專利名稱：鎳靶材組件的加工方法及加工裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明屬于半導(dǎo)體制造行業(yè)中的機(jī)械加工技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種鎳靶材組件的加工方法和加工裝置。
背景技術(shù)：
物理氣相沉積(PVD)技術(shù)應(yīng)用于很多領(lǐng)域，其利用濺射靶材組件可提供帶有原子級光滑表面的具有精確厚度的薄膜材料沉積物。靶材組件是由符合濺射性能的靶材和適于與靶材結(jié)合并具有一定強(qiáng)度的背板構(gòu)成。在濺射過程中，靶材組件裝配至濺射基臺(tái)，位于充滿惰性氣體氣氛的腔室里的靶材暴露于電場中從而產(chǎn)生等離子區(qū)。等離子區(qū)的等離子與濺射靶材的表面發(fā)生碰撞，從而從靶材表面逸出原子。靶材與待涂布基材之間的電壓差使得逸出原子在基材表面上形成預(yù)期的薄膜，薄膜的質(zhì)量會(huì)受到靶材表面粗糙度的影響。當(dāng)靶材表面粗糙度較大時(shí)，靶材的表面會(huì)存在一些尺寸超過一定水平的凸起，在濺射的過程中， 靶材表面上的凸起會(huì)產(chǎn)生異常放電(微電弧放電)。而異常放電會(huì)導(dǎo)致大粒子從靶材表面濺出并沉積在濺射基臺(tái)上的待涂布基材表面，從而使形成的薄膜上形成斑點(diǎn)并導(dǎo)致半導(dǎo)體器件的短路。因此加工靶材組件的過程中控制靶材表面的加工精度非常重要。目前，含有高純度鎳靶材的鎳靶材組件的機(jī)械加工工藝非常不成熟，對于機(jī)械加工的加工參數(shù)的相關(guān)研究也幾乎處于空白階段，因此迫切需要有一種能制造出含有尺寸精度高、表面粗糙度低的高純度鎳靶材的鎳靶材組件加工方法及加工裝置。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明要解決的問題是提供一種鎳靶材組件的加工方法及加工裝置，其中鎳靶材的材料為4N鎳(即純度為99. 99% )。由該方法加工出的鎳靶材組件具有尺寸精度高、表面粗糙度低的鎳靶材。為解決上述問題，本發(fā)明提供一種鎳靶材組件的加工方法，包括以下步驟提供一側(cè)設(shè)有多個(gè)水槽的背板、純度為99. 99%的鎳靶材坯料；將所述鎳靶材坯料與所述背板焊接在一起；將所述鎳靶材組件固定在車床上對所述鎳靶材坯料進(jìn)行車削加工以得到鎳靶材；將所述鎳靶材組件固定在磨床上對所述鎳靶材進(jìn)行磨削加工?？蛇x的，所述車床的刀具采用立方氮化硼刀片?？蛇x的，所述車削加工包括粗加工及粗加工之后的精加工?？蛇x的，進(jìn)行所述粗加工時(shí)，所述車床的主軸轉(zhuǎn)速為300r/min 500r/min?？蛇x的，進(jìn)行所述粗加工時(shí)，所述車床的進(jìn)給量為0. 3mm 0. 5mm?？蛇x的，進(jìn)行所述精加工時(shí)，所述車床的主軸轉(zhuǎn)速為250r/min 300r/min。可選的，進(jìn)行所述精加工時(shí)，所述車床的進(jìn)給量為0. Olmm 0. 1mm。可選的，所述磨床的磨具采用立方氮化硼砂輪。
可選的，所述立方氮化硼砂輪的粒度為180目?？蛇x的，進(jìn)行磨削加工時(shí)，所述立方氮化硼砂輪的轉(zhuǎn)速為2800r/min 3200r/
