本技術(shù)涉及法蘭，尤其涉及一種對(duì)接法蘭及機(jī)臺(tái)。

背景技術(shù)：

1、目前半導(dǎo)體制造機(jī)臺(tái)中，對(duì)于接觸特氣的零件要求非常高，表面要求無(wú)氣孔、凹陷。部分零件除了與特氣接觸還需要帶冷卻效果，冷卻盤(pán)的制作中需要用到焊接、焊接會(huì)導(dǎo)致焊接面出現(xiàn)不可避免的微小氣孔。在與特氣接觸的零件中，接觸面需要非常高的表面質(zhì)量要求，特氣中有部分氣體帶有腐蝕性，如果接觸面上有缺陷，微孔、凹陷等，會(huì)使特氣殘留在產(chǎn)品表面，從而腐蝕產(chǎn)品，一方面造成金屬離子的剝落，污染機(jī)臺(tái)，另一方面嚴(yán)重影響產(chǎn)品的使用壽命。

2、因此，需要設(shè)計(jì)一種對(duì)接法蘭，以保證焊接位置不接觸特氣面，進(jìn)而保證接觸面無(wú)缺陷。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的在于提出一種對(duì)接法蘭及機(jī)臺(tái)，以保證焊接位置不接觸特氣面，進(jìn)而保證接觸面無(wú)缺陷。

2、為達(dá)此目的，本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案：

3、對(duì)接法蘭，包括：

4、法蘭蓋板，所述法蘭蓋板的一面設(shè)置有連接件，另一面設(shè)置有特氣接觸層，所述特氣接觸層用于與特氣接觸；

5、法蘭底板，所述法蘭底板上設(shè)置有連接孔，所述連接孔用于與所述連接件相連接，所述法蘭底板上還設(shè)置有第一焊接坡口；

6、所述法蘭蓋板通過(guò)所述第一焊接坡口與所述法蘭底板焊接在一起。

7、該對(duì)接法蘭通過(guò)連接件與連接孔將法蘭底板和法蘭蓋板相連接，并配合第一焊接坡口實(shí)現(xiàn)法蘭底板和法蘭蓋板的固定，同時(shí)，將第一焊接坡口設(shè)置于法蘭底板上、特氣接觸面設(shè)置于法蘭蓋板上，使得焊接位置不會(huì)與特氣接觸面接觸，從而保證特氣接觸面無(wú)缺陷。

8、作為上述對(duì)接法蘭的一種優(yōu)選方案，所述第一焊接坡口設(shè)置于所述法蘭底板的側(cè)面。

9、將第一焊接坡口設(shè)置于法蘭底板的側(cè)面，便于工作人員進(jìn)行焊接。

10、作為上述對(duì)接法蘭的一種優(yōu)選方案，所述第一焊接坡口的斜面角度為60°。

11、將第一焊接坡口的角度設(shè)置為60°，保證了焊槍的焊接效果。

12、作為上述對(duì)接法蘭的一種優(yōu)選方案，法蘭底板還包括第二焊接坡口，所述第二焊接坡口設(shè)置于所述連接孔的底部。

13、通過(guò)在連接孔的底部設(shè)置第二焊接坡口，以保證法蘭蓋板和法蘭底板的連接強(qiáng)度。

14、作為上述對(duì)接法蘭的一種優(yōu)選方案，所述第二焊接坡口的斜面角度為60°。

15、將第二焊接坡口的角度也設(shè)置為60°，進(jìn)一步保證了焊槍的焊接效果。

16、作為上述對(duì)接法蘭的一種優(yōu)選方案，所述對(duì)接法蘭還包括至少兩組安裝單元，各組所述安裝單元沿所述法蘭底板的軸線間隔設(shè)置。

17、將每組安裝單元間隔設(shè)置于法蘭底板的軸線，在對(duì)法蘭底板和法蘭蓋板實(shí)現(xiàn)安裝的同時(shí)，還能提高對(duì)接法蘭整體的強(qiáng)度。

18、作為上述對(duì)接法蘭的一種優(yōu)選方案，所述安裝單元包括：

19、安裝孔，設(shè)置于所述法蘭底板上；

20、安裝件，設(shè)置于所述法蘭蓋板上，用于與所述安裝孔插接配合。

21、上述安裝件和安裝孔的結(jié)構(gòu)使得安裝和對(duì)位更加便捷，當(dāng)需要進(jìn)行安裝時(shí)，將設(shè)置于軸線兩側(cè)的安裝孔和安裝件進(jìn)行對(duì)位，之后，再進(jìn)行插接配合，從而保證安裝效果。

