[0154]其中，在內(nèi)側(cè)部分412與外側(cè)部分413之間形成有環(huán)狀槽411，該環(huán)狀槽411通過連通槽414與密封槽421連通。因此，在外側(cè)部分413，被保持為與通過連通孔431供給的來自供給路徑43的潤滑油的壓力相同的壓力。
[0155]通過這樣的設(shè)定，在潤滑油從靜壓室41的外側(cè)部分413朝內(nèi)側(cè)部分412流動時，內(nèi)側(cè)部分412作為凸臺部或者壓力保持部起作用。
[0156]S卩，在內(nèi)側(cè)部分412的外側(cè)(面向環(huán)狀槽411的區(qū)域)，為與外側(cè)部分413相同的壓力，但隨著朝向內(nèi)側(cè)流動而壓力逐漸降低，當(dāng)?shù)竭_(dá)回收路徑44的連通孔441時成為大氣壓程度。
[0157]如此，通過內(nèi)側(cè)部分412作為凸臺部或者壓力保持部起作用，由此能夠在凹槽部或者靜壓室主體即外側(cè)部分413確保載荷支承用的靜壓。
[0158]并且，在外周側(cè)且在靜壓室41中主要在面積較大的外側(cè)部分413進(jìn)行基于靜壓室41內(nèi)的潤滑油的靜壓支承，能夠擴(kuò)大受壓區(qū)域面積，并且能夠進(jìn)行基于剛流入的高壓的潤滑油的有效的靜壓支承。
[0159][滑動引導(dǎo)機(jī)構(gòu)50]
[0160]在圖4中，滑動引導(dǎo)機(jī)構(gòu)50具有平滑的滑動面51。在滑動面51上形成有縱橫連續(xù)的供油槽52。
[0161]如在圖6也表示的那樣，供油槽52與供油路徑53連通，在供油路徑53上連接有上述潤滑油供給裝置60的供給配管66。
[0162]在滑動引導(dǎo)機(jī)構(gòu)50中，通過使滑動面51與引導(dǎo)面39接觸，由此支承作為引導(dǎo)部件的第一以及第二軌道141、142，并且通過滑動面51與引導(dǎo)面39之間的滑動來容許相對移動。
[0163]此處，在滑動引導(dǎo)機(jī)構(gòu)50中，供給至供油路徑53的潤滑油通過供油槽52朝滑動面51的各部分?jǐn)U散，由此能夠減輕滑動面51與引導(dǎo)面39之間的滑動阻力以及磨損。
[0164]在本實施方式的滑動引導(dǎo)機(jī)構(gòu)50中，朝引導(dǎo)面39與滑動面51之間供給的潤滑油是與朝靜液壓引導(dǎo)機(jī)構(gòu)40供給的潤滑油相同的潤滑油。因此，即便有時從靜液壓引導(dǎo)機(jī)構(gòu)40產(chǎn)生潤滑油的漏出而相互混合，由于是相同的潤滑油，所以也不會產(chǎn)生問題。
[0165]此外，在滑動引導(dǎo)機(jī)構(gòu)50與靜液壓引導(dǎo)機(jī)構(gòu)40中使用相同的潤滑油，因此還能夠不使用分體的箱61、69，而共用相同的箱。
[0166][第一實施方式的效果]
[0167]根據(jù)以上所述的第一實施方式，除了在靜液壓引導(dǎo)機(jī)構(gòu)40以及滑動引導(dǎo)機(jī)構(gòu)50的說明中分別敘述的效果以外，還能夠獲得以下那樣的效果。
[0168]在本實施方式中，靜液壓引導(dǎo)機(jī)構(gòu)40是密閉式的靜液壓引導(dǎo)機(jī)構(gòu)，外周由密封部42進(jìn)行密封，并且潤滑油從供給路徑43供給，從回收路徑44回收，向箱61循環(huán)。
[0169]因而，在靜液壓引導(dǎo)機(jī)構(gòu)40中，能夠防止?jié)櫥蛷耐庵芫壋獠恳绯?，或者能夠?qū)⒁绯鲆种茷樽钚∠薅取?br>[0170]并且，即便同時設(shè)置靜液壓引導(dǎo)機(jī)構(gòu)40和滑動引導(dǎo)機(jī)構(gòu)50，也能夠消除從靜液壓引導(dǎo)機(jī)構(gòu)40溢出的潤滑油對滑動引導(dǎo)機(jī)構(gòu)50造成不良影響的可能性。
[0171]而且，能夠通過靜液壓引導(dǎo)機(jī)構(gòu)40來確保高負(fù)載容量以及低摩擦性，并且通過滑動引導(dǎo)機(jī)構(gòu)50來確保引導(dǎo)精度以及衰減性能。結(jié)果，能夠提供高負(fù)載容量、低摩擦、且引導(dǎo)精度高、衰減性能高的機(jī)床的引導(dǎo)機(jī)構(gòu)30。
[0172]在本實施方式中，在上述相互相對移動的兩個部件中的一方即移動部件31中，集中了靜液壓引導(dǎo)機(jī)構(gòu)40以及滑動引導(dǎo)機(jī)構(gòu)50的主要構(gòu)造(靜壓室41、供油槽52等)，在兩個部件中的另一方即第一以及第二軌道141、142上僅形成有引導(dǎo)面39。
