專利名稱：磁頭研磨裝置以及研磨方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及以研磨用夾具保持排列多個(gè)磁頭的被研磨物的磁頭研磨裝置以及研磨方法。
當(dāng)通過研磨工序把薄膜磁頭的喉部高度設(shè)置成適宜的值的情況下，存在作為被研磨物的陶瓷棒歪斜，或者在陶瓷棒上存在不希望的彎曲的問題。即，如果在陶瓷棒上存在歪斜或者彎曲，則因?yàn)樵谘心パb置的旋轉(zhuǎn)研磨用臺上不能均勻地研磨陶瓷棒，所以例如即使陶瓷棒中央部分的薄膜磁頭的喉部高度是適宜值，也有因?yàn)閮啥瞬糠值谋∧ご蓬^的喉部高度過大或者過小而有可能出現(xiàn)不良。
因此，在美國專利第5620356號公報(bào)中公開的磁頭研磨裝置中提出了，把陶瓷棒粘貼在板狀的橫向長夾具的底面上，一邊測量由于被排列在陶瓷棒上的多個(gè)薄膜磁頭的喉部高度引起變化的電阻值，一邊通過修正研磨陶瓷棒的歪曲，把被形成在陶瓷棒上的各個(gè)薄膜磁頭的喉部高度設(shè)定為最佳值。
在美國專利所揭示的以往的研磨裝置中，設(shè)置成根據(jù)用由于喉部高度引起變化的電阻值求得的研磨量，在粘貼有陶瓷棒的橫向長夾具的長方向的3處的上下方向施加負(fù)荷，修正陶瓷的彎曲。
但是，今后越來越要求喉部高度的高精度化，但在美國專利的研磨裝置中，因?yàn)閷M向長夾具的長方向的3處在上下方向上作用負(fù)荷，所以只能使陶瓷棒變形為近似于4次曲線那樣的形狀。因此，可以修正的喉部高度的圖案也被限制在如近似于4次以下的低次曲線那樣的形狀。
與此相反，在實(shí)際研磨后的陶瓷棒中的磁頭的喉部高度值分布，呈現(xiàn)例如近似于6次以上的高次曲線那樣復(fù)雜的圖案。因此，在以往的研磨裝置中，在不能與近似于該高次曲線那樣的喉部高度分布圖案對應(yīng)的部分中，存在喉部高度不能被充分修正的問題。
圖28是展示使用以往的研磨裝置，一邊自動(dòng)地進(jìn)行喉部高度的控制，一邊進(jìn)行例如約50mm長度的陶瓷棒的研磨時(shí)的最終喉部高度分布的一例的圖。在該圖28中，實(shí)線表示喉部高度分布的6次曲線，虛線表示喉部高度分布的4次曲線。從圖28可以明確看出，在該例子中，最終的喉部高度分布近似于6次曲線。
這樣，相對于在研磨前的陶瓷棒中的喉部高度的實(shí)際分布圖案是近似于6次以上的次數(shù)的曲線來說，在上述以往的研磨裝置中，可以修正的喉部高度分布圖案被限制在近似于4次以下的曲線。因此，如圖28所示，在研磨后的喉部高度分布圖案中，高次成分未被修正而殘留下來。
這樣，在以往的研磨裝置中，當(dāng)要求磁頭的喉部高度高精度化的情況下，存在不能進(jìn)行充分的修正的問題。
另外，本發(fā)明的目的在于提供一種可以根據(jù)被研磨物的歪斜以及彎曲的分布圖案高精度修正的磁頭研磨裝置以及研磨方法。
為了實(shí)現(xiàn)上述的目的，本發(fā)明在研磨用夾具保持排列多個(gè)磁頭的被研磨物的磁頭研磨裝置中具有以下特征具有被驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)的研磨面的旋轉(zhuǎn)研磨用臺，和被配置成可以相對該旋轉(zhuǎn)研磨用臺的研磨面移動(dòng)的研磨裝置主體部分，該研磨裝置主體具有，被設(shè)置在該研磨裝置主體的下方保持夾具的夾具保持部分，和在沿著夾具的長方向上設(shè)置的多個(gè)負(fù)荷附加部分上分別附加規(guī)定的負(fù)荷的負(fù)荷附加單元，負(fù)荷附加單元，為了使夾具變形為規(guī)定的形狀，在負(fù)荷附加部分內(nèi)的至少一處從多個(gè)不同的方向附加負(fù)荷。
在這樣構(gòu)成的本發(fā)明中，因?yàn)椋O(shè)置成用負(fù)荷附加單元，在負(fù)荷附加部分內(nèi)的至少一處從多個(gè)不同方向附加負(fù)荷，使夾具變形為規(guī)定形狀，所以，例如，在研磨前，即使被研磨物的各磁頭的喉部高度值分布為近似于高次曲線那樣復(fù)雜的圖案，也可以使夾具變形而與該圖案忠實(shí)地對應(yīng)，因此，可以非常高精度地修正被研磨物的歪斜和彎曲。
在本發(fā)明中理想的是，負(fù)荷附加單元具有在夾具的至少一處負(fù)荷附加部分上附加垂直方向的負(fù)荷的垂直方向負(fù)荷附加單元。
在本發(fā)明中理想的是，負(fù)荷附加單元具有在夾具的至少一處負(fù)荷附加部分上附加水平方向的負(fù)荷的水平方向負(fù)荷附加單元。
在本發(fā)明中理想的是，負(fù)荷附加單元具有在夾具的至少一個(gè)負(fù)荷附加部分上附加旋轉(zhuǎn)方向的負(fù)荷的旋轉(zhuǎn)方向負(fù)荷附加單元。
在本發(fā)明中理想的是，夾具保持單元在夾具的長方向的大致中央部分保持夾具。
在本發(fā)明中理想的是，研磨裝置主體，以與研磨面平行的傾斜動(dòng)作軸為中心把研磨裝置主體部分保持為可以傾斜動(dòng)作的傾斜動(dòng)作單元。
本發(fā)明理想的是，進(jìn)一步具有把研磨裝置主體保持為可搖動(dòng)的搖動(dòng)單元。
另外，本發(fā)明在研磨用夾具保持排列多個(gè)磁頭的被研磨物的磁頭研磨方法中，其特征在于包括準(zhǔn)備具有被驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)的研磨面的旋轉(zhuǎn)研磨用臺，和具有在被配置成可以相對該旋轉(zhuǎn)研磨用臺的研磨面移動(dòng)的同時(shí)在其下方保持上述夾具的夾具保持部分的研磨裝置主體部分的工序；在夾具保持部分上安裝沿著其長度方向具備多個(gè)負(fù)荷附加部分的夾具的工序；為了使夾具變形為規(guī)定的形狀一邊在負(fù)荷附加部分內(nèi)的至少一處從多個(gè)不同的方向附加負(fù)荷，一邊研磨作為被研磨物的多個(gè)磁頭的工序。
圖2是展示

圖1中的夾具保持部分附近的斜視圖。
圖3是展示在夾具保持部分上固定著夾具的狀態(tài)的正面圖。
圖4是沿著圖3的A-A線看的斷面圖。
圖5是展示夾具的正面圖。
圖6是展示在實(shí)施方案1的磁頭研磨裝置中使用的夾具的另一例子的正面圖。
圖7是展示在實(shí)施方案1的磁頭研磨裝置中使用的夾具的另一例子的正面圖。
圖8是展示在實(shí)施方案1的磁頭研磨裝置中使用的夾具的又一例子的正面圖。
圖9是展示本發(fā)明的實(shí)施方案2的磁頭研磨裝置的整體正面圖。
圖10是圖9的平面圖。
圖11是展示本發(fā)明的實(shí)施方案2的磁頭研磨裝置的主要部分正面圖。
圖12是展示本發(fā)明的實(shí)施方案2的主要部分的平面圖。
圖13是展示在本發(fā)明的實(shí)施方案2中使用的調(diào)節(jié)環(huán)的底面圖。
圖14是展示本發(fā)明的實(shí)施方案2的研磨裝置主體部分的正面圖。
圖15是圖14的側(cè)面部分?jǐn)嗝鎴D。
圖16是圖14的平面圖。
圖17是只取出傾斜動(dòng)作機(jī)構(gòu)展示的側(cè)面圖。
圖18是只取出平衡負(fù)荷驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)展示的側(cè)面圖。
圖19是只取出X軸方向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)展示的正面圖。
圖20是圖19的局部側(cè)面圖。
圖21是沿著圖19的B-B線看的側(cè)面斷面圖。
圖22是只取出Y方向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)展示的正面圖。
圖23是沿著圖22的C-C線看的側(cè)面斷面圖。