mirio可選的，進(jìn)行磨削加工時(shí)，所述立方氮化硼砂輪的進(jìn)給速度為450mm/min 550mm/mino可選的，進(jìn)行磨削加工時(shí)，所述立方氮化硼砂輪的進(jìn)給量為0. 005mm 0. 02mm。可選的，所述立方氮化硼砂輪的轉(zhuǎn)速為3000r/min?？蛇x的，將所述鎳靶材坯料與所述背板焊接在一起之前，還包括對所述鎳靶材坯料、背板進(jìn)行清洗的步驟。可選的，進(jìn)行所述車削加工步驟之后、所述磨削加工步驟之前，還包括對所述鎳靶材、背板進(jìn)行清洗的步驟?？蛇x的，將所述鎳靶材坯料與所述背板焊接在一起步驟中，所述鎳靶材坯料與所述背板通過釬焊連接在一起?？蛇x的，進(jìn)行所述磨削加工時(shí)，利用乳化液對所述立方氮化硅砂輪、鎳靶材組件進(jìn)行冷卻。為解決上述問題，本發(fā)明還提供一種鎳靶材組件的加工裝置，所述鎳靶材組件包括連接在一起的背板、純度為99. 99%的鎳靶材坯料，所述加工裝置包括車床，其刀具采用立方氮化硼刀片；磨床，其磨具采用立方氮化硼砂輪。本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn)將背板與鎳靶材坯料焊接在一起之后形成鎳靶材組件，對鎳靶材組件中的鎳靶材坯料進(jìn)行機(jī)械加工，包括對鎳靶材坯料進(jìn)行車削加工及磨削加工。通過合理選用車床刀片， 嚴(yán)格控制加工參數(shù)減小了車床加工時(shí)鎳靶材表面上的缺陷，以獲得精度較高的鎳靶材；待車床加工完成后，利用磨床并合理選用磨具對鎳靶材進(jìn)行磨削、拋光以進(jìn)一步減小鎳靶材表面上的缺陷，從而得到尺寸精度高、表面粗糙度低的鎳靶材，進(jìn)而得到符合濺射性能的鎳靶材組件。


圖1是本發(fā)明鎳靶材組件的加工方法實(shí)施例中鎳靶材組件的加工流程圖。圖2是本發(fā)明鎳靶材組件的加工方法實(shí)施例中鎳靶材組件的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3是圖2沿A-O-A的剖視圖。
具體實(shí)施例方式本發(fā)明的目的是提供一種鎳靶材組件的加工方法及加工裝置，其中鎳靶材的材料為4N鎳。鎳靶材組件的加工方法中包括對鎳靶材組件中的鎳靶材進(jìn)行車削加工，通過合理選用車床刀片，嚴(yán)格控制加工參數(shù)減小了車床加工時(shí)鎳靶材表面上的缺陷。待車床加工完成后，利用磨床并合理選用磨具對鎳靶材組件中的鎳靶材進(jìn)行磨削、拋光以進(jìn)一步減小鎳靶材表面上的缺陷，從而得到尺寸精度高、表面粗糙度低的鎳靶材，進(jìn)而得到符合濺射性能的鎳靶材組件。
為使本發(fā)明的上述目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能夠更加明顯易懂，下面結(jié)合附圖對本發(fā)明的具體實(shí)施方式
做詳細(xì)的說明。在下面的描述中闡述了很多具體細(xì)節(jié)以便于充分理解本發(fā)明，但是本發(fā)明還可以采用其他不同于在此描述的其它方式來實(shí)施，因此本發(fā)明不受下面公開的具體實(shí)施例的限制。在機(jī)械加工過程中人們通常都希望在保證機(jī)械加工裝置壽命的前提下以最短的加工時(shí)間加工出精度高的產(chǎn)品。因此，在進(jìn)行機(jī)械加工之前必須充分考慮加工件的材料、硬度、形狀、加工余量及加工裝置的性能等因素，然后再選擇合適的加工工具及加工條件。在機(jī)械加工領(lǐng)域中所述加工條件即為機(jī)械加工三要素轉(zhuǎn)速、進(jìn)給量和進(jìn)給速度。其中，轉(zhuǎn)速旋轉(zhuǎn)物體在一分鐘或一秒內(nèi)的旋轉(zhuǎn)圈數(shù)，其計(jì)量單位通常為r/min或r/s。進(jìn)給量加工件或加工工具每旋轉(zhuǎn)一周或往復(fù)一次時(shí)，加工件與加工工具在進(jìn)給運(yùn)動(dòng)方向上的位移，其計(jì)量單位通常為mm。進(jìn)給速度單位時(shí)間內(nèi)加工件與加工工具在進(jìn)給運(yùn)動(dòng)方向上的相對位移，其計(jì)量單位通常為mm/min。