一種靶材組件的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種靶材組件，靶材組件包括背板和靶材，背板的焊合表面設(shè)有低熔點(diǎn)的背板焊料層，靶材的焊合表面從內(nèi)到外依次設(shè)有等離子噴涂界面層和低熔點(diǎn)的靶材焊料層；背板焊料層與靶材焊料層軟焊接。本實(shí)用新型的靶材組件具有較佳的接合附著能力。
【專利說(shuō)明】一種靶材組件
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種靶材組件，屬于工具與模具鍍膜【技術(shù)領(lǐng)域】。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，靶材多采用軟焊接合的方法，現(xiàn)工業(yè)上進(jìn)行靶材的焊合工藝時(shí)，最常使用的方法為與背板進(jìn)行軟焊接合，使用的焊料為低熔點(diǎn)的銦(In)或錫(Sn)材料。
[0003]軟焊接合方法的優(yōu)點(diǎn)為處理溫度低(通常小于280°C )，不會(huì)造成靶材后續(xù)不正常晶粒長(zhǎng)大，但其缺點(diǎn)為接合度弱，且不同性質(zhì)的靶材適用的軟焊接合方法皆有些不同。
實(shí)用新型內(nèi)容
[0004]針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，本實(shí)用新型目的是提供一種具有很強(qiáng)接合度的靶材組件。
[0005]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型是通過(guò)如下的技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn):
[0006]本實(shí)用新型的一種靶材組件，包括背板和靶材，背板的焊合表面設(shè)有低熔點(diǎn)的背板焊料層，靶材的焊合表面從內(nèi)到外依次設(shè)有等離子噴涂界面層和低熔點(diǎn)的靶材焊料層；背板焊料層與靶材焊料層軟焊接。
[0007]上述靶材的組成成分為石墨。
[0008]上述背板的材料為銅。
[0009]上述背板焊料層和靶材焊料層的材料均為銦或錫。
[0010]上述等離子噴涂界面層的材料為氧化鉻或氧化鋁。
[0011]上述等離子噴涂界面層的厚度不小于100微米。
[0012]本實(shí)用新型在背板的表面設(shè)置低熔點(diǎn)的背板焊料層，在靶材的表面從內(nèi)到外依次設(shè)置等離子噴涂界面層和靶材焊料層，此預(yù)處理使得靶材組件具有較佳的接合附著能力。
【專利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0013]圖1為本實(shí)用新型的靶材組件結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]圖2為本實(shí)用新型的靶材組件制備方法流程圖。
【具體實(shí)施方式】
[0015]為使本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)的技術(shù)手段、創(chuàng)作特征、達(dá)成目的與功效易于明白了解，下面結(jié)合【具體實(shí)施方式】，進(jìn)一步闡述本實(shí)用新型。
[0016]實(shí)施例1:
[0017]參見(jiàn)圖1，本實(shí)用新型的靶材組件包括背板I和靶材5，背板I的焊合表面設(shè)有低熔點(diǎn)的背板焊料層2，靶材5的焊合表面從內(nèi)到外依次設(shè)有等離子噴涂界面層4和低熔點(diǎn)的靶材焊料層3 ;背板焊料層2與靶材焊料層3軟焊接。
[0018]參見(jiàn)圖2，本實(shí)用新型靶材組件的制備方法包括以下幾個(gè)步驟:[0019](I)在背板I的焊接表面涂覆背板焊料層2，并加熱使背板焊料層2成為熔融狀態(tài)(銦的熔點(diǎn)156.6°C)。該背板焊料層2是由低熔點(diǎn)的焊料所組成，背板I的材料選自于銅，而背板焊料層2的材料為銦。
[0020](2)在靶材5的焊合表面選用400目的砂紙進(jìn)行打磨。本實(shí)施例中，靶材5的組成成分為石墨。
[0021](3)打磨后，在惰性保護(hù)氣氛下，用等離子噴涂的手法噴涂等離子噴涂界面層4，且等離子噴涂界面層4必須完全覆蓋其打磨的表面，本實(shí)施例中，等離子噴涂界面層4的材料為氧化鉻，且等離子噴涂界面層4的厚度不小于100微米。
[0022](4)以賽路凡膠帶進(jìn)行剝離測(cè)試，確定無(wú)氧化鉻層脫落。再在等離子噴涂界面層4上涂覆靶材焊料層3，并加熱使靶材焊料層3成為熔融狀態(tài)。靶材焊料層3是由低熔點(diǎn)的焊料所組成，且與背板焊料層2的材質(zhì)為同一焊料。
[0023](5)將背板I上熔融狀態(tài)的背板焊料層2與靶材5上熔融狀態(tài)的靶材焊料層3進(jìn)行軟焊接合，降溫冷卻后完成靶材5與背板I的接合。
[0024]試驗(yàn)結(jié)果為:祀材組件的抗拉力拉伸值40?50kg/cm2。
[0025]實(shí)施例2:
[0026]與實(shí)施例1不同的是，等離子噴涂界面層4的材料為氧化鋁。試驗(yàn)結(jié)果為:靶材組件的抗拉力拉伸值30?35kg/cm2。
[0027]實(shí)施例3:
[0028]與實(shí)施例1不同的是，靶材5的焊合表面選用800目的砂紙進(jìn)行打磨。試驗(yàn)結(jié)果為:祀材組件的抗拉力拉伸值35?40kg/cm2。
[0029]以上顯示和描述了本實(shí)用新型的基本原理和主要特征和本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本實(shí)用新型不受上述實(shí)施例的限制，上述實(shí)施例和說(shuō)明書(shū)中描述的只是說(shuō)明本實(shí)用新型的原理，在不脫離本實(shí)用新型精神和范圍的前提下，本實(shí)用新型還會(huì)有各種變化和改進(jìn)，這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本實(shí)用新型范圍內(nèi)。本實(shí)用新型要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書(shū)及其等效物界定。
【權(quán)利要求】
1.一種靶材組件，包括背板(I)和靶材(5)，其特征在于，所述背板(I)的焊合表面設(shè)有低熔點(diǎn)的背板焊料層(2)，所述靶材(5)的焊合表面從內(nèi)到外依次設(shè)有等離子噴涂界面層(4)和低熔點(diǎn)的靶材焊料層(3)； 所述背板焊料層(2 )與靶材焊料層(3 )軟焊接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靶材組件，其特征在于， 所述靶材(5)的組成成分為石墨。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靶材組件，其特征在于， 所述背板(I)的材料為銅。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靶材組件，其特征在于， 所述背板焊料層(2)和靶材焊料層(3)的材料均為銦或錫。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靶材組件，其特征在于， 所述等離子噴涂界面層(4)的材料為氧化鉻或氧化鋁。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的靶材組件，其特征在于， 所述等離子噴涂界面層(4)的厚度不小于100微米。
【文檔編號(hào)】B23K1/00GK203683651SQ201420001795
【公開(kāi)日】2014年7月2日 申請(qǐng)日期:2014年1月2日 優(yōu)先權(quán)日:2014年1月2日
【發(fā)明者】陳俊杰, 黃威智, 方家芳 申請(qǐng)人:昆山全亞冠環(huán)保科技有限公司