圖24是只取出θ方向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)展示的正面圖。
圖25是圖24的側(cè)面局部斷面圖。
圖26是沿著圖25的D-D線看的平面斷面圖。
圖27是用于說明本發(fā)明實(shí)施方案2中的被研磨物的錐度加工的被研磨物的側(cè)面斷面圖。
圖28是展示使用以往的研磨裝置進(jìn)行棒的研磨時(shí)的最終的喉部高度分布的一例的曲線圖。
首先，參照圖1至圖8說明本發(fā)明的實(shí)施方案1。圖1是展示本發(fā)明的磁頭研磨裝置的實(shí)施方案1的整體斜視圖。研磨裝置1包括臺10；被設(shè)置在臺10上的旋轉(zhuǎn)研磨用臺11；在該旋轉(zhuǎn)研磨用臺11的側(cè)面，被設(shè)置在臺10上的支柱12；通過懸臂13對該支柱安裝的研磨裝置主體部分20。旋轉(zhuǎn)研磨用臺11，具有與棒接觸的研磨面11a。
研磨裝置主體部分20具備被連結(jié)在懸臂13上的支撐部分27；被配置在該支撐部分27的前方的基礎(chǔ)部件22；被配置在該基礎(chǔ)部件22的前面的夾具保持部分23；在該夾具保持部分23的前方位置等間隔配置的3根載重負(fù)荷棒25A、25B、25C。支撐部分27、基礎(chǔ)部件22以及載重負(fù)荷棒25A、25B、25C的上部，用蓋子21蓋著。基礎(chǔ)部件22，經(jīng)過未圖示的懸臂，與被設(shè)置在支撐部分27內(nèi)的傳動(dòng)裝置連結(jié)，通過驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)裝置，可以上下移動(dòng)。橫向長的夾具50，被固定在夾具保持部分23上。
圖2是展示圖1中的夾具保持部分23附近的斜視圖，圖3是展示在夾具保持部分23上固定著夾具的狀態(tài)的正面圖，圖4是沿著圖3的A-A線看的斷面圖。
夾具保持部分23具有保持部分主體31；在位于該保持部分主體31的前面的下端部分附近的左右方向的中央部分上，向前方突出設(shè)置的夾具固定用銷32；在位于保持部分主體31的前面的下端部分附近的左右方向的端部附近，向前方突出設(shè)置的，作為旋轉(zhuǎn)防止用部件的導(dǎo)銷33、33。導(dǎo)銷33、33的大部分被形成圓柱形狀，前端部分被形成越接近端部直徑越小。在夾具固定用銷32上，從前端部分開始形成陰螺紋。而后，在該夾具固定用銷32上，用作為固定器具的螺栓40，固定夾具50。
在載重負(fù)荷棒25A、25B、25C的下端部分上，固定有長方體形狀的負(fù)荷附加塊35A、35B、35C。在負(fù)荷附加塊35A、35B、35C的下端部分附近，設(shè)置有轉(zhuǎn)動(dòng)自如地插入后述的負(fù)荷附加銷36A、36B、36C的軸承37。另外，在負(fù)荷附加塊35B上，在與夾具固定用銷32對應(yīng)的位置上，形成插入夾具固定用銷32的孔38，使得負(fù)荷附加塊35B可以在上下方向以及左右方向只移動(dòng)規(guī)定的距離。
負(fù)荷附加銷36A、36B、36C，分別通過負(fù)荷附加塊35A、35B、35C的軸承37，前端從負(fù)荷附加塊35A、35B、35C的前端面突出。在負(fù)荷附加銷36A、36B、36C的前端部分上，分別形成正方體形狀的頭部分39A、39B、39C。負(fù)荷附加銷36A、36B、36C的后端部分，與被配置在保持部分主體31和負(fù)荷附加塊35A、35B、35C之間的杠桿41A、41B、41C的一端接合。杠桿41A、41B、41C的另一端，與用于使杠桿41A、41B、41C搖動(dòng)的長柄42A、42B、42C的下端連結(jié)并可以轉(zhuǎn)動(dòng)。
在負(fù)荷附加塊35A、35B、35C的上方位置上，設(shè)置有支撐載重負(fù)荷棒25A、25B、25C可以在上下移動(dòng)以及轉(zhuǎn)動(dòng)的支撐部件43A、43B、43C。在這些支撐部件43A、43B、43C的后端部分上接合有驅(qū)動(dòng)棒44A、44B、44C的前端部分。這些驅(qū)動(dòng)棒44A、44B、44C，通過被設(shè)置在保持部分主體31上的軸承45A、45B、45C，把后端側(cè)導(dǎo)入基礎(chǔ)部件22。
載重負(fù)荷棒25A、25B、25C，分別由被設(shè)置在基礎(chǔ)部件22內(nèi)的未圖示的傳動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)在上下方向移動(dòng)。另外，驅(qū)動(dòng)棒44A、44B、44C，分別由被設(shè)置在基礎(chǔ)部件22內(nèi)的未圖示的另一傳動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)。另外，長柄42A、42B、42C，由被設(shè)置在基礎(chǔ)部件22內(nèi)的未圖示的再一傳動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)在上下方向移動(dòng)。
以下，參照圖5說明在本實(shí)施方案的磁頭研磨裝置中使用的夾具50。圖5是展示夾具50的正面圖，為橫向長的板形狀。該夾具50具備主體部分51，被固定在圖1所示的研磨裝置1上；在1方向上長的保持部分52，用于保持作為被研磨物的桿；4根連結(jié)部分53A-53D，連結(jié)保持部分52和主體部分51；3個(gè)負(fù)荷附加部分54A-54C，與保持部分52連結(jié)，附加用于使保持部分52變形的負(fù)荷；托臂部分55A-55C，連結(jié)負(fù)荷附加部分54A-54C和保持部分52。
在主體部分51上，在長方向的中央部分并且在上下方向的中央的上側(cè)位置上形成作為使螺釘40穿過的固定部分的固定用孔56，用于把主體部分51固定于研磨裝置1的夾具固定用銷32上。另外，在主體部分51上，形成導(dǎo)銷33、33嵌合的嵌合部分57、57。嵌合部分57、57，被形成在當(dāng)研磨裝置1的夾具固定用銷32和夾具50的固定用孔56的位置對齊時(shí)與導(dǎo)銷33、33對應(yīng)的位置上。
保持部分52，為通過加外力彎曲的細(xì)長梁構(gòu)造。在保持部分52的下端部分上，設(shè)置固定桿的桿固定部分58。在桿固定部分58上，形成在切斷桿時(shí)，桿切斷用的刃口進(jìn)入的多條溝。
在此，如圖5所示，把夾具50的長方向(左右方向，水平方向)作為X方向，把與夾具50的長方向正交并且與夾具50的前面以及背面平行的方向(上下方向，垂直方向)作為Y方向。把與以X方向以及Y方向正交的軸為中心轉(zhuǎn)動(dòng)的方向作為θ方向。
兩側(cè)的2個(gè)負(fù)荷附加部分54A、54C，分別具有正交的X方向以及Y方向，和θ方向這3個(gè)方向的自由度。即，負(fù)荷附加部分54A、54C，以主體部分51為基準(zhǔn)，可以在X方向、Y方向以及θ方向這3個(gè)方向上移動(dòng)。中央的負(fù)荷附加部分54B，具有只在Y方向這1個(gè)方向的自由度。即，負(fù)荷附加部分54B，以主體部分51為基準(zhǔn)，只可以在Y方向上移動(dòng)。
具有3方向自由度的負(fù)荷附加部分54A、54C，具有可以接收3個(gè)方向負(fù)荷的斷面被形成非圓形狀的孔。另外，負(fù)荷附加部分54B，也具有和負(fù)荷附加部分54A、54C一樣形狀的孔。
