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技術(shù)特征:

1.一種烘箱,其特征在于,包括:

箱體,外周設(shè)有環(huán)形進氣管路;

若干個噴頭,設(shè)置在箱體內(nèi)側(cè),所述噴頭連接環(huán)形進氣管路;

氦氣儲罐,通過直連進氣管路和出氣管路連接環(huán)形進氣管路;

抽氣泵,安裝在出氣管路上,用于抽取箱體內(nèi)的氦氣;

所述抽氣泵與氦氣儲罐的之間的出氣管路上還設(shè)有第一側(cè)通管路,所述第一側(cè)通管路連接直通進氣管路和出氣管路;位于第一側(cè)通管路和氦氣儲罐之間的直通進氣管路和出氣管路上還設(shè)有第一截止閥;關(guān)閉第一截止閥,第一側(cè)通管路與直通進氣管路和出氣管路以及箱體形成封閉的循環(huán)氣路。

2.如權(quán)利要求1所述的烘箱,其特征在于,所述噴頭內(nèi)部設(shè)有單向閥。

3.如權(quán)利要求2所述的烘箱,其特征在于,所述噴頭數(shù)量為12個,分三層設(shè)有在箱體內(nèi)部各個頂角處和直棱邊的中部。

4.如權(quán)利要求1所述的烘箱,其特征在于,還包括第二側(cè)通管路,所述第二側(cè)通管路設(shè)置在出氣管路一側(cè),兩端連接出氣管路;所述第二側(cè)通管路上設(shè)有水冷裝置。

5.如權(quán)利要求4所述的烘箱,其特征在于,所述第二側(cè)通管路兩端設(shè)有截止閥。

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