本實用新型涉及收集鏡精加工過程中的加固技術(shù)。

背景技術(shù)：

在毛細管放電Z箍縮極紫外光(13.5nm)輻射做為光刻光源(DPP)技術(shù)中，由毛細管中產(chǎn)生的13.5nm極紫外光，在出口處出射的立體角將在+5°～+30°,-5°～-30°間，將這一出射光有效收集以便在焦點處獲得高功率的照射光，以便與后續(xù)的曝光系統(tǒng)連接進行光刻，這就需要一光學收集系統(tǒng)，通常采用直接車削加工收集鏡，收集鏡通常是由口徑由大到小若干組合在一起，每片內(nèi)外表面都是由雙曲面加橢球面的兩個非球面面形組成，通常由壁厚在2mm以下(提高收集效率)的十片以上組成、口徑最大在Φ500mm左右，十片收集鏡口徑依次減小，將十片收集鏡組合起來形成一光學收集系統(tǒng)。

在大口徑的薄殼(壁厚小于2mm)型收集鏡精加工過程中，盡管金剛石車床，車刀進刀量盡量小，車速也盡量慢，車削中車刀與鏡片間的接觸造成的壓力，仍然會使加工中鏡片抖動，造成加工中產(chǎn)生波紋，嚴重破壞了表面粗糙度，使加工質(zhì)量不能保證。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型是為了解決車削收集鏡時，收集鏡顫抖嚴重，影響加工質(zhì)量的問題，從而提供用于收集鏡精加工的加固裝置。

本實用新型所述的用于收集鏡精加工的加固裝置，該加固裝置包括N瓣筒瓣，N瓣筒瓣圍成一個套筒，套筒一端的開口大于另一端的開口，套筒的內(nèi)表面與收集鏡的外表面相匹配，套筒套固在收集鏡外壁，N為正整數(shù)。

加工收集鏡時，將加固裝置套到收集鏡外壁，需用膠帶十分均勻用力的纏繞在套筒外壁，將套筒與收集鏡緊密的裝配在一起。纏繞膠帶時一定要均勻用力，又要用較大的力量纏好，嚴格避免中間有空隙，嚴格避免用力不均勻，造成收集鏡略有變形。加固上加固裝置后，上車床檢查，旋轉(zhuǎn)加固裝置檢查有否偏心，如有偏心，需重新纏繞，直到?jīng)]有絲毫偏心為止。一定在認為完全沒有偏心再開始上車床加工，否則一經(jīng)返工，面形改變，收集鏡就將報廢。

有益效果：加固了加固裝置后再進行車削精加工，效果十分明顯，已經(jīng)消除了顫抖，也就消除了加工產(chǎn)生的波紋，收集鏡表面粗糙度(沒經(jīng)手工拋光前)達到小于5nm。

本實用新型適用于車削精加工中加固收集鏡。

附圖說明

圖1是具體實施方式一所述的用于收集鏡精加工的加固裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

具體實施方式一：參照圖1具體說明本實施方式，本實施方式所述的用于收集鏡精加工的加固裝置，該加固裝置包括N瓣筒瓣，N瓣筒瓣圍成一個套筒，套筒一端的開口大于另一端的開口，套筒的內(nèi)表面與收集鏡的外表面相匹配，套筒套固在收集鏡外壁，N為正整數(shù)。

套筒的內(nèi)表面的面型與收集鏡的外表面面型相同。

具體實施方式二：本實施方式是對具體實施方式一所述的用于收集鏡精加工的加固裝置作進一步說明，本實施方式中，所述套筒為尼龍?zhí)淄病?/p>

尼龍?zhí)淄驳臋C械強度高，韌性好，有較高的抗拉、抗壓強度，電絕緣性好，重量輕。

具體實施方式三：本實施方式是對具體實施方式一或二所述的用于收集鏡精加工的加固裝置作進一步說明，本實施方式中，套筒兩端開口的內(nèi)壁口徑均比收集鏡的相應端的外壁口徑小2mm。

套筒的內(nèi)壁口徑比收集鏡的外壁口徑略小，有利于套筒牢牢套固在收集鏡外側(cè)。

具體實施方式四：本實施方式是對具體實施方式一或二所述的用于收集鏡精加工的加固裝置作進一步說明，本實施方式中，所述套筒的壁厚大于10mm。

壁厚大于10mm時，加工時穩(wěn)定性更好。

具體實施方式五：本實施方式是對具體實施方式一或二所述的用于收集鏡精加工的加固裝置作進一步說明，本實施方式中，N為4。