兩側(cè)的2個(gè)托臂部分55A、55C，如此連結(jié)負(fù)荷附加部分54A、54C和保持部分52，使得負(fù)荷附加部分54A、54C的中心，相對由于該負(fù)荷附加部分54A、54C的位置變化保持部分52在旋轉(zhuǎn)方向上變形時(shí)的轉(zhuǎn)動(dòng)中心59A、59B，被配置在偏離保持部分52的長方向的外側(cè)的位置上。即，托臂部分55A、55C，為相對旋轉(zhuǎn)中心59A、59B，向保持部分52的長方向的外側(cè)突出的構(gòu)造。另外，中央的托臂部分55B，和其它的托臂部分55A、55C相比，Y方向的長度短，不向外突出地連結(jié)保持部分52的長方向的中央部分和負(fù)荷附加部分54B。
另外，在夾具50中，嵌合部分57、57，通過切削主體部分51的端部連結(jié)部分53A、53D的上側(cè)的部分，使其向夾具50的長方向的內(nèi)側(cè)開口形成。該嵌合部分57、57，分別具有與夾具50的長方向平行的2個(gè)面。這2個(gè)面的距離，比導(dǎo)銷33、33的直徑稍大。在嵌合部分57、57上插入導(dǎo)銷33、33，并在上下方向上具有適度的間隙，嵌合部分57、57，用上述平行的2個(gè)面，限制在以固定用孔56為中心的旋轉(zhuǎn)方向上，主體部分51的位置相對導(dǎo)銷33、33的位置變動(dòng)。對于在以固定用孔56為中心的轉(zhuǎn)動(dòng)方向交叉的方向上，只允許主體部分51相對導(dǎo)銷33、33的位置變動(dòng)規(guī)定的量。
以下，參照圖3以及圖4說明夾具50對研磨裝置的固定方法。首先，相對夾具50的棒固定部分58，用粘接等方法固定棒70，使得棒70的相對介質(zhì)的面為表面(下側(cè))。夾具50，被配置在負(fù)荷附加塊35A、35B、35C的前方。這時(shí)，導(dǎo)銷33、33，被嵌合在夾具50的嵌合部分57、57上，負(fù)荷附加銷36A、36B、36C的頭部分39A、39B、39C，被分別插入負(fù)荷附加部分54A、54B、54C。另外，調(diào)整夾具50的位置，使夾具50的固定用孔56和研磨裝置1的夾具固定用銷的位置吻合。在這種狀態(tài)下，從夾具50的前面經(jīng)過墊圈49在固定用孔56內(nèi)插入螺釘40，把該螺釘40擰緊在夾具固定用銷32的陰螺紋上。由此，經(jīng)過墊圈49，用螺釘40的接合面和夾具固定用銷32的前端面夾住夾具50，把夾具50固定在夾具固定用銷32上。
以下，根據(jù)圖3以及圖4，說明采用安裝有夾具50的磁頭研磨裝置1的棒70的研磨方法。
如果保持棒70的夾具50如上述那樣被固定在研磨裝置1上，則棒70的被研磨面被配置成與旋轉(zhuǎn)研磨用臺11的研磨面11a接觸。在這種狀態(tài)下，如果在上下方向上驅(qū)動(dòng)載重負(fù)荷棒25A、25B、25C，則負(fù)荷附加塊35A、35B、35C在上下方向移動(dòng)，貫通這些負(fù)荷附加塊35A、35B、35C的負(fù)荷附加銷36A、36B、36C在上下方向移動(dòng)，頭部39A、39B、39C也在上下方向移動(dòng)。由此，可以對夾具50的負(fù)荷附加部分54A、54B、54C附加Y方向的負(fù)荷。
另外，如果在旋轉(zhuǎn)方向上驅(qū)動(dòng)驅(qū)動(dòng)棒44A、44C，則以驅(qū)動(dòng)棒44A、44C的軸為中心支撐部件43A、43C轉(zhuǎn)動(dòng)，載重負(fù)荷棒25A、25C的下端一側(cè)，在以驅(qū)動(dòng)棒44A、44C為中心的轉(zhuǎn)動(dòng)方向上移動(dòng)。于是，負(fù)荷附加塊35A、35C在以驅(qū)動(dòng)棒44A、44C的軸為中心的轉(zhuǎn)動(dòng)方向上移動(dòng)。在此，與從驅(qū)動(dòng)棒44A、44C到負(fù)荷附加塊35A、35C的距離相比，因?yàn)樨?fù)荷附加塊35A、35C的轉(zhuǎn)動(dòng)方向的移動(dòng)距離極小，所以伴隨驅(qū)動(dòng)棒44A、44C的驅(qū)動(dòng)的負(fù)荷附加塊35A、35C的移動(dòng)，為大致直線的左右方向的移動(dòng)。如果負(fù)荷附加塊35A、35C在左右方向上移動(dòng)，則貫通該負(fù)荷附加塊35A、35C的負(fù)荷附加銷36A、36C在左右方向移動(dòng)，頭部39A、39C也在左右方向移動(dòng)。由此，可以對夾具50的負(fù)荷附加部分54A、54C附加X方向的負(fù)荷。
進(jìn)而，如果在上下方向上驅(qū)動(dòng)長柄42A、42C，則杠桿41A、41C搖動(dòng)，被連結(jié)在該杠桿41A、41C上的負(fù)荷附加銷36A、36C轉(zhuǎn)動(dòng)。由此，可以對夾具50的負(fù)荷附加部分54A、54C附加以負(fù)荷附加部分54A、54C的中心為轉(zhuǎn)動(dòng)中心的θ方向的力矩負(fù)荷。
這樣，通過對夾具50的負(fù)荷附加部分54A、54B、54C附加各種不同方向的負(fù)荷，使保持部分52、棒固定部分58以及棒70變形。由此，可以一邊控制成為以棒70內(nèi)的磁頭的喉部高度值為目標(biāo)的值，一邊研磨棒70的介質(zhì)相對面。
因而，如果采用本發(fā)明的實(shí)施方案1的磁頭研磨裝置，因?yàn)?，在研磨前，即使在?0中的各磁頭的喉部高度值的分布為近似于高次曲線那樣的復(fù)雜圖案，也可以通過使夾具50的保持部分52變形忠實(shí)地與該圖案對應(yīng)，所以，可以在棒70的全長范圍內(nèi)使各磁頭的喉部高度高精度地進(jìn)入允許范圍內(nèi)。
進(jìn)而，在上述的實(shí)施方案1中，因?yàn)槭褂昧藞D5所示的夾具50，所以兩側(cè)的2個(gè)負(fù)荷附加部分54A、54C，可以在X方向、Y方向以及θ方向這3個(gè)方向上移動(dòng)，中央的負(fù)荷附加部分54B，只能在Y方向移動(dòng)。其結(jié)果，在實(shí)施方案1中，當(dāng)使用圖5所示的夾具50的情況下，因?yàn)樵谥醒氲呢?fù)荷附加部分54B上不使用用于在X方向移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)棒44B以及用于在θ方向移動(dòng)的長柄42B和杠桿41B，所以可以不設(shè)置這些驅(qū)動(dòng)棒44B、長柄42B以及杠桿41B。
以下用圖6說明在實(shí)施方案1的磁頭研磨裝置中使用的夾具的另一例子。該夾具75，與圖5所示的夾具50相比，上下方向的長度長。另外，在夾具75中，中央的負(fù)荷附加部分54B被配置在比夾具50中的負(fù)荷附加部分54B的位置靠上，和其它的負(fù)荷附加部分54A、54C一樣被配置在主體部分51的上下方向的大致中央的位置。伴隨這種配置，夾具75的托臂55B的長度，比夾具50中的托臂55B的長度還長。
在該夾具75中，3個(gè)負(fù)荷附加部分54A-54C，全部具有正交的X方向以及Y方向，和θ方向這3個(gè)方向的自由度。即，負(fù)荷附加部分54A-54C，以主體部分51為基準(zhǔn)，可以在X方向、Y方向以及θ方向這3個(gè)方向上移動(dòng)。
在把這種夾具75安裝在圖1至圖4的研磨裝置1上的情況下，如果在旋轉(zhuǎn)方向上驅(qū)動(dòng)驅(qū)動(dòng)棒44B，則以驅(qū)動(dòng)棒44B為中心支撐部件43B旋轉(zhuǎn)，載重負(fù)荷棒25B的下端部分，在以驅(qū)動(dòng)棒44B為中心的旋轉(zhuǎn)方向上移動(dòng)。于是，負(fù)荷附加塊35B，在以驅(qū)動(dòng)棒44B為中心的旋轉(zhuǎn)方向上移動(dòng)。由此，貫通負(fù)荷附加塊35B的負(fù)荷附加銷36B在左右方向上移動(dòng)，頭部39B也在左右方向上移動(dòng)。由此，可以對夾具75的負(fù)荷附加部分54B附加X方向的負(fù)荷。