圖1是本發(fā)明鎳靶材組件的加工方法實(shí)施例中鎳靶材組件的加工流程圖，如圖1 所示，鎳靶材組件的加工方法包括以下步驟Si.提供鎳靶材坯料、一側(cè)設(shè)有多個(gè)水槽的背板。S2.將鎳靶材坯料、背板焊接在一起。S3.將鎳靶材組件固定在車床上對鎳靶材坯料進(jìn)行車削加工以獲得鎳靶材。S4.車削加工后，對鎳靶材、背板進(jìn)行清洗。S5.將鎳靶材組件固定在磨床上以對鎳靶材進(jìn)行磨削加工。圖2是本發(fā)明鎳靶材組件的加工方法實(shí)施例中鎳靶材組件的結(jié)構(gòu)示意圖，圖3是圖2沿A-O-A的剖視圖。下面將圖1與圖2、圖3結(jié)合起來對上述鎳靶材組件的加工流程作詳細(xì)說明。Si.提供鎳靶材坯料、一側(cè)設(shè)有多個(gè)水槽的背板。鎳靶材坯料的材料為4N鎳(即純度為99. 99% ),本實(shí)施例中鎳靶材坯料的材料中還包含銅，在其他實(shí)施例中鎳靶材坯料可包含其他金屬。根據(jù)應(yīng)用環(huán)境、濺射設(shè)備的實(shí)際要求，鎳靶材坯料10的形狀可以為圓形、矩形、環(huán)形、圓錐形或其他類似形狀(包括規(guī)則形狀和不規(guī)則形狀)中的任一種。優(yōu)選方案為圓形，它的直徑尺寸為在設(shè)計(jì)尺寸上加3mm的加工余量，它的厚度尺寸為在設(shè)計(jì)尺寸上加Imm的加工余量。設(shè)置加工余量的目的是對鎳靶材坯料提供比較寬裕的加工空間以得到符合要求的鎳靶材組件。背板11由機(jī)械加工形成以使其尺寸符合應(yīng)用要求，它的材料可以是銅或銅合金。 根據(jù)應(yīng)用環(huán)境、濺射設(shè)備的實(shí)際要求，背板11的形狀可以為圓形、矩形、環(huán)形、圓錐形或其他類似形狀(包括規(guī)則形狀和不規(guī)則形狀)中的任一種。如圖2所示，優(yōu)選方案為圓形。當(dāng)進(jìn)行濺射工藝時(shí)，鎳靶材組件會(huì)裝配至濺射基臺(tái)，此時(shí)鎳靶材組件的工作環(huán)境比較惡劣，例如，它所處的工作溫度較高如300至500°C。另外，鎳靶材組件的一側(cè)會(huì)沖冷卻水強(qiáng)冷，而另一側(cè)會(huì)處于10-9 的高真空環(huán)境下，因此鎳靶材組件的相對兩側(cè)形成很大的壓差，而且鎳靶材組件處于高壓電場、磁場中會(huì)受到各種粒子的轟擊。因此，鎳靶材組件中的背板一方面起到支撐鎳靶材的作用，另一方面具有傳導(dǎo)熱量的功效。濺射腔室內(nèi)的溫度很高，由于背板11會(huì)與鎳靶材坯料10通過焊接連接在一起，為防止溫度達(dá)到180°c左右時(shí)鎳會(huì)催化背板與鎳靶材坯料之間的焊料熔化以致影響鎳靶材組件的濺射結(jié)果，可在背板11上設(shè)置多個(gè)深度較大的水槽12以對鎳靶材10進(jìn)行充分冷卻。背板11上的水槽12可以利用機(jī)械加工的方法形成，如銑削加工。因此，背板11上水槽12所在位置的厚度較薄。如圖2所示，水槽 12的形狀可為環(huán)形或圓形。S2.將鎳靶材坯料、背板焊接在一起。為使鎳靶材坯料10、背板11能更好的結(jié)合，在兩者進(jìn)行焊接之前可對鎳靶材坯料 10、背板11的預(yù)結(jié)合表面進(jìn)行機(jī)械加工以使兩者的預(yù)結(jié)合表面達(dá)到必要的光潔度(即表面粗糙度)。然后再對鎳靶材坯料10、背板11進(jìn)行清洗。清洗鎳靶材坯料10、背板11的方法有很多種，其中的一種方法是利用有機(jī)溶劑進(jìn)行清洗。有機(jī)溶劑可以是酒精、異丁醇(IBA)、 異丙醇(IPA)或混丙醇(IPB)中的任一種?？衫免F焊工藝將鎳靶材坯料10、背板11焊接在一起，當(dāng)然還可以以其它方式將鎳靶材坯料10、背板11焊接在一起。S3.將鎳靶材組件固定在車床上對鎳靶材坯料進(jìn)行車削加工以獲得鎳靶材。