本發(fā)明涉及釬焊設(shè)備，尤其是涉及一種釬焊設(shè)備及用于半導(dǎo)體加熱盤加工的焊接工藝。

背景技術(shù)：

1、半導(dǎo)體加熱盤又稱半導(dǎo)體晶圓加熱盤，是一種專門用于半導(dǎo)體制造工藝中，對硅晶圓進(jìn)行熱處理的設(shè)備，其通常由高溫耐腐蝕材料制成，例如高純鋁、高硅金屬和陶瓷石英玻璃等，以保證對晶圓熱處理過程中的純凈性和可靠性，其通常采用電熱絲或加熱芯作為加熱元件，并通過加熱盤底部進(jìn)行熱量傳遞，在半導(dǎo)體加熱盤加工制造的過程中，需要對各組成部件進(jìn)行焊接。

2、公開號(hào)為cn118417661a的中國專利申請，提出了一種鋁制晶圓加熱盤的焊接方法，先準(zhǔn)備用于容納鋁制晶圓加熱盤的定制包套，所述定制包套包括t型包套筒、第一蓋板與第二蓋板，所述第一蓋板與所述第二蓋板分別與所述t型包套筒的小開口與大開口相對應(yīng)；然后將裝配好的鋁制晶圓加熱盤封入定制包套內(nèi)，對焊接后定制包套整體依次進(jìn)行脫氣、熱等靜壓焊接、去包套，完成鋁制晶圓加熱盤的焊接。基于定制包套，采用熱等靜壓焊接實(shí)現(xiàn)了不規(guī)則結(jié)構(gòu)的鋁制晶圓加熱盤的焊接，可以保證鋁制晶圓加熱盤的上下盤體之間焊接結(jié)合率＞95％，焊接強(qiáng)度＞50mpa，保證了鋁制晶圓加熱盤的使用性能。

3、以上裝置在進(jìn)行焊接時(shí)，通過采用定制包套套設(shè)在加熱盤工件的外部的方式進(jìn)行焊接，相應(yīng)地需要額外經(jīng)歷上包套、去包套等步驟，流程比較繁瑣，其次，定制包套同樣增加了焊接成本，而針對以上申請所提出的不采用定制包套的情況下，熱等靜壓的高溫條件容易導(dǎo)致變形的情況，采用釬焊進(jìn)行焊接的方法可以很好的避免此類問題，而現(xiàn)有的釬焊一般采用人工手動(dòng)焊接，比較耗費(fèi)人力，故在此提出一種釬焊設(shè)備及用于半導(dǎo)體加熱盤加工的焊接工藝用于解決上述問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、為了解決上述提出的問題，本發(fā)明提供一種釬焊設(shè)備及用于半導(dǎo)體加熱盤加工的焊接工藝。

2、本發(fā)明提供的一種釬焊設(shè)備采用如下的技術(shù)方案：

3、一種釬焊設(shè)備，包括底板，所述底板頂部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有放置臺(tái)，所述放置臺(tái)頂部放置有加熱盤工件，所述底板頂部固定連接有主體框，所述主體框上設(shè)置有焊接機(jī)構(gòu)；

4、所述焊接機(jī)構(gòu)包括升降塊，所述升降塊滑動(dòng)連接于主體框內(nèi)部，所述升降塊一側(cè)固定連接有第一電動(dòng)推桿，所述第一電動(dòng)推桿一端固定連接有安裝座，所述安裝座一側(cè)設(shè)置有銜接板，所述銜接板延伸入安裝座內(nèi)側(cè)并與安裝座通過轉(zhuǎn)動(dòng)軸連接，所述銜接板上轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第一控制桿和第二控制桿，所述第一控制桿底部固定連接有安裝環(huán)，所述銜接板底部設(shè)置有釬料棒和焊槍本體，所述焊槍本體貫穿安裝環(huán)并與安裝環(huán)固定連接，第二控制桿底部固定連接有第一矩形板，所述第一矩形板一側(cè)設(shè)置有第二矩形板，第一矩形板和第二矩形板之間固定連接有圓桿，所述釬料棒依次貫穿第一矩形板和第二矩形板。

5、通過采用上述技術(shù)方案，在進(jìn)行焊接時(shí)，加熱盤工件在放置臺(tái)頂部進(jìn)行放置，隨后焊槍本體工作后與釬料棒相配合執(zhí)行釬焊任務(wù)，且在此期間，可通過控制升降塊升降的方式來調(diào)節(jié)焊接高度，還可控制銜接板進(jìn)行以轉(zhuǎn)動(dòng)軸為軸心的擺動(dòng)，從而達(dá)到調(diào)節(jié)焊接角度的目的，以此實(shí)現(xiàn)靈活焊接的目的，其焊接方式相對于熱等靜壓焊接而言，不至于出現(xiàn)溫度過高而導(dǎo)致加熱盤工件非焊接部位變形的情況，其次焊接過程中無需人工過多參與，極大的節(jié)省了人力成本的支出。

