專利名稱：一種激光滾珠絲杠副行程測(cè)量?jī)x的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及數(shù)控機(jī)床技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種大型的激光滾珠絲杠副行程測(cè)量?jī)x。
背景技術(shù)：
動(dòng)態(tài)行程測(cè)量?jī)x主要用于產(chǎn)品的出廠檢驗(yàn)及于生產(chǎn)過(guò)程中的質(zhì)量控制。對(duì)于較短行程的測(cè)量?jī)x技術(shù)已較成熟。隨著目前大型、重型滾珠絲杠副的市場(chǎng)需求量的急劇上升，絲杠生產(chǎn)廠家增多，而國(guó)內(nèi)8米以上的滾珠絲杠行程測(cè)量?jī)x還是空白。對(duì)于生產(chǎn)這些大型化的測(cè)量?jī)x還需有眾多的問(wèn)題需要解決首先，在現(xiàn)較短行程測(cè)量?jī)x中，有的采用滑動(dòng)導(dǎo)軌，有的采用滾動(dòng)導(dǎo)軌。滑動(dòng)導(dǎo)軌的缺點(diǎn)是摩擦力大，導(dǎo)軌易磨損；拖車很沉，若用母絲杠帶動(dòng)，結(jié)構(gòu)復(fù)雜。滾動(dòng)導(dǎo)軌雖然摩擦力小，但精度調(diào)整很難。而動(dòng)態(tài)測(cè)量是以測(cè)量拖車在主導(dǎo)軌上運(yùn)動(dòng)完成的，摩擦磨損是必然的。尤其當(dāng)8米以上的滾珠絲杠行程測(cè)量?jī)x的導(dǎo)軌很長(zhǎng)時(shí)，加工困難，成本很高，當(dāng)精度喪失時(shí)，修復(fù)精度也需要很長(zhǎng)時(shí)間，影響使用。其次，是用于固定安裝測(cè)量頭的測(cè)頭架，現(xiàn)測(cè)量?jī)x的測(cè)頭架一種是直接安裝在拖車上，在對(duì)徑安裝的測(cè)頭架上放置測(cè)頭，測(cè)頭放在絲杠的螺旋槽內(nèi)，能消除絲杠跳動(dòng)或彎曲對(duì)測(cè)量造成的影響，但為了與對(duì)徑安裝的輔助測(cè)頭配合，測(cè)頭架在軸向靠彈簧調(diào)整，很不方便，整個(gè)機(jī)構(gòu)復(fù)雜。還有一種測(cè)量?jī)x于采用滾動(dòng)導(dǎo)軌，拖車較輕，但測(cè)頭架上只有一個(gè)測(cè)頭， 它既要帶動(dòng)拖車運(yùn)動(dòng)，又要通過(guò)拖車帶動(dòng)讀數(shù)頭移動(dòng)實(shí)現(xiàn)位移測(cè)量，當(dāng)導(dǎo)軌有誤差或絲杠彎曲時(shí)，都會(huì)造成測(cè)頭位置的變化，甚至與絲杠脫離接觸，從而影響測(cè)量結(jié)果。對(duì)于螺紋導(dǎo)程誤差的動(dòng)態(tài)測(cè)量，只有測(cè)量元件與測(cè)量測(cè)頭一起沿著螺旋槽的固定位置移動(dòng)才能真正反映螺旋線的誤差，測(cè)量的結(jié)果才真實(shí)可靠，同時(shí)，為滿足生產(chǎn)需要，測(cè)頭安裝調(diào)整應(yīng)快捷方便。再有，測(cè)量?jī)x器的尾架頂尖也是非常關(guān)鍵的定位與支撐元件，尤其對(duì)大型測(cè)量?jī)x而言，尾架頂尖的精度保持性與剛度都是非常重要的指標(biāo)。目前，國(guó)內(nèi)外的測(cè)量?jī)x尾架都采用普通的圓柱式頂尖套，頂尖套的外圓與尾架的內(nèi)孔精密配合。其缺點(diǎn)是使用磨損后，出現(xiàn)間隙，不容易修復(fù)，影響測(cè)量精度；承載小；剛度低。另隨著測(cè)量?jī)x的大型化，還有一些輔助設(shè)施需要改進(jìn)。