使車床夾具夾持鎳靶材組件中的背板11，然后利用車刀對鎳靶材坯料10進(jìn)行車削加工。如圖3所示，由于背板11中水槽12的深度較大，因此背板11中對應(yīng)水槽12位置處的厚度較薄。對鎳靶材坯料10進(jìn)行車削加工，尤其是當(dāng)加工到水槽12的附近位置時(shí)， 該位置處的鎳靶材組件剛度、機(jī)械強(qiáng)度較小，且該位置的受力較小，此時(shí)極易出現(xiàn)振刀的現(xiàn)象。振刀會(huì)嚴(yán)重影響加工件的加工精度，因此在加工過程中需盡量避免振刀現(xiàn)象的發(fā)生。發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，通過合理選用刀具、調(diào)整加工參數(shù)可以避免或減少振刀現(xiàn)象的發(fā)生。 因此，車床的刀具選擇立方氮化硼(CBN)刀片。立方氮化硼刀片具有很多優(yōu)點(diǎn)，例如硬度高，因此可以使車床車削時(shí)選擇較大的轉(zhuǎn)速從而提高加工效率，而且此時(shí)立方氮化硼刀片的變形較小，可以得到加工精度較高的產(chǎn)品，即得到的產(chǎn)品尺寸精度高、表面粗糙度低。鎳靶材組件的車削過程包括粗加工、精加工。首先對鎳靶材組件中的鎳靶材坯料 10進(jìn)行粗加工。此時(shí)，車床主軸轉(zhuǎn)速為300r/min 500r/min，進(jìn)給量為0. 3mm 0. 5mm。然后對鎳靶材組件中的鎳靶材坯料10進(jìn)行精加工。此時(shí)，車床主軸轉(zhuǎn)速為250r/min 300r/ min，進(jìn)給量為0.01mm 0. Imm0當(dāng)然，在進(jìn)行粗加工之后、精加工之前還可相應(yīng)調(diào)整加工參數(shù)對鎳靶材組件中的鎳靶材坯料10進(jìn)行半精加工。車削加工后，鎳靶材組件中鎳靶材坯料 10的精度大大提高從而得到鎳靶材10。S4.車削加工后，對鎳靶材、背板進(jìn)行清洗。進(jìn)行車削后，鎳靶材組件上會(huì)附著有車削屑，為避免車削屑影響鎳靶材組件的后續(xù)加工精度，可對鎳靶材10、背板11進(jìn)行清洗。清洗鎳靶材10、背板11的方法有很多種， 其中的一種方法是利用有機(jī)溶劑進(jìn)行清洗。有機(jī)溶劑可以是酒精、異丁醇(IBA)、異丙醇 (IPA)或混丙醇(IPB)中的任一種。S5.將鎳靶材組件固定在磨床上以對鎳靶材進(jìn)行磨削加工。進(jìn)行上述步驟S3之后，鎳靶材表面的精度雖然有所提高，但仍存在部分缺陷，其表面粗糙度即光潔度還不能達(dá)到濺射工藝的要求。因此需對鎳靶材組件中的鎳靶材10進(jìn)行進(jìn)一步加工以提高鎳靶材表面的光潔度。利用磨床對鎳靶材組件中的鎳靶材進(jìn)行進(jìn)一步加工。磨床中的磨具選擇粒度為180目的立方氮化硼砂輪。立方氮化硼砂輪具有很多優(yōu)點(diǎn)，如可進(jìn)行高速磨削加工，從而提高加工效率，另外，它還可以提高磨削加工的加工精度從而提高產(chǎn)品表面的加工質(zhì)量。利用立方氮化硼砂輪對鎳靶材10進(jìn)行磨削加工，此時(shí)，立方氮化硼砂輪的轉(zhuǎn)速可為^OOr/ min 3200r/min,進(jìn)給速度可為 450mm/min 550mm/mino立方氮化硼砂輪的轉(zhuǎn)速對其使用壽命有著非常大的影響。如果轉(zhuǎn)速過高，立方氮化硼砂輪的溫度因?yàn)槟Σ炼杆偕仙?，?dǎo)致其壽命大大減少；如果轉(zhuǎn)速過低，會(huì)降低加工效率。為此，當(dāng)其轉(zhuǎn)速為3000r/min時(shí)，立方氮化硼砂輪壽命與加工效率之間可以得到一個(gè)較好的平衡。進(jìn)給量是決定加工件表面質(zhì)量的關(guān)鍵因素。