專利名稱：一種超低能繼電器的裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明是一種超低能繼電器的裝置，用于控制電極接線的裝置。
背景技術：
離子注入機是半導體工藝中離子摻雜的典型設備。離子能量有分高能和低能。加速管的工作模式就取決于所需要的離子能量的大小。它既是離子束加速光學元件，又是離子束減速光學元件，當離子的最終能量大于50KeV時，采用加速模式。在加速模式下，加速管對離子束有很強的聚焦作用，為了使加速管在任何能量下有更好的聚焦作用，在加速間隙(加速電極與地電極)之間增加了一聚焦電極。聚焦電極所加電壓相對加速電極為負電壓(O -120KV，MAX-125KV)，聚焦電壓的大小對加速或減速能量沒有影響，但能改變加速管的聚焦能力。當離子的最終能量小于50KeV大于2KeV時，采用減速模式。在減速模式下，加速管為減速透鏡，無論引出能量為多少，最終能量總是等于低能電源電壓。在加速管聚焦電極之前，離子束都是高能運行，能量降低是在聚焦電極與地電極之間進行的。在脈沖低能模式下，超低能繼電器在氣缸作用下由中左邊位置推到右邊位置，即低能電極由上述兩種接地狀態(tài)轉換成接到了抑制電極上，因此，此處便構成了二組三膜片靜電透鏡，一組是地電極-抑制電極-地電極，二組是抑制電極-地電極-低能透鏡電極，提聞了聚集能力。

發(fā)明內容
本發(fā)明針對脈沖低能模式下，采用超低能繼電器改變電極的接線。達到離子聚焦能力。本發(fā)明提供了一種超低能繼電器的裝置。本發(fā)明通過以下技術方案實現(xiàn):1.一種超低能繼電器的裝置，包括:低能繼電器殼體(I)、氣缸安裝座(2)、銅連桿
(3)、接線柱I⑷、接線柱2 (5)、長銅桿(6)、短銅桿(7)、氣缸⑶、紫銅桿(9)、螺釘(10)、氣缸銅桿(11)、地線連接柱(12)、氣缸壓塊(13)、轉換接頭(14)。2.權利要求1的一種超低能繼電器的裝置，其中所述的氣缸銅桿(11) 一端與長銅桿(6)相連，另一端與紫銅桿(9)相連，紫銅桿又與短銅桿(7)相連，轉換接頭(14)為壓縮空氣入口。此時，銅連桿(3)與地線連接柱(12)相連，而長銅桿(6)又與銅連桿(3)相連，因此，繼電器的接線柱2(5)接地，長銅桿(6)也接地。3.權利要求1的一種超低能繼電器的裝置，其中所述的通入壓縮空氣時，氣缸銅桿(11)向氣缸⑶移動，直到短銅桿⑵與接線柱1(4)相連，長銅桿(6)與接線柱2 (5)相連。此時，接線柱2 (5)和接線柱I (4)通過氣缸銅桿(11)連接。本發(fā)明具有如下優(yōu)點:1.簡單可靠，易于加工制造。
2.能很好的切換不同的接線柱連接方式，實現(xiàn)加速管在不同工作模式下的電極連接方式。


圖1是超低能繼電器主視圖的剖視2是超低能繼電器的俯視3是超低能繼電器的中間剖視圖
具體實施例方式下面結合附圖的具體實施例對本發(fā)明作進一步介紹，這些描述都是說明性的，本發(fā)明不限于此。本發(fā)明的范圍僅由所附權利要求的范圍所限定。圖1和圖2分別是超低能繼電器主視圖的剖視圖和俯視圖，氣缸銅桿(11) 一端與長銅桿(6)相連，另一端與紫銅桿(9)相連，紫銅桿又與短銅桿(7)相連，轉換接頭(14)為壓縮空氣入口。此時，銅連桿(3)與地線連接柱(12)相連，而長銅桿(6)又與銅連桿(3)相連，因此，繼電器的接線柱2(5)接地，長銅桿(6)也接地。接線柱2 (5)連接低能透鏡電極，即低能透鏡電極接地。轉換接頭(14)用于通入壓縮空氣，有壓縮空氣時，氣缸銅桿(11)向氣缸⑶內部移動，直到短銅桿(7)與接線柱1(4)相連，長銅桿(6)與接線柱2 (5)相連，接線柱I (4)連接加速抑制電極，此時，接線柱2(5)與接線柱I (4)連接在一起，即加速抑制電極與低能透鏡電極連接。完成了加速管在低能模式下電極連接方式。以上所述已對本發(fā)明的內容做了詳盡說明。對本領域一般技術人員而言，在不背離本發(fā)明精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動，都構成對本發(fā)明專利的侵犯，將承擔相應的法律責任。
權利要求
1.一種超低能繼電器的裝置，包括:低能繼電器殼體(I)、氣缸安裝座(2)、銅連桿(3)、接線柱I (4)、接線柱2 (5)、長銅桿(6)、短銅桿(7)、氣缸(8)、紫銅桿(9)、螺釘(10)、氣缸銅桿(11)、地線連接柱(12)、氣缸壓塊(13)、轉換接頭(14)。
2.如權利要求1所述的一種超低能繼電器的裝置，其特征在于，其中所述的氣缸銅桿(11)一端與長銅桿(6)相連，另一端與紫銅桿(9)相連，紫銅桿又與短銅桿(7)相連。
3.如權利要求1所述的一種超低能繼電器的裝置，其特征在于，其中所述的轉換接頭(14)為壓縮空氣入口。
4.如權利要求1所述的一種超低能繼電器的裝置，其特征在于，其中所述的通入壓縮空氣時，氣缸銅桿(11)向氣缸⑶移動，直到短銅桿⑵與接線柱1(4)相連，長銅桿(6)與接線柱2 (5)相連。
全文摘要
一種超低能繼電器的裝置，包括低能繼電器殼體(1)、氣缸安裝座(2)、銅連桿(3)、接線柱1(4)、接線柱2(5)、長銅桿(6)、短銅桿(7)、氣缸(8)、紫銅桿(9)、螺釘(10)、氣缸銅桿(11)、地線連接柱(12)、氣缸壓塊(13)、轉換接頭(14)。說明書對本裝置進行了詳細的說明，并給出具體實施方案。
文檔編號H01J37/317GK103187204SQ20111045242
公開日2013年7月3日 申請日期2011年12月30日 優(yōu)先權日2011年12月30日
發(fā)明者林萍 申請人:北京中科信電子裝備有限公司