技術(shù)編號:3130550
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實用新型公開了一種靶材組件,靶材組件包括背板和靶材,背板的焊合表面設(shè)有低熔點的背板焊料層,靶材的焊合表面從內(nèi)到外依次設(shè)有等離子噴涂界面層和低熔點的靶材焊料層;背板焊料層與靶材焊料層軟焊接。本實用新型的靶材組件具有較佳的接合附著能力。專利說明一種靶材組件[0001]本實用新型涉及一種靶材組件,屬于工具與模具鍍膜。背景技術(shù)[0002]目前,靶材多采用軟焊接合的方法,現(xiàn)工業(yè)上進(jìn)行靶材的焊合工藝時,最常使用的方法為與背板進(jìn)行軟焊接合,使用的焊料為低熔點的銦(In...
注意:該技術(shù)已申請專利,請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲備,不適合論文引用。