如果進(jìn)給量過小，立方氮化硼砂輪的磨削面磨損較大，使其壽命大大降低；如果進(jìn)給量過大，會(huì)導(dǎo)致鎳靶材組件出現(xiàn)崩裂的缺陷。因此，進(jìn)給量選擇0. 005mm 0. 02mm。此外，為了減少因摩擦升溫導(dǎo)致的立方氮化硼砂輪和鎳靶材組件變形以致鎳靶材的加工精度降低，并為了延長立方氮化硼砂輪的使用壽命，在磨削的過程中利用乳化液對立方氮化硼砂輪及鎳靶材組件進(jìn)行冷卻，以減小它們的變形從而提高加工精度，并延長了立方氮化硼砂輪的使用壽命。綜上所述，本發(fā)明中鎳靶材組件的加工方法具有以下優(yōu)點(diǎn)將背板與鎳靶材坯料焊接在一起之后形成鎳靶材組件，對鎳靶材組件中的鎳靶材坯料進(jìn)行機(jī)械加工，包括對鎳靶材坯料進(jìn)行車削加工及磨削加工。通過合理選用車床刀片， 嚴(yán)格控制加工參數(shù)減小了車床加工時(shí)鎳靶材表面上的缺陷，以獲得精度較高的鎳靶材；待車床加工完成后，利用磨床并合理選用磨具對鎳靶材進(jìn)行磨削、拋光以進(jìn)一步減小鎳靶材表面上的缺陷，從而得到尺寸精度高、表面粗糙度低的鎳靶材，進(jìn)而得到符合濺射性能的鎳靶材組件。相應(yīng)的，本發(fā)明還提供一種鎳靶材組件的加工裝置，所述鎳靶材組件包括連接在一起的背板、純度為99. 99%的鎳靶材坯料，所述加工裝置包括車床，其刀具采用立方氮化硼刀片；磨床，其磨具采用立方氮化硼砂輪。本發(fā)明雖然已以較佳實(shí)施例公開如上，但其并不是用來限定本發(fā)明，任何本領(lǐng)域技術(shù)人員在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，都可以利用上述揭示的方法和技術(shù)內(nèi)容對本發(fā)明技術(shù)方案做出可能的變動(dòng)和修改，因此，凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)對以上實(shí)施例所作的任何簡單修改、等同變化及修飾，均屬于本發(fā)明技術(shù)方案的保護(hù)范圍。
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權(quán)利要求
1.一種鎳靶材組件的加工方法，其特征在于，包括以下步驟 提供一側(cè)設(shè)有多個(gè)水槽的背板、純度為99. 99%的鎳靶材坯料； 將所述鎳靶材坯料與所述背板焊接在一起；將所述鎳靶材組件固定在車床上對所述鎳靶材坯料進(jìn)行車削加工以得到鎳靶材； 將所述鎳靶材組件固定在磨床上對所述鎳靶材進(jìn)行磨削加工。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加工方法，其特征在于，所述車床的刀具采用立方氮化硼刀片。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的加工方法，其特征在于，所述車削加工包括粗加工及粗加工之后的精加工。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的加工方法，其特征在于，進(jìn)行所述粗加工時(shí)，所述車床的主軸轉(zhuǎn)速為 300r/min 500r/min。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的加工方法，其特征在于，進(jìn)行所述粗加工時(shí)，所述車床的進(jìn)給量為 0. 3mm 0. 5mm0
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的加工方法，其特征在于，進(jìn)行所述精加工時(shí)，所述車床的主軸轉(zhuǎn)速為 250r/min 300r/min。