發(fā)明內(nèi)容本實(shí)用新型的目的是提供一種激光滾珠絲杠副行程測(cè)量?jī)x，其可以填補(bǔ)國(guó)內(nèi)生產(chǎn)大型(8米以上)滾珠絲杠行程測(cè)量?jī)x技術(shù)的空白，高效且具有高品質(zhì)。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采取以下設(shè)計(jì)方案一種激光滾珠絲杠副行程測(cè)量?jī)x，包括一床身，中間區(qū)域帶有導(dǎo)軌；一主軸箱， 置于床身的頭端，內(nèi)置角度編碼器；一激光干涉箱，置于床身的尾端，內(nèi)置雙頻激光干涉儀； 一尾架，置于床身的導(dǎo)軌上，且位于激光干涉箱之前，尾架上套設(shè)頂尖套；被測(cè)絲杠夾置在主軸箱與尾架間；一載有測(cè)量棱鏡的拖車，橫跨在導(dǎo)軌上且可沿導(dǎo)軌往復(fù)行進(jìn)，測(cè)頭架置于拖車的底座上且可隨拖車同行。所述床身中間區(qū)域帶有的導(dǎo)軌為氣浮磁浮導(dǎo)軌，該床身采用整體硬質(zhì)材料，中間區(qū)域的導(dǎo)軌是在床身上直接開(kāi)槽加工而成，兩側(cè)具有凸起的軌道，該凸起的軌道上表面為精密的平面導(dǎo)軌，其外側(cè)為立面?zhèn)溶?；一?duì)氣浮平面導(dǎo)軌，分別設(shè)在兩凸起的軌道上；至少有一氣浮磁浮雙結(jié)構(gòu)體側(cè)軌，設(shè)在床身外側(cè)的立面?zhèn)溶壣?；所述的測(cè)頭架包括有一測(cè)頭架基體，測(cè)頭架基體通過(guò)支架與測(cè)量?jī)x的拖車剛性連接；在測(cè)頭架基體的上方設(shè)置可實(shí)現(xiàn)軸向位移的軸向移動(dòng)板及徑向位移的徑向?qū)虬澹?一彈性機(jī)構(gòu)體，通過(guò)軸向彈性元件和徑向彈性元件實(shí)現(xiàn)與徑向?qū)虬宓倪B接；設(shè)有一組同向的聯(lián)動(dòng)測(cè)頭，至少包括有帶動(dòng)測(cè)頭和測(cè)量測(cè)頭；所述的帶動(dòng)測(cè)頭尾端固定在測(cè)頭架基體上，頭端置入被測(cè)件的滾道內(nèi)；測(cè)量測(cè)頭固定在彈性機(jī)構(gòu)體的內(nèi)側(cè)底板上；所述尾架上開(kāi)設(shè)V型陰導(dǎo)軌槽，所述的頂尖套帶有V型陽(yáng)導(dǎo)軌，該頂尖套的V型陽(yáng)導(dǎo)軌通過(guò)一對(duì)壓板的壓緊而固定臥于V型陰導(dǎo)軌槽內(nèi)；在床身中間區(qū)域的導(dǎo)軌上還置有若干組用于支撐被測(cè)絲杠的浮動(dòng)支撐，所述浮動(dòng)支撐高度可升降；所述的被測(cè)絲杠由主軸箱與尾架內(nèi)側(cè)的雙頂尖及上述的若干組浮動(dòng)支撐定位。所述的氣浮平面導(dǎo)軌是床身本體上的兩平面導(dǎo)軌與其上的兩組氣浮軸承組成；該氣浮軸承上有用于被安裝在拖車上的球端螺釘定位的球形窩；所述的氣浮磁浮雙結(jié)構(gòu)體側(cè)軌包括一設(shè)在床身外立面?zhèn)溶壣隙挝恢锰幍钠矫媾c一組氣浮軸承和平鋪在床身外立面?zhèn)溶壪露挝恢锰幍囊慌艑?dǎo)磁鐵與磁鋼組成。