另外，如果在上下方向上驅(qū)動(dòng)長柄42B，則杠桿41B搖動(dòng)，被連結(jié)在該杠桿41B上的負(fù)荷附加銷36B轉(zhuǎn)動(dòng)。由此，可以對夾具75的負(fù)荷附加部分54B，附加以負(fù)荷附加部分54B的中心為旋轉(zhuǎn)中心的θ方向的力矩負(fù)荷。
當(dāng)使用該夾具75的情況下，如果采用實(shí)施方案1的研磨裝置1，則通過組合被附加在3個(gè)負(fù)荷附加部分54A-54C上的多個(gè)方向的負(fù)荷，就可以使保持部分52與圖5所示的夾具50相比變形為更復(fù)雜的形狀，具體地說，可以變形為近似于8次以上的高次曲線那樣的復(fù)雜的形狀。
以下，用圖7說明在實(shí)施方案1的磁頭研磨裝置中使用的夾具的又一例子。該夾具80，在圖5所示的夾具50中，除了負(fù)荷附加部分54B以及托臂部分55B之外，使中間連結(jié)部分53B、53C向靠近中央的位置移動(dòng)。另外，在夾具80中的保持部分52，在中間連結(jié)部分53B、53C之間，在中間連結(jié)部分53B、53的附近最薄，越向中間連結(jié)部分53B、53C之間的中央越厚，彎曲剛性越高。
當(dāng)把該夾具80安裝在圖1至圖4所示的研磨裝置1上的情況下，通過組合被附加在2個(gè)負(fù)荷附加部分54A、54C上的多個(gè)方向的負(fù)荷，就可以把保持部分52變形為復(fù)雜的形狀。
進(jìn)而，在實(shí)施方案1中，當(dāng)使用圖7所示的夾具80的情況下，只有兩側(cè)的2個(gè)負(fù)荷附加部分54A、54C可以在X方向、Y方向以及θ方向這3個(gè)方向上移動(dòng)。其結(jié)果，在實(shí)施方案1中，當(dāng)使用圖6所示的夾具80的情況下，因?yàn)樵谥醒氲呢?fù)荷附加部分54B上不使用用于在X方向移動(dòng)的驅(qū)動(dòng)棒44B，和用于在Y方向移動(dòng)的載重負(fù)荷棒25B以及用于在θ方向移動(dòng)的長柄42B和杠桿41B，所以可以不設(shè)置這些驅(qū)動(dòng)棒44B、載重負(fù)荷棒25B、長柄42B以及杠桿41B。
以下用圖8說明在實(shí)施方案1的磁頭研磨裝置中使用的夾具的又一例子。該夾具85，代替在圖6所示的夾具75中的斷面具有矩形孔的負(fù)荷附加部分54A、54B、54C，設(shè)置可以接受X方向和Y方向這2個(gè)方向的負(fù)荷的，斷面具有圓形孔并且具有X方向和Y方向這2個(gè)方向的自由度的負(fù)荷附加部分54A、54B、54C。
當(dāng)把該夾具85安裝在圖1至圖4所示的研磨裝置1中的情況下，通過組合被附加在3個(gè)負(fù)荷附加部分54A、54B、54C上的多個(gè)方向的負(fù)荷，就可以把保持部分52變形為復(fù)雜的形狀。
進(jìn)而，在實(shí)施方案1中，當(dāng)使用圖8所示的夾具85的情況下，在3個(gè)負(fù)荷附加部分54A、54B、54C中，只可以在X方向以及Y方向上移動(dòng)。其結(jié)果，在實(shí)施方案1中，當(dāng)使用圖8所示的夾具85的情況下，因?yàn)樵?個(gè)負(fù)荷附加部分54A、54B、54C中不使用用于在θ方向移動(dòng)的長柄42A、42B、42C以及杠桿41A、41B、41C，所以可以不設(shè)置這些長柄42A、42B、42C以及杠桿41A、41B、41C。
以下參照圖9至圖27說明本發(fā)明的實(shí)施方案2。即便在此實(shí)施方案中，也和上述的實(shí)施方案1一樣，3個(gè)負(fù)荷附加部分，全部具有在正交的X方向(水平方向)以及Y方向(垂直方向)，和θ方向(旋轉(zhuǎn)方向)這3個(gè)方向上的自由度，可以在X方向、Y方向以及θ方向這3個(gè)方向上移動(dòng)。
圖9是展示本發(fā)明的實(shí)施方案2的磁頭研磨裝置的整體正面圖，圖10是圖9的平面圖。用圖9以及圖10說明實(shí)施方案2的磁頭研磨裝置的整體構(gòu)成。磁頭研磨裝置100，具備基座101，在該基座101上，把旋轉(zhuǎn)研磨用臺102支撐為在水平面內(nèi)可以轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而，該旋轉(zhuǎn)研磨用臺102用被設(shè)置在基座101內(nèi)的作為旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)源的平臺驅(qū)動(dòng)電機(jī)104經(jīng)過皮帶106驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)。
另外，在上下方向隔開的1對導(dǎo)軌108被支撐在基座101上方并在水平方向上延伸，進(jìn)而，設(shè)置用1對導(dǎo)軌108引導(dǎo)在水平方向上滑動(dòng)自如的橫向移動(dòng)滑塊110。在此橫向移動(dòng)滑塊110上安裝有可以自如升降的研磨磁頭安裝用框架112(可以自如地調(diào)整高度)。橫向移動(dòng)滑塊110的驅(qū)動(dòng)，例如在與導(dǎo)軌108平行的滾珠絲杠軸上擰上滑塊110一側(cè)的球形螺母，通過用電機(jī)驅(qū)動(dòng)滾珠絲杠軸轉(zhuǎn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)驅(qū)動(dòng)，進(jìn)而，滑塊110以及研磨磁頭安裝用框架112可以進(jìn)行往復(fù)直線運(yùn)動(dòng)。
如圖11以及圖12所示，在研磨磁頭安裝用框架112的內(nèi)側(cè)通過圓環(huán)形軸承114支撐轉(zhuǎn)動(dòng)支撐部分116可自如轉(zhuǎn)動(dòng)，在該轉(zhuǎn)動(dòng)支撐部分116上，通過板簧、橡膠等的彈性部件118安裝研磨磁頭120。進(jìn)而，在本實(shí)施方案中，也可以代替彈性部件118使用剛性部件。另外，研磨磁頭120，具有底板122和在其上平行地垂直固定設(shè)置的垂直支撐板124，進(jìn)而，在研磨磁頭120的底板122的底面上固定有調(diào)節(jié)環(huán)126。調(diào)節(jié)環(huán)126與作為旋轉(zhuǎn)研磨用臺102的上面的研磨面102a接觸。
進(jìn)而，在實(shí)施方案2中，根據(jù)需要，也可以不設(shè)置該調(diào)節(jié)環(huán)126。
如圖10以及圖11所示，在旋轉(zhuǎn)支撐部分116上固定皮帶輪128，在研磨磁頭安裝用框架112的外側(cè)上，安裝有驅(qū)動(dòng)皮帶輪130轉(zhuǎn)動(dòng)的研磨磁頭搖動(dòng)用電機(jī)132。在皮帶輪128、130之間套掛上皮帶134。電機(jī)132、皮帶輪128、130以及皮帶134，具有作為使研磨磁頭120以及調(diào)節(jié)環(huán)126進(jìn)行規(guī)定角度范圍的往復(fù)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)(搖動(dòng))的搖動(dòng)單元的功能。