7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的加工方法，其特征在于，進(jìn)行所述精加工時(shí)，所述車床的進(jìn)給量為 0. Olmm 0. Imm0
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加工方法，其特征在于，所述磨床的磨具采用立方氮化硼砂輪。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的加工方法，其特征在于，所述立方氮化硼砂輪的粒度為180目。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的加工方法，其特征在于，進(jìn)行所述磨削加工時(shí)，所述立方氮化硼砂輪的轉(zhuǎn)速為^00r/min 3200r/min。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的加工方法，其特征在于，進(jìn)行所述磨削加工時(shí)，所述立方氮化硼砂輪的進(jìn)給速度為450mm/min 550mm/min。
12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的加工方法，其特征在于，進(jìn)行所述磨削加工時(shí)，所述立方氮化硼砂輪的進(jìn)給量為0. 005mm 0. 02mm。
13.根據(jù)權(quán)利要求10所述的加工方法，其特征在于，所述立方氮化硼砂輪的轉(zhuǎn)速為 3000r/min。
14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加工方法，其特征在于，將所述鎳靶材坯料與所述背板焊接在一起之前，還包括對所述鎳靶材坯料、背板進(jìn)行清洗的步驟。
15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加工方法，其特征在于，進(jìn)行所述車削加工步驟之后、所述磨削加工步驟之前，還包括對所述鎳靶材、背板進(jìn)行清洗的步驟。
16.根據(jù)權(quán)利要求1所述的加工方法，其特征在于，將所述鎳靶材坯料與所述背板焊接在一起的步驟中，所述鎳靶材坯料與所述背板通過釬焊連接在一起。
17.根據(jù)權(quán)利要求8所述的加工方法，其特征在于，進(jìn)行所述磨削加工時(shí)，利用乳化液對所述立方氮化硅砂輪、鎳靶材組件進(jìn)行冷卻。
18.—種鎳靶材組件的加工裝置，其特征在于，所述鎳靶材組件包括連接在一起的背板、純度為99. 99%的鎳靶材坯料，所述加工裝置包括車床，其刀具采用立方氮化硼刀片； 磨床，其磨具采用立方氮化硼砂輪。
全文摘要
本發(fā)明提供一種鎳靶材組件的加工方法，包括提供一側(cè)設(shè)有多個(gè)水槽的背板、純度為99.99％的鎳靶材坯料；將鎳靶材坯料與背板焊接在一起；將鎳靶材組件固定在車床上對鎳靶材坯料進(jìn)行車削加工以得到鎳靶材；將鎳靶材組件固定在磨床上對鎳靶材進(jìn)行磨削加工。通過合理選用車床刀片，嚴(yán)格控制加工參數(shù)減小了車床加工時(shí)鎳靶材表面上的缺陷；待車床加工完成后，利用磨床并合理選用磨具對鎳靶材進(jìn)行磨削、拋光以進(jìn)一步減小鎳靶材表面上的缺陷，從而得到尺寸精度高、表面粗糙度低的鎳靶材，進(jìn)而得到符合濺射性能的鎳靶材組件。本發(fā)明還提供一種能對上述鎳靶材組件進(jìn)行加工的加工裝置。
文檔編號(hào)B23P17/00GK102501045SQ201110321309
公開日2012年6月20日 申請日期2011年10月20日 優(yōu)先權(quán)日2011年10月20日
發(fā)明者姚力軍, 潘杰, 王學(xué)澤, 袁錦澤 申請人:寧波江豐電子材料有限公司