所述一組同向的聯(lián)動(dòng)測(cè)頭中還包括有一外圓定位測(cè)頭，該外圓定位測(cè)頭尾端固定在彈性機(jī)構(gòu)體的徑向?qū)虬迳?，頭端抵在被測(cè)件的外圓上。在尾架的V型陰導(dǎo)軌槽的上方開(kāi)設(shè)一注油孔；所述V型陰導(dǎo)軌槽的斜向壁與軸線夾角為15 45°夾角。還可具有一對(duì)壓板，所述的頂尖套通過(guò)該壓板的壓緊而固定臥于V型陰導(dǎo)軌槽內(nèi)。本實(shí)用新型激光滾珠絲杠副行程測(cè)量?jī)x除了在基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)上的優(yōu)良設(shè)計(jì)外，更可在自控方面配以綜合處理電路及接口，將所測(cè)到的絲杠轉(zhuǎn)角值及螺母的位移量，按規(guī)定的采樣點(diǎn)數(shù)送往計(jì)算機(jī)，經(jīng)計(jì)算機(jī)數(shù)據(jù)處理以后，得到測(cè)量結(jié)果。測(cè)量過(guò)程中屏幕上實(shí)時(shí)畫(huà)出誤差曲線，測(cè)量結(jié)束以后屏幕立即顯示出測(cè)量的結(jié)果。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是1.采用被測(cè)絲杠自驅(qū)動(dòng)的方式，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，傳動(dòng)鏈少，易于實(shí)現(xiàn)高的機(jī)械精度；2.采用氣浮磁浮導(dǎo)軌可保證行程測(cè)量的高精度及拖車的運(yùn)動(dòng)靈活、輕便；3.新型的測(cè)頭架結(jié)構(gòu)使其體積小，安裝與調(diào)整都很方便；利用彈性元件和多個(gè)測(cè)頭多維聯(lián)動(dòng)，定位準(zhǔn)確，測(cè)量結(jié)果真實(shí)。4.尾架頂尖的精度保持性與剛度好；削扁的頂尖套體積小，使被測(cè)物(如測(cè)量光) 能夠接近被測(cè)絲杠軸線，減小阿貝誤差。
圖1為本實(shí)用新型激光滾珠絲杠副行程測(cè)量?jī)x結(jié)構(gòu)示意圖。[0027]圖加為本激光滾珠絲杠副行程測(cè)量?jī)x的氣浮磁浮導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)示意圖(連于拖車上的氣浮軸承和磁鋼)。圖2b為本激光滾珠絲杠副行程測(cè)量?jī)x的氣浮磁浮導(dǎo)軌的截面結(jié)構(gòu)示意圖。圖3a為本實(shí)用新型測(cè)頭架結(jié)構(gòu)示意圖(應(yīng)用狀態(tài))。圖北為本實(shí)用新型測(cè)頭架結(jié)構(gòu)示意圖(俯視)。圖3c為圖北中的A-A剖示圖(主視方向)。圖3d為圖北中的B-B剖示圖。圖如為本實(shí)用新型尾架頂尖部位的結(jié)構(gòu)示意圖(主視圖)。圖4b為本實(shí)用新型尾架頂尖部位的結(jié)構(gòu)示意圖(側(cè)視圖)。
以下結(jié)合附圖及具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明具體實(shí)施方式
