％以下，還含有Si:0.7質(zhì)量％以下、Fe:0.8質(zhì)量％以下、Cu:0.5質(zhì)量％以下、Mg:1.5質(zhì)量％以下、Cr:0.3質(zhì)量％以下、Zn:0.4質(zhì)量％以下、Ti:0.1質(zhì)量％以下、Zn0.3質(zhì)量％以下中的至少一種以上，且余量由Al及不可避免的雜質(zhì)構(gòu)成。3、如權(quán)利要求2所述的鋁合金厚板的制造方法，其特征在于，在所述鑄造工序后，實(shí)施將鑄錠在40063(TC保持1小時(shí)以上的熱處理。4、如權(quán)利要求1所述的鋁合金厚板的制造方法，其特征在于，所述鋁合金的組成含有Mg:1.5質(zhì)量％以上12.0質(zhì)量％以下，還含有Si:0.7質(zhì)量％以下、Fe:0.8質(zhì)量％以下、Cu:0.6質(zhì)量％以下、Mn:1.0質(zhì)量％以下、Cr:0.5質(zhì)量％以下、Zn:0.4質(zhì)量％以下、Ti:0.1質(zhì)量％以下、Zr:0.3質(zhì)量％以下中的至少一種以上，且余量由Al及不可避免的雜質(zhì)構(gòu)成。5、如權(quán)利要求4所述的鋁合金厚板的制造方法，其特征在于，在所述鑄造工序后，實(shí)施將鑄錠在400。C低于融點(diǎn)的溫度保持1小時(shí)以上的熱處理o6、如權(quán)利要求1所述的鋁合金厚板的制造方法，其特征在于，所述鋁合金的組成含有Si:0.2質(zhì)量％以上1.6質(zhì)量％以下、Mg:0.3質(zhì)量％以上1.5質(zhì)量°/。以下，還含有Fe:0.8質(zhì)量％以下、Cu:1.0質(zhì)量％以下、Mn:0.6質(zhì)量％以下、Cr:0.5質(zhì)量％以下、Zn:0.4質(zhì)量％以下、Ti:0.1質(zhì)量％以下、Zr:0.3質(zhì)量％以下中的至少一種以上，且余量由A1及不可避免的雜質(zhì)構(gòu)成。7、如權(quán)利要求6所述的鋁合金厚板的制造方法，其特征在于，在所述鑄造工序后，實(shí)施將鑄錠在40(TC低于融點(diǎn)的溫度保持1小時(shí)以上的熱處理。8、如權(quán)利要求1所述的鋁合金厚板的制造方法，其特征在于，所述鋁合金的組成含有Mg:0.4質(zhì)量°/。以上4.0質(zhì)量％以下、Zn:3.0質(zhì)量％以上9.0質(zhì)量％以下，還含有Si:0.7質(zhì)量％以下、Fe:0.8質(zhì)量％以下、Cu:3.0質(zhì)量％以下、Mn:0.8質(zhì)量％以下、Cr:0.5質(zhì)量％以下、Ti:0.1質(zhì)量％以下、Zr:0.25質(zhì)量％以下中的至少一種以上，且余量由A1及不可避免的雜質(zhì)構(gòu)成。9、如權(quán)利要求8所述的鋁合金厚板的制造方法，其特征在于，在所述鑄造工序后，實(shí)施將鑄錠在35(TC低于融點(diǎn)的溫度保持1小時(shí)以上的熱處理。10、如權(quán)利要求l所述的鋁合金厚板的制造方法，其特征在于，在所述切片工序之后，對(duì)被切片成規(guī)定厚度的鋁合金厚板的表面進(jìn)一步進(jìn)行表面平滑化處理。11、如權(quán)利要求10所述的鋁合金厚板的制造方法，其特征在于，所述表面平滑化處理是從切削法、磨削法及研磨法中選出的至少一種。12、一種鋁合金厚板，其特征在于，是利用權(quán)利要求1所述的鋁合金厚板的制造方法制造的鋁合金厚板，其中，氫氣量為0.2ml/100g以下，板厚截面中的表面附近和板厚中央部的結(jié)晶物的面積率的差在10%以?xún)?nèi)。全文摘要本發(fā)明提供生產(chǎn)性?xún)?yōu)異、容易控制表面狀態(tài)及平坦度、提高板厚精度的鋁合金厚板的制造方法及鋁合金厚板。該制造方法按順序進(jìn)行以下工序溶解含有規(guī)定量的Mn，還含有規(guī)定量的Si、Fe、Cu、Mg、Cr、Zn、Ti中至少一種以上，且余量由Al及不可避免的雜質(zhì)構(gòu)成的鋁合金的溶解工序(S1)；從溶解工序(S1)溶解的鋁合金中除去氫氣的脫氫氣工序(S2)；從除去了氫氣的鋁合金中除去夾雜物的過(guò)濾工序(S3)；鑄造除去了夾雜物的鋁合金，從而制造鑄錠的鑄造工序(S4)；將鑄錠切片成規(guī)定的厚度的切片工序(S6)。文檔編號(hào)C22F1/04GK101437968SQ200780016600公開(kāi)日2009年5月20日申請(qǐng)日期2007年4月25日優(yōu)先權(quán)日2006年5月18日發(fā)明者加藤友晴,小林一德,德田健二,稻葉隆申請(qǐng)人:株式會(huì)社神戶(hù)制鋼所