圖13是調(diào)節(jié)環(huán)的底面圖。如圖13所示，調(diào)節(jié)環(huán)126，例如在鋁質(zhì)的環(huán)主體136上埋設(shè)多個(gè)耐磨損性陶瓷的圓柱形狀標(biāo)準(zhǔn)模型138，圓柱形狀模型139的下端面從環(huán)主體136稍微突出。在此，設(shè)定圓柱形狀標(biāo)準(zhǔn)模型138的個(gè)數(shù)與被裝載在調(diào)節(jié)環(huán)126上的研磨磁頭120的重量平衡。在圖13所示的調(diào)節(jié)環(huán)126的情況下，在與旋轉(zhuǎn)研磨用臺102接觸的調(diào)節(jié)環(huán)126的圓弧形狀部分40、42中，因?yàn)閳A弧形狀部分140一方接受研磨磁頭120的負(fù)荷多，所以圓柱形狀的標(biāo)準(zhǔn)模型138的個(gè)數(shù)多。
以下，用圖14至圖27說明實(shí)施方案2的研磨裝置主體的細(xì)部。圖14是展示本發(fā)明的實(shí)施方案2的研磨裝置主體部分的正面圖，圖15是圖14的側(cè)面部分?jǐn)嗝鎴D，圖16是圖14的平面圖，圖17是只取出傾斜動(dòng)作機(jī)構(gòu)展示的側(cè)面圖，圖18是只取出平衡負(fù)荷驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)展示的側(cè)面圖，圖19是只取出X方向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)展示的正面圖，圖20是圖19的局部側(cè)面圖，圖21是沿著圖19的B-B線看的側(cè)面斷面圖，圖22是只取出Y方向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)展示的正面圖，圖23是沿著圖22的C-C線看的側(cè)面斷面圖，圖24是只取出θ方向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)展示的正面圖，圖25是圖24的側(cè)面局部斷面圖，圖26是沿著圖25的D-D線看的平面斷面圖，圖27是用于說明在實(shí)施方案2中的被研磨物的錐度加工的被研磨物的側(cè)面斷面圖。
實(shí)施方案2的研磨裝置100的研磨裝置主體部分300，其構(gòu)成包含傾斜動(dòng)作結(jié)構(gòu)302；平衡負(fù)荷驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)304；X方向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)306；Y方向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)308以及θ方向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)310。
首先，主要參照圖15以及圖17說明傾斜動(dòng)作機(jī)構(gòu)302。在研磨磁頭120的垂直支撐板124之間，設(shè)置與調(diào)節(jié)環(huán)126的下面(即旋轉(zhuǎn)研磨用臺102的研磨面102a)平行的傾斜動(dòng)作軸144，在該傾斜動(dòng)作軸144上軸支撐著以該傾斜動(dòng)作軸144為中心可以相對研磨磁頭120傾斜動(dòng)作的傾斜動(dòng)作部分146。在研磨磁頭120的垂直支撐板124上，在支點(diǎn)軸150上安裝電機(jī)安裝用基座部分148的下部使其可以自由轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)而，在電機(jī)安裝基座部分148的上部固定有傾斜動(dòng)作用電機(jī)152。在電機(jī)152的轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)軸上連結(jié)滾珠絲杠軸154，在該滾珠絲杠軸154上擰入球形螺母156。在球形螺母156上，靠支撐軸160，連結(jié)一端被固定在傾斜動(dòng)作部分146上的臂158的另一端。這些支點(diǎn)軸150至160的機(jī)構(gòu)，構(gòu)成使傾斜動(dòng)作部分146從相對旋轉(zhuǎn)研磨用臺102的研磨面102a成垂直面的狀態(tài)只傾斜規(guī)定角度的傾斜動(dòng)作單元。
在傾斜動(dòng)作部分146上，通過直線導(dǎo)軌162安裝滑塊146，使其可以相對傾斜動(dòng)作部分146升降。在此，滑塊164的傾斜方向的動(dòng)作因?yàn)楹蛢A斜動(dòng)作部分146連為一體進(jìn)行，所以傾斜動(dòng)作部分146和滑塊164始終保持平行狀態(tài)。在該滑塊164的下端部分上，以與旋轉(zhuǎn)研磨用臺102的研磨面102a平行與傾斜動(dòng)作軸144正交的支點(diǎn)軸166軸支撐后面板168。
以下，參照圖14至圖16以及圖18，說明平衡負(fù)荷驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)304。在傾斜動(dòng)作部分146的上部，通過托架172安裝平衡用電磁式傳動(dòng)裝置170A、170B。這些平衡用電磁式傳動(dòng)裝置170A、170B的作用是，在分別向下方按壓(加壓)后面板168的支撐軸166的左側(cè)以及右側(cè)的同時(shí)，控制作用于后面板168上的負(fù)荷。平衡用電磁式傳動(dòng)裝置170A、170B，由框架174；被安裝在該框架174內(nèi)側(cè)形成固定部分的線圈176；被設(shè)置在中心部分形成可移動(dòng)部分的磁鐵178；與該磁鐵178的中心安裝為一體的桿180構(gòu)成。
在平衡用電磁式傳動(dòng)裝置170A、170B的桿180的下端，安裝有斷面L字形的滑塊182，它可以沿著被安裝在傳動(dòng)裝置170A、170B的框架174上的直線導(dǎo)軌184升降。在此，框架174的上部和斷面L字形的滑塊182，用彈性部件186連接，靠該彈性部件186的彈性力，抵消作為可移動(dòng)部分的磁鐵178的自重。這些L字形的滑塊182的下端，和后面板168的左側(cè)以及右側(cè)之間，分別經(jīng)過襯墊187、189用連結(jié)用連桿188分別連結(jié)。軸支撐左右的連結(jié)用連桿188的后面板168的支撐點(diǎn)是L、R。這樣，作為平衡用電磁式傳動(dòng)裝置170A、170B的可移動(dòng)部分的磁鐵178的移動(dòng)方向和作用在后面板168上的壓力的作用方向，為相互平行的方向。進(jìn)而，當(dāng)由滑塊164和后面板168等組成的可以升降的部分的自重很大時(shí)，也可以把由平衡用傳動(dòng)裝置170A、170B產(chǎn)生的壓力設(shè)置為負(fù)(上升方向的力)。
以下，用圖14和圖15說明夾具安裝構(gòu)造。即使在實(shí)施方案2中，也可以適用在實(shí)施方案1中使用的夾具50(參照圖5)，夾具75(參照圖6)，夾具80(參照圖7)，夾具85(參照圖8)的任意一種。在此，說明適用夾具50(參照圖5)的情況。在后面板168的下部一體地形成長方形板狀部分190。為了安裝在底面粘貼有作為被研磨物的棒70的長方形板狀的夾具50，在該長方形板狀部分190的前面的中央部分上設(shè)置夾具固定用銷196(參照圖17)，在前面的左右端部的上方設(shè)置止動(dòng)銷197A、197B(參照圖14)，在前面的兩端部分上把導(dǎo)銷198A、198B(參照圖14)分別與長方形板狀部分190設(shè)置成一體。在中央部分的夾具固定用銷196的前端面上擰入安裝用螺釘202，在這1點(diǎn)上把夾具50保持在后面板168上不脫落。