參閱圖1所示，本實(shí)用新型激光滾珠絲杠副行程測(cè)量?jī)x包括一床身1，中間區(qū)域帶有導(dǎo)軌；一主軸箱2，置于床身的頭端，內(nèi)置角度編碼器；一激光干涉箱8，置于床身的尾端，內(nèi)置雙頻激光干涉儀；一尾架7，置于床身的導(dǎo)軌上，且位于激光干涉箱8之前，尾架7 上套設(shè)頂尖套；被測(cè)絲杠10夾置在主軸箱與尾架間；一載有測(cè)量棱鏡5的拖車4，橫跨在導(dǎo)軌上且可沿導(dǎo)軌往復(fù)行進(jìn)，測(cè)頭架3置于拖車的底座上且可隨拖車同行。一體化操作臺(tái)9是本實(shí)用新型激光滾珠絲杠副行程測(cè)量?jī)x的電控臺(tái)。本實(shí)用新型激光滾珠絲杠副行程測(cè)量?jī)x的創(chuàng)新點(diǎn)在于對(duì)于其機(jī)械結(jié)構(gòu)方面的改進(jìn)首先，如圖2a、圖2b所示，其主導(dǎo)軌采用了一氣浮磁浮導(dǎo)軌，該氣浮磁浮導(dǎo)軌的床身1采用整體硬質(zhì)材料，中間區(qū)域帶有的導(dǎo)軌是在床身上直接開(kāi)槽加工而成，兩側(cè)具有凸起的軌道，該凸起的軌道上表面為精密的平面導(dǎo)軌，其外側(cè)為立面?zhèn)溶?；兩?duì)氣浮平面導(dǎo)軌，分別設(shè)在兩凸起的軌道上；至少有一氣浮磁浮雙結(jié)構(gòu)體側(cè)軌，設(shè)在床身外側(cè)的立面?zhèn)溶壣?；所述的氣浮平面?dǎo)軌是由凸起的軌道與一組氣浮軸承102組成，氣浮軸承上有定位的球形窩，被安裝在拖車上的球端螺釘定位。精研加工床身1兩凸起軌道的側(cè)面，保證直線度、面形精度及與上平面導(dǎo)軌的垂直度。由于大型(如12米)測(cè)量?jī)x的床身長(zhǎng)度近15米或更長(zhǎng)，側(cè)面比上面更難加工，如果側(cè)向?qū)к壱灿秒p氣浮導(dǎo)軌的話，兩個(gè)側(cè)面的平行度很難保證，因此，側(cè)向?qū)к壷挥么采?的一個(gè)側(cè)面，為解決其導(dǎo)向問(wèn)題，在同側(cè)同時(shí)使用氣浮磁浮機(jī)構(gòu)，也即至少在一側(cè)向?qū)к壣习仓脷飧≥S承102與導(dǎo)磁鐵103、磁鋼104以形成軸向運(yùn)動(dòng)的側(cè)導(dǎo)軌。并配合側(cè)導(dǎo)軌將磁鋼104安裝在拖車上，隨著拖車運(yùn)動(dòng)；磁鋼104與導(dǎo)磁鐵 103的相對(duì)運(yùn)動(dòng)是非接觸的，由于采用磁浮與氣浮，測(cè)量拖車與導(dǎo)軌之間都是非接觸的，不摩擦，無(wú)磨損，精度保持性好；拖車運(yùn)動(dòng)靈活、輕便，采用被測(cè)絲杠自驅(qū)動(dòng)通過(guò)測(cè)頭就可以帶動(dòng)拖車運(yùn)動(dòng)，使測(cè)量?jī)x結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，傳動(dòng)鏈少，精度高。其次，如圖3a、圖北、圖3c和圖3d所示，測(cè)頭架的基礎(chǔ)通用部件為一測(cè)頭架基體 309，所述測(cè)頭架基體309可以通過(guò)支架312與測(cè)量?jī)x的拖車剛性連接；在測(cè)頭架基體309 的上方設(shè)置可實(shí)現(xiàn)軸向位移的軸向移動(dòng)板311及徑向位移的徑向?qū)虬?10，設(shè)有一彈性機(jī)構(gòu)體308，通過(guò)軸向彈性元件305和徑向彈性元件307實(shí)現(xiàn)與徑向?qū)虬?10的連接。