[0173]S卩，靜液壓引導(dǎo)機(jī)構(gòu)40以及滑動引導(dǎo)機(jī)構(gòu)50共用引導(dǎo)部件即第一以及第二軌道141、142的引導(dǎo)面39，因此與對各機(jī)構(gòu)分別準(zhǔn)備引導(dǎo)面的構(gòu)造相比能夠?qū)崿F(xiàn)簡化，作為引導(dǎo)機(jī)構(gòu)30整體能夠?qū)崿F(xiàn)小型化。
[0174]此外，能夠使靜液壓引導(dǎo)機(jī)構(gòu)40以及滑動引導(dǎo)機(jī)構(gòu)50的主要構(gòu)造(靜壓室41、供油槽52等)集中于移動部件31，在這一點上也能夠?qū)崿F(xiàn)構(gòu)造的簡化。并且，將靜液壓引導(dǎo)機(jī)構(gòu)40以及滑動引導(dǎo)機(jī)構(gòu)50并列設(shè)置于與引導(dǎo)面39對置的移動部件31的表面上，因此還能夠可靠地實現(xiàn)各機(jī)構(gòu)的負(fù)載分擔(dān)。
[0175][第二實施方式]
[0176]圖7以及圖8表示基于本發(fā)明的第二實施方式。
[0177]在本實施方式中，在與上述第一實施方式相同的機(jī)床10中設(shè)置了基于本發(fā)明的引導(dǎo)機(jī)構(gòu)30。
[0178]在本實施方式中，機(jī)床10、引導(dǎo)機(jī)構(gòu)30、靜液壓引導(dǎo)機(jī)構(gòu)40以及滑動引導(dǎo)機(jī)構(gòu)50的基本構(gòu)成是共通的，省略重復(fù)的說明，并且在以下對不同的構(gòu)成進(jìn)行說明。
[0179]在上述第一實施方式中，靜液壓引導(dǎo)機(jī)構(gòu)40的靜壓室41具有環(huán)狀槽411、內(nèi)側(cè)部分412、外側(cè)部分413、以及連通槽414。而且，內(nèi)側(cè)部分412以及外側(cè)部分413為相同深度，環(huán)狀槽411以及連通槽414與密封槽421連通，由此內(nèi)側(cè)部分412作為壓力保持部(凸臺部)起作用，外側(cè)部分413作為靜壓室主體(凹槽部)起作用。
[0180]在本實施方式中，省略了環(huán)狀槽411以及連通槽414，將外側(cè)部分413的深度形成得比內(nèi)側(cè)部分412更深，由此實際上將內(nèi)側(cè)部分412作為凸臺(壓力保持部)，且將外側(cè)部分413作為凹槽部(靜壓室主體)。
[0181]另外，在本實施方式中，內(nèi)側(cè)部分412的深度為與上述第一實施方式相同的幾十微米的程度，外側(cè)部分413的深度比內(nèi)側(cè)部分412的深度更深。
[0182]在上述第一實施方式中，作為潤滑油供給裝置60，設(shè)置有朝靜液壓引導(dǎo)機(jī)構(gòu)40供給潤滑油的路徑以及回收所排出的潤滑油的路徑，并且，與這些路徑分開地設(shè)置有朝滑動引導(dǎo)機(jī)構(gòu)50供給潤滑油的路徑。
[0183]與此相對，在本實施方式中，箱61被共用，朝靜液壓引導(dǎo)機(jī)構(gòu)40的供給配管63和朝滑動引導(dǎo)機(jī)構(gòu)50的供給配管66與相同的箱61連接。
[0184]根據(jù)這樣的本實施方式，機(jī)床10、引導(dǎo)機(jī)構(gòu)30、靜液壓引導(dǎo)機(jī)構(gòu)40以及滑動引導(dǎo)機(jī)構(gòu)50的基本構(gòu)成，與上述第一實施方式共通，因此同樣能夠獲得這些所帶來的效果。
[0185]并且，在本實施方式中，省略了環(huán)狀槽411以及連通槽414，但通過內(nèi)側(cè)部分412以及外側(cè)部分413的深度設(shè)定，能夠與上述第一實施方式同樣地進(jìn)行靜壓載荷支承，能夠獲得作為靜液壓引導(dǎo)機(jī)構(gòu)40的功能。
[0186]并且，在潤滑油供給裝置60中，朝靜液壓引導(dǎo)機(jī)構(gòu)40的潤滑油供給以及朝滑動引導(dǎo)機(jī)構(gòu)50的潤滑油供給使用相同的箱61，由此能夠簡化裝置構(gòu)成。在這種情況下，由于在靜液壓引導(dǎo)機(jī)構(gòu)40以及滑動引導(dǎo)機(jī)構(gòu)50中使用的潤滑油相同，因此在功能上不會產(chǎn)生不良情況。
