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技術(shù)編號(hào)：40461030

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本發(fā)明涉及釬焊設(shè)備，尤其是涉及一種釬焊設(shè)備及用于半導(dǎo)體加熱盤加工的焊接工藝。背景技術(shù)、半導(dǎo)體加熱盤又稱半導(dǎo)體晶圓加熱盤，是一種專門用于半導(dǎo)體制造工藝中，對(duì)硅晶圓進(jìn)行熱處理的設(shè)備，其通常由高溫耐腐蝕材料制成，例如高純鋁、高硅金屬和陶瓷石英玻璃等，以保證對(duì)晶圓熱處理過(guò)程中的純凈性和可靠性，其通常采用電熱絲或加熱芯作為加熱元件，并通過(guò)加熱盤底部進(jìn)行熱量傳遞，在半導(dǎo)體加熱盤加工制造的過(guò)程中，需要對(duì)各組成部件進(jìn)行焊接。、公開(kāi)號(hào)為cna的中國(guó)專利申請(qǐng)，提出了一種鋁制晶圓加熱盤的焊接方法...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。

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