左右端部的止動(dòng)銷197A、197B以及夾具固定用銷196，成為安裝后述的修正用架222A、222B、222C時(shí)安裝位置的基準(zhǔn)。進(jìn)而，這些止動(dòng)銷197A、197B以及夾具固定用銷196的直徑，比被設(shè)置在修正用架222A、222B、222C上的通孔200A、200B、200C分別只小規(guī)定的長度。因此，止動(dòng)銷197A、197B以及夾具固定用銷196，在修正用架222A、222B、222C升降移動(dòng)超過需要的情況下，還具有限制其動(dòng)作的功能。進(jìn)而，導(dǎo)銷198A、198B，如圖14所示，被設(shè)置在不對夾具50的彎曲修正有影響的長方形板狀部分190的兩端部分，用于把夾具50通過修正用架222A、222B、222C安裝在長方形板狀部分190上時(shí)的位置確定。
如圖14、圖15、圖25以及圖26所示，在修正用架222A、222B、222C的下端附近，設(shè)置軸承226，負(fù)荷附加銷224A、224B、224C被轉(zhuǎn)動(dòng)自如地插入該軸承226。在負(fù)荷附加銷224A、224B、224C的前端側(cè)，分別形成長方體形狀的頭部228A、228B、228C，這些頭部228A、228B、228C，被嵌合在構(gòu)成夾具50的負(fù)荷附加部分54A、54B、54C的孔內(nèi)。
另一方面，負(fù)荷附加銷224A、224B、224C的后端部分，與杠桿230A、230B、230C的一端接合。杠桿230A、230B、230C的另一端，通過銷234連結(jié)在用于使杠桿230A、230B、230C搖動(dòng)的θ方向用架232A、232B、232C的下端并可以搖動(dòng)。
以下，參照圖19至圖21說明X方向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)306的具體構(gòu)造。圖19至圖21展示具有代表性的用于在負(fù)荷附加銷224B上附加X方向負(fù)荷的機(jī)構(gòu)。在后面板168(參照圖15)的上側(cè)，固定主架236，在該主架236的上端部分上固定有上部架238。在該上部架238上，安裝用于在上述的負(fù)荷附加銷224A、224B、224C的各自上附加在X方向的負(fù)荷的X方向驅(qū)動(dòng)用傳動(dòng)裝置240A、240B、240C。
在X方向驅(qū)動(dòng)用傳動(dòng)裝置240B的下端，連結(jié)桿242的上端部分，在該桿242的下端部分上，通過軸244連接可以在上下移動(dòng)的轉(zhuǎn)動(dòng)板246。該轉(zhuǎn)動(dòng)板246可以以通過軸承248設(shè)置在主架236上的軸250為中心轉(zhuǎn)動(dòng)。在該轉(zhuǎn)動(dòng)板246的正面?zhèn)?在圖21中左側(cè))，固定設(shè)置直線導(dǎo)軌252，在該直線導(dǎo)軌252上，安裝上述修正用架222B使其可以在上下方向滑動(dòng)。在該修正用架222B的下端部分附近，如上所述通過軸承226安裝負(fù)荷附加用銷224B使其可以自如轉(zhuǎn)動(dòng)。
在該X方向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)306中，當(dāng)X方向驅(qū)動(dòng)用傳動(dòng)裝置240B驅(qū)動(dòng)，桿242下降(或者上升)時(shí)，軸244下降(或者上升)，由此，轉(zhuǎn)送板246如圖19所示，以軸250為中心，順時(shí)鐘轉(zhuǎn)動(dòng)(或者逆時(shí)鐘轉(zhuǎn)動(dòng))，同時(shí)修正用架222B也轉(zhuǎn)動(dòng)，其結(jié)果，負(fù)荷附加銷224B只向左方向(或者右方向)移動(dòng)規(guī)定的距離。以下，參照圖22以及圖23說明Y方向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)308的具體的構(gòu)造。圖22以及圖23展示了具有代表性的用于在負(fù)荷附加銷224B上附加Y方向的負(fù)荷的機(jī)構(gòu)。在上述的轉(zhuǎn)動(dòng)板246的上端部分上，安裝有用于通過托架256在負(fù)荷附加銷224B(224A、224C)上附加Y方向的負(fù)荷的Y方向驅(qū)動(dòng)用傳動(dòng)裝置258B(258A、258C)。在該Y方向驅(qū)動(dòng)用傳動(dòng)裝置258B的下端側(cè)，連結(jié)桿260的上端部分，在該桿260的下端部分上，通過軸262連接上述的修正用架222B使其可以轉(zhuǎn)動(dòng)。該修正用架222B，如上所述，在靠X方向驅(qū)動(dòng)用傳動(dòng)裝置240B以軸250(參照圖19以及圖21)為中心轉(zhuǎn)動(dòng)的同時(shí)，還可以靠Y方向驅(qū)動(dòng)用傳動(dòng)裝置258B在Y方向(上下方向)上移動(dòng)。其結(jié)果，負(fù)荷附加銷224B，靠修正用架222B，在X方向以及Y方向這兩個(gè)方向上附加負(fù)荷。
以下，參照圖24或者26說明θ方向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)310的具體的構(gòu)造。圖24以及圖26展示具有代表性的用于在負(fù)荷附加銷224B上附加θ方向的負(fù)荷的機(jī)構(gòu)。在上述修正用架222B的上部的正面(在圖25中左側(cè))，安裝用于通過托架264在負(fù)荷附加銷224B(224A，224C)上附加θ方向的負(fù)荷的θ方向驅(qū)動(dòng)用傳動(dòng)裝置266B(226A，226C)。
在θ方向驅(qū)動(dòng)用傳動(dòng)裝置226B的下端部分上，連結(jié)桿268的上端部分，在該桿268的下端部分上，通過軸270連接上述θ方向用架232B使其可以轉(zhuǎn)動(dòng)。另一方面，在上述的修正用架222B的正面上通過板272固定直線導(dǎo)軌274。在該直線導(dǎo)軌274上設(shè)置θ方向用滑塊276使其可以在上下方向滑動(dòng)。該θ方向用滑塊276的下端部分，與上述θ方向用架232B固定為一體。進(jìn)而，θ方向用架232B的下端部分和橫向突出部分278形成一體，在該橫向突出部分278上，通過銷234與上述杠桿230B連結(jié)可以搖動(dòng)。在該杠桿230B的另一端，如上所述，接合有負(fù)荷附加銷224B的后端部分。
在該θ方向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)310中，當(dāng)θ方向驅(qū)動(dòng)用傳動(dòng)裝置266B驅(qū)動(dòng)，桿268下降(或者上升)時(shí)，軸270下降(或者上升)，θ方向用滑塊276沿著直線導(dǎo)軌274下降(或者上升)，θ方向用架232B下降(或者上升)，由此，銷234下降(或者上升)，杠桿230B以負(fù)荷附加銷224B為中心順時(shí)針轉(zhuǎn)送。其結(jié)果，在負(fù)荷附加銷224B上作用θ方向的負(fù)荷。
接著，說明實(shí)施方案2的另一構(gòu)成。為了把由被排列在作為被研磨物的棒70的一方的長方向側(cè)面70a上的磁性薄膜構(gòu)成的磁頭的各轉(zhuǎn)換部分的喉部高度分別設(shè)定為適宜值，一邊在規(guī)定的周期測定例如與位于棒70的左右端的變換部分以及位于中央部分的變換部分的喉部高度對應(yīng)的電阻一邊執(zhí)行研磨加工。因此，在與夾具50的后面板的長方形板狀部分190相對的面上形成與變換部分電氣連接的電極，該電極與被植入長方形板狀部分190中的測定用銷280(參照圖14)連接。測定用銷280與未圖示的電阻測定單元連接。