22、作為上述對(duì)接法蘭的一種優(yōu)選方案，所述安裝孔上設(shè)置有第三焊接坡口，第三焊接口的斜面角度為60°

23、將第三焊接坡口的角度也設(shè)置為60°，進(jìn)一步保證了焊槍的焊接效果。

24、機(jī)臺(tái)，包括上述的對(duì)接法蘭。

25、該機(jī)臺(tái)將第一焊接坡口與特氣接觸面分開(kāi)設(shè)置，避免了因焊接導(dǎo)致的特氣接觸面出現(xiàn)不可避免的微小氣孔，從而避免特氣接觸面在加工后因氣孔缺陷而產(chǎn)生修補(bǔ)，進(jìn)而降低因修復(fù)氣孔而產(chǎn)生的人力、物力及時(shí)間等成本，除此之外，上述結(jié)構(gòu)能夠提高機(jī)臺(tái)的清潔度和零部件的使用壽命。

26、本實(shí)用新型的有益效果：

27、本實(shí)用新型提出的對(duì)接法蘭，該對(duì)接法蘭通過(guò)連接件與連接孔將法蘭底板和法蘭蓋板相連接，并配合第一焊接坡口實(shí)現(xiàn)法蘭底板和法蘭蓋板的固定，同時(shí)，將第一焊接坡口設(shè)置于法蘭底板上、特氣接觸面設(shè)置于法蘭蓋板上，使得焊接位置不會(huì)與特氣接觸面接觸，從而保證特氣接觸面無(wú)缺陷。

28、本實(shí)用新型提出的機(jī)臺(tái)，該機(jī)臺(tái)將第一焊接坡口與特氣接觸面分開(kāi)設(shè)置，避免了因焊接導(dǎo)致的特氣接觸面出現(xiàn)不可避免的微小氣孔，從而避免特氣接觸面在加工后因氣孔缺陷而產(chǎn)生修補(bǔ)，進(jìn)而降低因修復(fù)氣孔而產(chǎn)生的人力、物力及時(shí)間等成本，除此之外，上述結(jié)構(gòu)能夠提高機(jī)臺(tái)的清潔度和零部件的使用壽命。

技術(shù)特征：

1.對(duì)接法蘭，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的對(duì)接法蘭，其特征在于，所述第一焊接坡口(22)設(shè)置于所述法蘭底板(2)的側(cè)面。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的對(duì)接法蘭，其特征在于，所述第一焊接坡口(22)的斜面角度為60°。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的對(duì)接法蘭，其特征在于，法蘭底板(2)還包括第二焊接坡口(23)，所述第二焊接坡口(23)設(shè)置于所述連接孔(21)的底部。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的對(duì)接法蘭，其特征在于，所述第二焊接坡口(23)的斜面角度為60°。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項(xiàng)所述的對(duì)接法蘭，其特征在于，所述對(duì)接法蘭還包括至少兩組安裝單元，各組所述安裝單元沿所述法蘭底板(2)的軸線間隔設(shè)置。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的對(duì)接法蘭，其特征在于，所述安裝單元包括：

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的對(duì)接法蘭，其特征在于，所述安裝孔(31)上設(shè)置有第三焊接坡口(311)，第三焊接口的斜面角度為60°。

9.機(jī)臺(tái)，其特征在于，包括如權(quán)利要求1-8任一項(xiàng)所述的對(duì)接法蘭。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及法蘭技術(shù)領(lǐng)域，公開(kāi)了一種對(duì)接法蘭及機(jī)臺(tái)。該對(duì)接法蘭包括法蘭蓋板和法蘭底板，其中，法蘭蓋板的一面設(shè)置有連接件，另一面設(shè)置有特氣接觸層，特氣接觸層用于與特氣接觸；法蘭底板上設(shè)置有連接孔，連接孔用于與連接件相連接，法蘭底板上還設(shè)置有第一焊接坡口；法蘭蓋板通過(guò)第一焊接坡口與法蘭底板焊接在一起。該對(duì)接法蘭通過(guò)連接件與連接孔將法蘭底板和法蘭蓋板相連接，并配合第一焊接坡口實(shí)現(xiàn)法蘭底板和法蘭蓋板的固定，同時(shí)，將第一焊接坡口設(shè)置于法蘭底板上、特氣接觸面設(shè)置于法蘭蓋板上，使得焊接位置不會(huì)與特氣接觸面接觸，從而保證特氣接觸面無(wú)缺陷。

技術(shù)研發(fā)人員：姚力軍,潘杰,鮑偉江,王垚
受保護(hù)的技術(shù)使用者：麗水睿昇半導(dǎo)體科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240222
技術(shù)公布日：2024/12/26