技術(shù)編號：2908842
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明是一種超低能繼電器的裝置，用于控制電極接線的裝置。背景技術(shù)離子注入機是半導(dǎo)體工藝中離子摻雜的典型設(shè)備。離子能量有分高能和低能。加速管的工作模式就取決于所需要的離子能量的大小。它既是離子束加速光學(xué)元件，又是離子束減速光學(xué)元件，當(dāng)離子的最終能量大于50KeV時，采用加速模式。在加速模式下，加速管對離子束有很強的聚焦作用，為了使加速管在任何能量下有更好的聚焦作用，在加速間隙(加速電極與地電極)之間增加了一聚焦電極。聚焦電極所加電壓相對加速電極為負電壓(O ...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。