進(jìn)而如圖11所示，為了檢測被安裝在后面板168的長方形板狀部分190上的夾具50的左右端部位置，把接觸型傳感器282固定在后面板168的左側(cè)邊緣部分以及右側(cè)邊緣部分上。在此，接觸型傳感器282的安裝位置，與夾具50的左右端的位置實(shí)際對應(yīng)。該接觸型傳感器282的接觸端子的284的前端，與被形成在研磨磁頭120的垂直支撐板124上的凸起部分的上面接觸。接觸型傳感器282產(chǎn)生與接觸端子284的突出量成比例的靜電容量變化，但也可以使用其它檢測原理的傳感器。進(jìn)而，設(shè)置成用2個(gè)接觸型傳感器282分別間接檢測夾具50的左右端部位置，是為了檢測研磨量以及左右的平衡。
以下，說明采用上述實(shí)施方案2的磁頭裝置的研磨方法。
首先，在研磨磁頭120從旋轉(zhuǎn)研磨用臺102被拆下的位置上，把保持排列多個(gè)薄膜磁頭組成的被研磨物的夾具安裝在后面板168的長方形板狀部分190上，把后面板168相對研磨磁頭120的傾斜角度初始被設(shè)定為零度(與調(diào)節(jié)環(huán)126的底面垂直的姿態(tài)，即與旋轉(zhuǎn)研磨用臺的研磨面垂直的姿態(tài))。
在該后面板168的傾斜設(shè)定以及夾具50的安裝結(jié)束后，使安裝有研磨磁頭120的研磨磁頭安裝用框架112沿著導(dǎo)軌108直線移動(dòng)，位于被驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)研磨用臺102的上方，進(jìn)而使研磨磁頭安裝用框架112下降，使得調(diào)節(jié)環(huán)126與旋轉(zhuǎn)研磨用臺102上面的研磨面102a對接并通過施加適宜的壓力接觸。通過調(diào)節(jié)環(huán)126在旋轉(zhuǎn)研磨用臺102的研磨面上以適宜的壓力對接，就可以控制調(diào)節(jié)環(huán)126上的研磨磁頭120的姿態(tài)為以該研磨面為基準(zhǔn)的姿態(tài)。其結(jié)果，被設(shè)定為與調(diào)節(jié)環(huán)126的底面垂直的傾斜動(dòng)作部分146、后面板168的長方形板狀部分190，以及被安裝在其上的夾具50，相對研磨面形成垂直面。
以下，在成為后面板一方的長方形板狀部分190的軸支撐點(diǎn)的支點(diǎn)軸166的兩側(cè)，分別用平衡用電磁式傳動(dòng)裝置170A、170B施加壓力，使得這些傳動(dòng)裝置170A、170B的可移動(dòng)部分的移動(dòng)方向和壓力的作用方向平行。平衡用電磁式傳動(dòng)裝置170A、170B作用是，在調(diào)整被研磨物的左右的壓力使被研磨物的左右研磨量均勻的同時(shí)，把被研磨物向研磨面102a方向送出。
在這種狀態(tài)下，驅(qū)動(dòng)X方向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)306的X方向驅(qū)動(dòng)用傳動(dòng)裝置240A、240C，使桿242以及軸244下降(或者上升)，由此，使轉(zhuǎn)動(dòng)板226如圖19所示，以軸250為中心順時(shí)針(或者反時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng))轉(zhuǎn)動(dòng)，同時(shí)還使修正用架222A、222C轉(zhuǎn)動(dòng)，其結(jié)果，使負(fù)荷附加銷224A、224C向左方向只移動(dòng)規(guī)定的距離。由此，可以對夾具50的負(fù)荷附加部分54A、54C附加X方向(水平方向)的負(fù)荷。
進(jìn)而，驅(qū)動(dòng)Y方向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)308的Y方向驅(qū)動(dòng)用傳動(dòng)裝置258A、258B、258C，使桿260以及軸262下降(或者上升)，由此，修正用架222A、222B、222C在Y方向(垂直方向)移動(dòng)，其結(jié)果，使負(fù)荷附加銷224A、224C，向上方(或者下方)只移動(dòng)規(guī)定的距離。由此，可以對夾具50的負(fù)荷附加部分54A、54B、54C附加Y方向(垂直方向)的負(fù)荷。
進(jìn)而，驅(qū)動(dòng)θ方向驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)310的θ方向驅(qū)動(dòng)用傳動(dòng)裝置266A、266C，使桿268以及軸270下降(或者上升)，使θ方向用滑塊276順著直線導(dǎo)軌274下降(或者上升)，使θ方向用架232A、232C下降(或者上升)，由此，使銷234下降(或者上升)，杠桿230A、230C使負(fù)荷附加銷224A、224C順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)。其結(jié)果，可以在負(fù)荷附加部分54A、54C上作用θ方向的負(fù)荷。
這樣，通過對夾具50的負(fù)荷附加部分54A、54B、54C附加各種不同方向的負(fù)荷，保持部分52、棒固定部分58以及棒70變形。由此，執(zhí)行第1研磨工序，以實(shí)現(xiàn)以棒70內(nèi)的磁頭的變換部分(被形成在棒70的長方向面70a上)喉部高度值為目標(biāo)的值。
在該第1研磨工序中，因?yàn)槿绻驼{(diào)節(jié)環(huán)126一樣的位置與旋轉(zhuǎn)研磨用臺102接觸則引起磨偏，所以在使用掩膜磁頭搖動(dòng)用電機(jī)132在規(guī)定角度范圍使安裝有研磨磁頭120以及調(diào)節(jié)環(huán)126的旋轉(zhuǎn)支撐部分116往復(fù)旋轉(zhuǎn)的同時(shí)，在規(guī)定范圍使研磨磁頭安裝用框架112往復(fù)直線運(yùn)動(dòng)。因而，在第1研磨工序中，研磨磁頭120以及調(diào)節(jié)環(huán)126進(jìn)行往復(fù)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)和往復(fù)直線運(yùn)動(dòng)重疊的運(yùn)動(dòng)。
另外，在作為被研磨物的方棒形狀棒70一方的長方向一側(cè)70a上，排列有構(gòu)成磁性薄膜的磁頭的各變換部分，而各變換部分的喉部高度，可以通過測定各變換部分的電阻檢測出，通過一邊周期性監(jiān)視各變換部分的電阻一邊實(shí)施第1研磨工序，就可以使各個(gè)薄膜磁頭的喉部高度均勻化并且設(shè)定為最佳值。
在用于使各個(gè)薄膜磁頭的喉部高度均勻化并且設(shè)定為最佳值的第1研磨工序結(jié)束后，如圖27所示，執(zhí)行把被研磨物的方棒形狀棒70的底面70b相對水平面做成最大3度左右的傾斜面的第2研磨工序(研磨除去斜線部分Q的錐度加工工序)。即，使傾斜動(dòng)作用電機(jī)152動(dòng)作，使傾斜動(dòng)作部分146以及后面板168從相對旋轉(zhuǎn)研磨用臺102的研磨面102a成垂直面的狀態(tài)傾斜成最大3度的規(guī)定角度，隨之，使后面板168的長方形板狀部分190，以及被安裝在其上的夾具50從相對研磨面的垂直面傾斜規(guī)定角度，在以該狀態(tài)旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)研磨用臺102上研磨成為棒70的滑塊的底面部分。而后，在由左右接觸型傳感器282進(jìn)行后面板168的左右邊緣部分的位置檢測(夾具50的左右端部的間接的位置檢測)的研磨量檢測結(jié)果分別達(dá)到期望值時(shí)結(jié)束研磨。進(jìn)而，即使在第2研磨工序中也和第1研磨工序一樣，只要研磨磁頭120以及調(diào)節(jié)環(huán)126進(jìn)行往復(fù)轉(zhuǎn)動(dòng)和往復(fù)直線運(yùn)動(dòng)重疊的運(yùn)動(dòng)即可，如果采用本發(fā)明的實(shí)施方案2，則可以得到以下優(yōu)異的效果。