還設(shè)有一組同向的聯(lián)動(dòng)測(cè)頭，包括帶動(dòng)測(cè)頭302、測(cè)量測(cè)頭303和外圓定位測(cè)頭304 (至少應(yīng)包括有帶動(dòng)測(cè)頭和測(cè)量測(cè)頭)；所述的帶動(dòng)測(cè)頭302尾端固定在測(cè)頭架基體309上，頭端置入被測(cè)件的滾道內(nèi)(圖1所示實(shí)施例中，被測(cè)件是絲杠10，帶動(dòng)測(cè)頭302的頭端置入絲杠的齒槽內(nèi))；測(cè)量測(cè)頭303固定在彈性機(jī)構(gòu)體308的內(nèi)側(cè)端上(定義接近被測(cè)件一側(cè)為內(nèi)端)。 所述的外圓定位測(cè)頭304亦固定在彈性機(jī)構(gòu)體308的內(nèi)側(cè)端上。本測(cè)頭架除了軸向、徑向利用調(diào)整機(jī)構(gòu)可調(diào)位移外，利用彈性元件，測(cè)量測(cè)頭在帶動(dòng)測(cè)頭和外圓定位測(cè)頭的聯(lián)合帶動(dòng)下，軸向、徑向都有自由度，從而保證測(cè)量測(cè)頭始終與螺旋線接觸，真實(shí)反映絲杠(被測(cè)件) 導(dǎo)程誤差。再有，參見(jiàn)圖如和圖4b，本尾架7上有用于套設(shè)測(cè)量部件的頂尖套702 ；其主要改進(jìn)點(diǎn)在于首先，在尾架上開(kāi)設(shè)V型陰導(dǎo)軌槽704。其次，將頂尖套削扁，使新設(shè)計(jì)的頂尖套帶有V型陽(yáng)導(dǎo)軌，組配時(shí)，將頂尖套的V型陽(yáng)導(dǎo)軌臥于V型陰導(dǎo)軌槽內(nèi)。為方便調(diào)整頂尖套的V型陽(yáng)導(dǎo)軌與V型陰導(dǎo)軌槽的配合間隙，還設(shè)計(jì)一對(duì)壓板706，該壓板706壓緊頂尖套 702使其精確的臥于V型陰導(dǎo)軌槽內(nèi)。為減少頂尖套的V型陽(yáng)導(dǎo)軌與V型陰導(dǎo)軌槽間的摩擦，可以在V型陰導(dǎo)軌槽的上方開(kāi)設(shè)一注油孔，用于方便加設(shè)潤(rùn)滑油。所述V型陰導(dǎo)軌槽的斜向壁與軸線為15 45°夾角。為使壓板706更好的壓緊頂尖套702，所述的頂尖套702 的截面結(jié)構(gòu)可以由兩部分塊組成，一側(cè)是可以臥入V型陰導(dǎo)軌槽4內(nèi)的V型陽(yáng)導(dǎo)軌部分，另一側(cè)是平臺(tái)部分，兩者之間形成有差階。在尾架上加工陰導(dǎo)軌槽704時(shí)，應(yīng)并留有刮研余量，所述的頂尖套V型陽(yáng)導(dǎo)軌需要高精度的加工，并通過(guò)潤(rùn)滑油的作用，使兩者間達(dá)到極高的精度配合和極好的接觸?？梢酝ㄟ^(guò)配刮尾架703或修磨壓板706來(lái)調(diào)整頂尖套的V型陽(yáng)導(dǎo)軌與V型陰導(dǎo)軌槽的配合間隙，由于兩者之間是開(kāi)放式的配合，方便修整。