6、優(yōu)選的，所述第二矩形板內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有兩個(gè)導(dǎo)向輪，所述第二矩形板頂部固定連接有第一電機(jī)，第一電機(jī)通過輸出軸與其中一個(gè)導(dǎo)向輪固定連接，兩個(gè)導(dǎo)向輪分別設(shè)置于釬料棒兩側(cè)，且導(dǎo)向輪與釬料棒相接觸，所述底板頂部固定連接有罐體，所述罐體與焊槍本體通過管道連接。

7、通過采用上述技術(shù)方案，釬料棒與導(dǎo)向輪之間存在摩擦力，此摩擦力可在導(dǎo)向輪轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)形成對釬料棒進(jìn)行推進(jìn)的效果。

8、優(yōu)選的，所述主體框內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有螺紋調(diào)節(jié)桿，所述螺紋調(diào)節(jié)桿貫穿升降塊并與升降塊通過螺紋連接，所述主體框頂部固定連接有第二電機(jī)，第二電機(jī)通過輸出軸與螺紋調(diào)節(jié)桿固定連接。

9、通過采用上述技術(shù)方案，螺紋調(diào)節(jié)桿轉(zhuǎn)動(dòng)后帶動(dòng)升降塊進(jìn)行升降移動(dòng)。

10、優(yōu)選的，所述安裝座內(nèi)側(cè)滑動(dòng)連接有條形板，所述安裝座頂部固定連接有l(wèi)形板，所述l形板頂部固定連接有第二電動(dòng)推桿，所述第二電動(dòng)推桿底部與條形板頂部固定連接，所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸外部固定連接有第一齒輪，所述條形板一側(cè)固定連接有第一齒條，所述第一齒條與第一齒輪相嚙合。

11、通過采用上述技術(shù)方案，第二電動(dòng)推桿工作后可對條形板進(jìn)行上下推拉。

12、優(yōu)選的，所述銜接板一側(cè)固定連接有兩個(gè)方形板，兩個(gè)方形板之間轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第一雙向螺紋桿，所述銜接板一側(cè)開設(shè)有限位槽，兩個(gè)方形板之間設(shè)置有兩個(gè)第一螺紋塊，第一雙向螺紋桿依次貫穿兩個(gè)第一螺紋塊，且第一雙向螺紋桿與第一螺紋塊通過螺紋連接，所述第一螺紋塊一側(cè)固定連接有第一夾持板，所述第一夾持板貫穿限位槽并與限位槽相匹配，兩個(gè)第一夾持板分別與第一控制桿和第二控制桿外側(cè)相貼合。

13、通過采用上述技術(shù)方案，第一雙向螺紋桿兩端螺紋方向相反，可帶動(dòng)兩個(gè)第一螺紋塊進(jìn)行相向或者相背離移動(dòng)。

14、優(yōu)選的，所述安裝座一側(cè)固定連接有限位桿，所述限位桿貫穿升降塊。

15、通過采用上述技術(shù)方案，限位桿對安裝座提供限位，使其保持穩(wěn)定水平移動(dòng)。

16、優(yōu)選的，所述底板頂部設(shè)置有定位機(jī)構(gòu)，所述定位機(jī)構(gòu)包括穩(wěn)定板，所述穩(wěn)定板固定連接于底板頂部，所述放置臺(tái)貫穿穩(wěn)定板頂部壁并與穩(wěn)定板轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述穩(wěn)定板內(nèi)側(cè)固定連接有橫桿，所述橫桿外部滑動(dòng)連接有移動(dòng)板，所述移動(dòng)板與穩(wěn)定板內(nèi)側(cè)壁之間固定連接有第三電動(dòng)推桿，所述放置臺(tái)外部固定連接有第二齒輪，所述移動(dòng)板一側(cè)固定連接有第二齒條，所述第二齒條與第二齒輪相嚙合，所述底板頂部固定連接有底座框，所述底座框頂部設(shè)置有控制板，所述控制板延伸入底座框內(nèi)部并與底座框滑動(dòng)連接，所述控制板后側(cè)一體化成型有延伸板，延伸板底部固定連接有第四電動(dòng)推桿，所述第四電動(dòng)推桿固定連接于底板頂部，所述底板頂部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有方形桿，所述方形桿貫穿穩(wěn)定板頂部壁并與穩(wěn)定板轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

17、通過采用上述技術(shù)方案，第四電動(dòng)推對延伸板上下推拉，可促使控制板進(jìn)行升降。

18、優(yōu)選的，所述控制板頂部壁上轉(zhuǎn)動(dòng)連接有套筒和銜接框，所述方形桿貫穿套筒并與套筒相匹配，所述方形桿外部固定連接有第三齒輪，所述第三齒輪與第二齒輪相嚙合，所述套筒外部固定連接有第四齒輪，所述銜接框外部固定連接有第五齒輪，所述第四齒輪與第五齒輪相嚙合。

19、通過采用上述技術(shù)方案，第四齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)后帶動(dòng)第五齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)。