[0187][第三實施方式]
[0188]圖9以及圖10表示基于本發(fā)明的第三實施方式。
[0189]在上述第一實施方式以及第二實施方式中，與移動部件31兩端的表面連續(xù)地設(shè)置滑動面51以及平滑面49，將靜液壓引導(dǎo)機(jī)構(gòu)40以及滑動引導(dǎo)機(jī)構(gòu)50鄰接設(shè)置。
[0190]與此相對，在本實施方式中，靜液壓引導(dǎo)機(jī)構(gòu)40以及滑動引導(dǎo)機(jī)構(gòu)50形成于分體的部件。
[0191]如圖9以及圖10所示，在本實施方式中，在移動部件31上形成滑動引導(dǎo)機(jī)構(gòu)50，但未形成靜液壓引導(dǎo)機(jī)構(gòu)40。
[0192]另一方面，在移動部件31的兩端設(shè)置塊狀的輔助移動部件48，在該輔助移動部件48上形成靜液壓引導(dǎo)機(jī)構(gòu)40。
[0193]輔助移動部件48設(shè)置于設(shè)置有移動部件31的主軸箱15 (參照圖2)的外面，并牢固地支承于主軸箱15的框架。
[0194]輔助移動部件48的平滑面49配置于與移動部件31的滑動面51相同的面上。
[0195]在輔助移動部件48的平滑面49上形成靜壓室41、密封部42，在輔助移動部件48的內(nèi)部形成供給路徑43以及回收路徑44。
[0196]通過這些靜壓室41、密封部42、供給路徑43以及回收路徑44來形成與第一實施方式或者第二實施方式相同的靜液壓引導(dǎo)機(jī)構(gòu)40。
[0197]根據(jù)這樣的本實施方式，形成于移動部件31的滑動引導(dǎo)機(jī)構(gòu)50與形成于輔助移動部件48的靜液壓引導(dǎo)機(jī)構(gòu)40鄰接配置，這些靜液壓引導(dǎo)機(jī)構(gòu)40以及滑動引導(dǎo)機(jī)構(gòu)50均被相對于作為引導(dǎo)部件的第一以及第二軌道141、142的引導(dǎo)面39引導(dǎo)，由此能夠獲得與上述第一實施方式以及第二實施方式相同的效果。
[0198]并且，在本實施方式中，靜液壓引導(dǎo)機(jī)構(gòu)40形成于與移動部件31分體的輔助移動部件48。因此，通過對僅滑動引導(dǎo)機(jī)構(gòu)50形成于移動部件31的既存的機(jī)床追加設(shè)置具有靜液壓引導(dǎo)機(jī)構(gòu)40的輔助移動部件48 (所謂的改裝)，能夠容易地實施本發(fā)明。而且，能夠應(yīng)用既存的機(jī)床。
[0199][第四實施方式]
[0200]圖11以及圖12表示基于本發(fā)明的第四實施方式。
[0201]在圖11中，本實施方式的機(jī)床1S與第一實施方式的機(jī)床10 (參照圖1)相同，在主軸箱15的上部具有第一槽部151S，第一槽部151S與橫梁14的第一軌道141S卡合。此夕卜，在主軸箱15的下部具有第二槽部152，第二槽部152與橫梁14的第二軌道142卡合。
[0202]在圖12中，在第二槽部152與第二軌道142之間設(shè)置有載荷支承用的引導(dǎo)機(jī)構(gòu)30T(引導(dǎo)機(jī)構(gòu) 30CT、30DT、30ET、30FT)。
[0203]載荷支承用的引導(dǎo)機(jī)構(gòu)301'(引導(dǎo)機(jī)構(gòu)30(:1\3001\3(^1\3(^1')成為與上述第一實施方式的引導(dǎo)機(jī)構(gòu)30 (引導(dǎo)機(jī)構(gòu)30C、30D、30E、30F)相同的配置。
[0204]但是，在第一實施方式的引導(dǎo)機(jī)構(gòu)30中，引導(dǎo)機(jī)構(gòu)30C、30D、30E、30F在各自的移動部件31C、31D、31E、31F上分別具備靜液壓引導(dǎo)機(jī)構(gòu)40以及滑動引導(dǎo)機(jī)構(gòu)50。
[0205]與此相對，在本實施方式的引導(dǎo)機(jī)構(gòu)30T中，引導(dǎo)機(jī)構(gòu)30CT、30DT、30ET、30FT在各自的移動部件31CT、31DT、31ET、31FT上僅具備滑動引導(dǎo)機(jī)構(gòu)50。
[0206]S卩，在本實施方式中，在載荷支承用的引導(dǎo)機(jī)構(gòu)30T不使用靜液壓引導(dǎo)機(jī)構(gòu)40。
[0207]作為這樣的僅具備滑動引導(dǎo)機(jī)構(gòu)50的