其改變了過(guò)去慣用的“軸與孔”配合，通過(guò)“V型尾架頂尖套”的結(jié)構(gòu)，使得頂尖受力時(shí)，承載的是“面”，而不像原來(lái)受力的是“線”，因此，承載大、剛性好，解決了大型絲杠副的支撐剛度問(wèn)題；靠人工刮研(用刮刀修整工件表面形狀、粗糙度)來(lái)保證配合間隙和接觸點(diǎn)，便于控制精度，解決大型絲杠副測(cè)量時(shí)的定位精度，也便于尾架導(dǎo)軌磨損后修復(fù)精度。參見(jiàn)圖1所示，在床身中間區(qū)域的導(dǎo)軌上還置有若干組用于支撐被測(cè)絲杠的浮動(dòng)支撐5，所述浮動(dòng)支撐高度可升降，以利于被測(cè)絲杠位置的調(diào)整。被測(cè)絲杠是由主軸箱與尾架內(nèi)側(cè)的雙頂尖及若干組浮動(dòng)支撐的整體作用而定位的。本實(shí)用新型激光滾珠絲杠副行程測(cè)量?jī)x主軸箱中內(nèi)置角度編碼器可選用德國(guó) Heidenhain角度編碼器作為測(cè)角的基準(zhǔn)，以激光干涉箱內(nèi)置的雙頻激光干涉儀作為測(cè)長(zhǎng)基準(zhǔn)。上述各實(shí)施例可在不脫離本實(shí)用新型的范圍下加以若干變化，故以上的說(shuō)明所包含及附圖中所示的結(jié)構(gòu)應(yīng)視為例示性，而非用以限制本實(shí)用新型申請(qǐng)專利的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.一種激光滾珠絲杠副行程測(cè)量?jī)x，包括 一床身，中間區(qū)域帶有導(dǎo)軌；一主軸箱，置于床身的頭端，內(nèi)置角度編碼器；一激光干涉箱，置于床身的尾端，內(nèi)置雙頻激光干涉儀；一尾架，置于床身的導(dǎo)軌上，且位于激光干涉箱之前，尾架上套設(shè)頂尖套；被測(cè)絲杠夾置在主軸箱與尾架間；一載有測(cè)量棱鏡的拖車，橫跨在導(dǎo)軌上且可沿導(dǎo)軌往復(fù)行進(jìn)，測(cè)頭架置于拖車的底座上且可隨拖車同行； 其特征在于所述床身中間區(qū)域帶有的導(dǎo)軌為氣浮磁浮導(dǎo)軌，該床身采用整體硬質(zhì)材料，中間區(qū)域的導(dǎo)軌是在床身上直接開(kāi)槽加工而成，兩側(cè)具有凸起的軌道，該凸起的軌道上表面為精密的平面導(dǎo)軌，其外側(cè)為立面?zhèn)溶?；一?duì)氣浮平面導(dǎo)軌，分別設(shè)在兩凸起的軌道上；至少有一氣浮磁浮雙結(jié)構(gòu)體側(cè)軌，設(shè)在床身外側(cè)的立面?zhèn)溶壣?；所述的測(cè)頭架包括有一測(cè)頭架基體，測(cè)頭架基體通過(guò)支架與測(cè)量?jī)x的拖車剛性連接； 在測(cè)頭架基體的上方設(shè)置可實(shí)現(xiàn)軸向位移的軸向移動(dòng)板及徑向位移的徑向?qū)虬?；一彈性機(jī)構(gòu)體，通過(guò)軸向彈性元件和徑向彈性元件實(shí)現(xiàn)與徑向?qū)虬宓倪B接；設(shè)有一組同向的聯(lián)動(dòng)測(cè)頭，至少包括有帶動(dòng)測(cè)頭和測(cè)量測(cè)頭；所述的帶動(dòng)測(cè)頭尾端固定在測(cè)頭架基體上，頭端置入被測(cè)件的滾道內(nèi)；測(cè)量測(cè)頭固定在彈性機(jī)構(gòu)體的內(nèi)側(cè)底板上；所述尾架上開(kāi)設(shè)V型陰導(dǎo)軌槽，所述的頂尖套帶有V型陽(yáng)導(dǎo)軌，該頂尖套的V型陽(yáng)導(dǎo)軌通過(guò)一對(duì)壓板的壓緊而固定臥于V型陰導(dǎo)軌槽內(nèi)；在床身中間區(qū)域的導(dǎo)軌上還置有若干組用于支撐被測(cè)絲杠的浮動(dòng)支撐，所述浮動(dòng)支撐高度可升降；所述的被測(cè)絲杠由主軸箱與尾架內(nèi)側(cè)的雙頂尖及上述的若干組浮動(dòng)支撐定位。