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一種靶材組件的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:3130550

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本實用新型公開了一種靶材組件,靶材組件包括背板和靶材,背板的焊合表面設(shè)有低熔點的背板焊料層,靶材的焊合表面從內(nèi)到外依次設(shè)有等離子噴涂界面層和低熔點的靶材焊料層;背板焊料層與靶材焊料層軟焊接。本實用新型的靶材組件具有較佳的接合附著能力。專利說明一種靶材組件[0001]本實用新型涉及一種靶材組件,屬于工具與模具鍍膜。背景技術(shù)[0002]目前,靶材多采用軟焊接合的方法,現(xiàn)工業(yè)上進(jìn)行靶材的焊合工藝時,最常使用的方法為與背板進(jìn)行軟焊接合,使用的焊料為低熔點的銦(In...
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