20、優(yōu)選的，所述銜接框外側(cè)固定連接有輔助框，輔助框設(shè)置于第五齒輪底部，所述輔助框內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第二雙向螺紋桿，所述第二雙向螺紋桿延伸出輔助框外部，所述輔助框內(nèi)部滑動(dòng)連接有兩個(gè)第二螺紋塊，所述第二螺紋塊上固定連接有推動(dòng)板，所述推動(dòng)板延伸出輔助框外部，所述推動(dòng)板延伸入銜接框內(nèi)部，所述推動(dòng)板上固定連接有第二夾持板。

21、通過采用上述技術(shù)方案，第二雙向螺紋桿兩端螺紋方向相反，可帶動(dòng)兩個(gè)第二螺紋塊進(jìn)行相向或者相背離移動(dòng)。

22、本發(fā)明要解決的另一技術(shù)問題是提供一種釬焊設(shè)備應(yīng)用于半導(dǎo)體加熱盤加工的焊接工藝，包括以下步驟：

23、工件放置

24、將加熱盤工件待焊接部位在放置臺(tái)頂部進(jìn)行堆疊放置，并將其最頂部穿插過銜接框后，轉(zhuǎn)動(dòng)第二雙向螺紋桿，控制兩個(gè)第二夾持板將加熱盤工件穿插過銜接框的部位進(jìn)行夾持，最后第四電動(dòng)推桿向下輕微拉動(dòng)后，即可實(shí)現(xiàn)第二夾持板將加熱盤工件向下按壓的效果，以此保證加熱盤工件的穩(wěn)定性；

25、焊接調(diào)節(jié)

26、在焊接的過程中，通過控制移動(dòng)板移動(dòng)的方式來控制放置臺(tái)進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，在放置臺(tái)旋轉(zhuǎn)期間，通過第二齒輪、第三齒輪、第四齒輪和第五齒輪之間的傳動(dòng)關(guān)系，可實(shí)現(xiàn)銜接框有放置臺(tái)進(jìn)行同步轉(zhuǎn)動(dòng)的效果，以此可保證加熱盤工件在進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的同時(shí)，第二夾持板還能對其保持穩(wěn)定夾持；

27、焊接加工

28、罐體通過管道向焊槍本體輸送焊接時(shí)所需要的燃料，且在焊接期間，可調(diào)節(jié)銜接板在安裝座內(nèi)側(cè)進(jìn)行以轉(zhuǎn)動(dòng)軸為軸心的擺動(dòng)，以此調(diào)節(jié)焊接角度，同時(shí)控制升降塊上下移動(dòng)時(shí)可調(diào)節(jié)焊接高度，基于此步驟與以上控制放置臺(tái)旋轉(zhuǎn)的效果相配合，可妥善對加熱盤工件的不同位置進(jìn)行有效焊接，整個(gè)過程無需人工過多參與。

29、綜上所述，本發(fā)明包括以下有益技術(shù)效果：

30、一種釬焊設(shè)備及用于半導(dǎo)體加熱盤加工的焊接工藝，通過焊接機(jī)構(gòu)的設(shè)計(jì)，在進(jìn)行焊接時(shí)，加熱盤工件在放置臺(tái)頂部進(jìn)行放置，隨后焊槍本體工作后與釬料棒相配合執(zhí)行釬焊任務(wù)，且在此期間，可通過控制升降塊升降的方式來調(diào)節(jié)焊接高度，還可控制銜接板進(jìn)行以轉(zhuǎn)動(dòng)軸為軸心的擺動(dòng)，從而達(dá)到調(diào)節(jié)焊接角度的目的，以此實(shí)現(xiàn)靈活焊接的目的，其焊接方式相對于熱等靜壓焊接而言，不至于出現(xiàn)溫度過高而導(dǎo)致加熱盤工件非焊接部位變形的情況，其次焊接過程中無需人工過多參與，極大的節(jié)省了人力成本的支出。

31、一種釬焊設(shè)備及用于半導(dǎo)體加熱盤加工的焊接工藝，通過定位機(jī)構(gòu)的設(shè)計(jì)，第三電動(dòng)推桿工作后對移動(dòng)板進(jìn)行推拉，此時(shí)放置臺(tái)帶動(dòng)頂部的加熱盤工件進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，在此期間，通過第二齒輪、第三齒輪、第四齒輪和第五齒輪的傳動(dòng)關(guān)系，可實(shí)現(xiàn)銜接框進(jìn)行同步旋轉(zhuǎn)，以此實(shí)現(xiàn)了控制加熱盤工件進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的同時(shí)，還能保證其放置時(shí)的穩(wěn)定性，有效保證了焊接工作的順利開展，且轉(zhuǎn)動(dòng)過程中，還能使加熱盤工件的不同位置轉(zhuǎn)移至焊槍本體處得到焊接，焊接過程更加靈活。

32、一種釬焊設(shè)備及用于半導(dǎo)體加熱盤加工的焊接工藝，實(shí)現(xiàn)了對加熱盤工件進(jìn)行快速焊接的目的，且在焊接過程中能夠?qū)附游恢谩⒔嵌冗M(jìn)行靈活調(diào)節(jié)，在實(shí)現(xiàn)以上功能的基礎(chǔ)上，無需人工過多參與，極大的節(jié)省了人力，且結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)簡單，還有利于生產(chǎn)制造和控制使用成本。