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光滾珠絲杠副行程測(cè)量?jī)x，其特征在于所述的氣浮平面導(dǎo)軌是床身本體兩平面導(dǎo)軌與其上的兩組氣浮軸承組成；該氣浮軸承上有用于被安裝在拖車上的球端螺釘定位的球形窩；所述的氣浮磁浮雙結(jié)構(gòu)體側(cè)軌包括一設(shè)在床身外立面?zhèn)溶壣隙挝恢锰幍膶?dǎo)軌面與一組氣浮軸承和平鋪在床身外立面?zhèn)溶壪露挝恢锰幍囊慌艑?dǎo)磁鐵與一對(duì)磁鋼組成。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光滾珠絲杠副行程測(cè)量?jī)x，其特征在于所述一組同向的聯(lián)動(dòng)測(cè)頭中還包括有一外圓定位測(cè)頭，該外圓定位測(cè)頭尾端固定在彈性機(jī)構(gòu)體的內(nèi)側(cè)端上，頭端抵在被測(cè)件的外壁上。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光滾珠絲杠副行程測(cè)量?jī)x，其特征在于在尾架的V型陰導(dǎo)軌槽的上方開(kāi)設(shè)一注油孔；所述V型陰導(dǎo)軌槽的斜向壁與軸線夾角為15 45°夾角。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光滾珠絲杠副行程測(cè)量?jī)x，其特征在于還具有一壓板，所述的頂尖套通過(guò)該壓板的壓緊而固定臥于V型陰導(dǎo)軌槽內(nèi)。
專利摘要一種激光滾珠絲杠副行程測(cè)量?jī)x，包括一帶有氣浮磁浮導(dǎo)軌的床身、一內(nèi)置角度編碼器的主軸箱、一內(nèi)置雙頻激光干涉儀的激光干涉箱、一尾架、一載有測(cè)量棱鏡且橫跨在導(dǎo)軌上可沿導(dǎo)軌往復(fù)行進(jìn)的拖車及一置于拖車底座上隨拖車同行的測(cè)頭架；在測(cè)頭架基體上設(shè)有一組同向的聯(lián)動(dòng)測(cè)頭，至少包括有帶動(dòng)測(cè)頭和測(cè)量測(cè)頭；所述的帶動(dòng)測(cè)頭尾端固定在測(cè)頭架基體上，頭端置入被測(cè)件的滾道內(nèi)；尾架上開(kāi)設(shè)V型陰導(dǎo)軌槽，頂尖套帶有V型陽(yáng)導(dǎo)軌，該V型陽(yáng)導(dǎo)軌臥于V型陰導(dǎo)軌槽內(nèi)；在床身中間區(qū)域的導(dǎo)軌上還置有若干組用于支撐被測(cè)絲杠的浮動(dòng)支撐；被測(cè)絲杠由主軸箱與尾架內(nèi)側(cè)的雙頂尖及上述的若干組浮動(dòng)支撐定位，其高效且具有高品質(zhì)。
文檔編號(hào)B23Q17/24GK201950524SQ20102067138
公開(kāi)日2011年8月31日 申請(qǐng)日期2010年12月10日 優(yōu)先權(quán)日2010年12月10日
發(fā)明者張東松, 汪韜, 焦?jié)? 王樹(shù)華, 王雪梅, 肖正義 申請(qǐng)人:北京機(jī)床所精密機(jī)電有限公司, 北京機(jī)床研究所