首先，和實(shí)施方案1一樣，如果采用本發(fā)明的實(shí)施方案2的磁頭的研磨裝置100，在研磨前，因?yàn)椋词乖诎?0中的各磁頭的喉部高度的值分布，是如近似高次曲線的復(fù)雜圖案，也可以使夾具50的保持部分52變形與該圖案忠實(shí)對應(yīng)，所以，可以在棒70的全長范圍上使各磁頭的喉部高度高精度地進(jìn)入容許范圍內(nèi)。
另外，當(dāng)把夾具50安裝在研磨磁頭120上，在被驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)研磨用臺102的研磨面102a上，一邊使研磨磁頭120移動(dòng)一邊使被研磨物接觸研磨的情況下，用與旋轉(zhuǎn)研磨用臺102的研磨面102a對接的調(diào)節(jié)環(huán)126控制研磨磁頭120的姿態(tài)。即，通?？梢砸孕D(zhuǎn)研磨用臺102的研磨面102a為基準(zhǔn)，控制研磨磁頭120以及被安裝在其上的傾斜移動(dòng)部分146、后面板168的姿態(tài)，可以在被研磨物上加自重以外的壓力研磨。
另外，在研磨磁頭120與旋轉(zhuǎn)研磨用臺102的研磨面102a平行的面內(nèi)，可以進(jìn)行往復(fù)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)和往復(fù)直線運(yùn)動(dòng)重疊的運(yùn)動(dòng)，即使在此時(shí)刻也可以謀求被研磨物的底面的平面度的提高。
另外，在后面板168的長方形板狀部分190上在中央部分的1點(diǎn)上安裝棒70，即使在棒70上有形狀方向的扭轉(zhuǎn)的情況下，也可以在不矯正此扭轉(zhuǎn)的狀態(tài)下實(shí)施研磨加工，沒有扭轉(zhuǎn)引起的不良的發(fā)生。
如上所述，如果采用本發(fā)明的磁頭的研磨裝置以及研磨方法，則可以非常高精度地修正被研磨物的歪斜以及彎曲。另外，可以根據(jù)被研磨物的歪斜以及彎曲的分布圖案高精度地修正。
權(quán)利要求
1.一種磁頭研磨裝置，在研磨用夾具保持排列多個(gè)磁頭的被研磨物的磁頭研磨裝置中，其特征在于，包括具有被驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)的研磨面的旋轉(zhuǎn)研磨用臺；被配置成相對該旋轉(zhuǎn)研磨用臺的研磨面可以移動(dòng)的研磨裝置主體部分，該研磨裝置主體具備，保持被設(shè)置在該研磨裝置主體的下方的上述夾具的夾具保持部分；在沿著上述夾具的長方向設(shè)置的多個(gè)負(fù)荷附加部分上分別附加規(guī)定的負(fù)荷的負(fù)荷附加單元，上述負(fù)荷附加單元，為了使上述夾具變形為規(guī)定形狀，在上述負(fù)荷附加部分內(nèi)的至少一處上從多個(gè)不同方向附加負(fù)荷。
2.權(quán)利要求1所述的磁頭的研磨裝置，其特征在于上述負(fù)荷附加單元，具有在上述夾具的至少一處的負(fù)荷附加部分上附加垂直方向的負(fù)荷的垂直方向負(fù)荷附加單元。
3.權(quán)利要求1所述的磁頭的研磨裝置，其特征在于，上述負(fù)荷附加單元，具有在上述夾具的至少一處的負(fù)荷附加部分上附加水平方向的負(fù)荷的水平方向負(fù)荷附加單元。
4.權(quán)利要求1所述的磁頭的研磨裝置，其特征在于，上述負(fù)荷附加單元，具有在上述夾具的至少一處的負(fù)荷附加部分上附加旋轉(zhuǎn)方向的負(fù)荷的旋轉(zhuǎn)方向負(fù)荷附加單元。
5.權(quán)利要求1所述的磁頭的研磨裝置，其特征在于，上述夾具保持單元，把上述夾具保持在其長方向的大致中央。
6.權(quán)利要求1所述的磁頭的研磨裝置，其特征在于，上述研磨裝置主體部分，具有以與上述研磨面平行的傾斜動(dòng)作軸為中心保持研磨裝置主體部分可以傾斜動(dòng)作的傾斜動(dòng)作單元。
7.權(quán)利要求1所述的磁頭的研磨裝置，其特征在于，進(jìn)一步具有保持上述研磨裝置主體部分可以搖動(dòng)的搖動(dòng)單元。
8.一種磁頭研磨方法，在研磨排列多個(gè)磁頭的被研磨物的磁頭研磨方法中，其特征在于，具備準(zhǔn)備保持被研磨物的夾具；具有被驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)的研磨面的旋轉(zhuǎn)研磨面用臺；具有被配置成相對該旋轉(zhuǎn)研磨用臺的研磨面可以移動(dòng)的同時(shí)在其下方保持上述夾具的夾具保持部分的研磨裝置主體部分的工序；在上述夾具保持部分上安裝沿著其長方向具備多個(gè)負(fù)荷附加部分的夾具的工序；為了使上述夾具變形為規(guī)定形狀一邊在上述負(fù)荷附加部分內(nèi)的至少一處上從多個(gè)不同方向附加負(fù)荷，一邊研磨上述被研磨物的多個(gè)磁頭的工序。
9.權(quán)利要求8所述的磁頭研磨方法，上述研磨工序，具有在上述夾具的至少一個(gè)負(fù)荷附加部分上附加垂直方向的負(fù)荷的垂直方向負(fù)荷附加工序。
10.權(quán)利要求8所述的磁頭研磨方法，上述研磨工序，具有在上述夾具的至少一個(gè)負(fù)荷附加部分上附加水平方向的負(fù)荷的水平方向負(fù)荷附加工序。
11.權(quán)利要求8所述的磁頭研磨方法，上述研磨工序，具有在上述夾具的至少一個(gè)負(fù)荷附加部分上附加旋轉(zhuǎn)方向的負(fù)荷的旋轉(zhuǎn)方向負(fù)荷附加工序。
12.權(quán)利要求8所述的磁頭研磨方法，上述夾具保持單元，把上述夾具保持在其長方向的大致中央。
13.權(quán)利要求8所述的磁頭研磨方法，進(jìn)一步以與上述研磨面平行的傾斜動(dòng)作軸為中心把研磨裝置主體部分保持可以傾斜動(dòng)作。
14.權(quán)利要求8所述的磁頭研磨方法，進(jìn)一步把上述研磨裝置主體部分保持為可以搖動(dòng)。
全文摘要
本發(fā)明是研磨用夾具(50)保持排列多個(gè)磁頭的被研磨物(70)的磁頭研磨裝置。本發(fā)明的磁頭研磨裝置具備,具有被驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)的研磨面的旋轉(zhuǎn)研磨用臺(11);被配置成相對該旋轉(zhuǎn)研磨用臺的研磨面可以移動(dòng)的研磨裝置主體部分,該研磨裝置主體部分具備,被設(shè)置在該研磨裝置主體的下方保持夾具的夾具保持部分(23);在沿著夾具(50)的長方向設(shè)置的多個(gè)負(fù)荷附加部分上分別附加規(guī)定的負(fù)荷的負(fù)荷附加單元,負(fù)荷附加單元,為了使夾具變形為規(guī)定形狀,在負(fù)荷附加部分內(nèi)的至少一處從多個(gè)不同方向附加負(fù)荷。
文檔編號B24B37/30GK1358125SQ01800043
公開日2002年7月10日 申請日期2001年1月9日 優(yōu)先權(quán)日2000年1月7日
發(fā)明者進(jìn)藤宏史, 小川昭雄 申請人:Tdk股份有限公司